柔性电极的制作方法

1.本技术涉及电极技术领域，尤其涉及一种柔性电极。

背景技术：

2.在相关技术中，按摩设备使用的柔性电极一般为刚性的，刚性电极限制了其在腰部、腹部、肘关节、膝关节等人体部位的正常使用，柔性电极一般使用印刷银浆电极，银浆电极在电流脉冲作用下易发生腐蚀氧化，影响电极的导电率。

技术实现要素：

3.本技术实施例提供一种柔性电极，其能够增强柔性电极的耐氧化以及耐腐蚀性。
4.本技术实施例提供了一种柔性电极，包括：
5.电极本体；
6.惰性金属层，与所述电极本体至少一侧连接；
7.光油保护层，与所述惰性金属层的远离所述电极本体的一侧连接。
8.基于本技术实施例的柔性电极，电极本体用于导电，在电极本体上连接惰性金属层，通过惰性金属化学性质稳定、不易得失电子以及能抵抗电化学氧化的特性，以增强电极本体的耐氧化性以及耐腐蚀性，同时，惰性金属具有良好的电子导电性，不影响柔性电极的导电率，且在惰性金属层远离电极本体一侧连接光油保护层，不仅增强了柔性电极的耐磨性，减小柔性电极在使用过程中惰性金属层的磨损率，而且，进一步增加了柔性电极的耐腐蚀性。
9.在本技术的一些实施例中，所述惰性金属层包括至少一个惰性子层，多个惰性子层依次叠设，每个所述惰性子层由铂、金、不锈钢、钛和铬及其氧化物中的一种或多种制成。
10.基于上述实施例，为进一步提高惰性金属层对电极本体的保护，在惰性金属层发生电化学腐蚀时，电化学腐蚀从惰性金属层中的最远离电极本体的一惰性子层开始发生，如此，引导柔性电极上发生的电化学腐蚀从距最远离电极本体的惰性子层至最接近电极本体的惰性子层依此发生，尽可能的保证电极本体的完好；且由于惰性金属层兼顾该柔性电极的导电率和耐氧化、耐腐蚀性，因此，惰性金属层包括一层由两种材料混合制成的惰性子层或多层单一材料制成的惰性子层或多层多种材料混合制成的惰性子层，便于平衡惰性金属层的导电率和耐氧化、耐腐蚀性。
11.在本技术的一些实施例中，所述惰性金属层的厚度大于等于0.001μm且小于等于0.500μm。
12.基于上述实施例，将惰性金属层的厚度设置在大于等于0.001μm且小于等于0.500μm之间，既能保证惰性金属层具有足够的厚度以保证该柔性电极的耐氧化、腐蚀性，又能保证柔性电极的机械柔性。
13.在本技术的一些实施例中，所述光油保护层为热固化光油保护层或光固化光油保护层。
14.基于上述实施例，光油保护层设置为热固化光油保护层或光固化光油保护层，其中，热固化光油可通过被加热实现从液态转化为固态，光固化光油可通过uv灯的照射由液态转换为固态，均便于光油保护层的固化。
15.在本技术的一些实施例中，所述光油保护层的厚度大于等于0.010μm且小于等于100μm。
16.基于上述实施例，将光油保护层的厚度设置在大于等于0.010μm且小于等于100μm之间，既能保证该柔性电极的耐磨性，又能保证该柔性电极的机械柔性，且便于光油保护层由液态转换为固态。
17.在本技术的一些实施例中，所述电极本体包括：
18.柔性基材层；
19.金属粘结层，与所述柔性基材层至少一侧连接，
20.导电金属层，与所述金属粘结层远离所述柔性基材层的一侧连接；
21.其中，所述惰性金属层与所述导电金属层远离所述金属粘结层的一侧连接。
22.基于上述实施例，柔性基材层作为该柔性电极的柔性基材，以保证该柔性电极的机械柔性，在柔性基材层上连接导电金属层以实现该柔性电极的导电，在柔性基材层与导电金属层之间连接金属粘结层以增强柔性基材层与导电金属层之间的连接强度。
23.在本技术的一些实施例中，所述柔性基材层为高分子薄膜或片材。
24.基于上述实施例，高分子薄膜或片材具有较薄的尺寸以及较强的结构强度，较薄的尺寸可以保证该柔性电机的机械柔性，以使该柔性电极在使用时可弯曲变形等，较强的结构强度可以保证该柔性电机的结构强度，以使该柔性电极在视同时可承受较大的受力。
25.在本技术的一些实施例中，所述柔性基材层由聚对苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯、聚酰亚胺、聚氨酯和硅胶中的一种或多种制成，所述柔性基材层的厚度大于等于1μm且小于等于2000μm。
26.基于上述实施例，聚对苯二甲酸乙二酯在较宽的温度范围内具有优良的物理机械性能，长期使用温度可达120℃，电绝缘性优良，甚至在高温高频下，其电性能仍较好，使该柔性电极可适用于温度较高的环境下，且具有抗蠕变性，耐疲劳性，耐摩擦性、尺寸稳定性都很好，可增强该柔性电极结构强度；聚碳酸酯具有很高的韧性，可使该柔性电极可承受较大的拉力；聚乙烯具有优良的耐低温性能(最低使用温度可达-100～-70℃)以使该柔性电极可适用于温度较低的环境，且具有耐腐蚀性，电绝缘性优良，化学稳定性好，可增强该柔性电机的耐腐蚀性；聚丙烯具有耐化学性、耐热性、电绝缘性、高强度机械性能和良好的高耐磨加工性能等，即可以增强该柔性电极的耐腐蚀性又可以增强该柔性电极的结构强度；聚酰亚胺是综合性能最佳的有机高分子材料之一，其耐高温达400℃以上，长期使用温度范围-200～300℃，且具有高绝缘性能，属f至h级绝缘，可使该柔性电极适用于温度较高以及较低的环境下；聚氨酯具有优良的稳定性、耐化学性、回弹性和力学性能，具有更小的压缩变型性，可增强该柔性电极的耐腐蚀性以及提高该柔性电极的受力能力；硅胶具有开放的多孔结构，吸附性强，可增强柔性基材层与导电金属层之间的连接强度；同时，将柔性基材层的厚度设置在大于等于1μm且小于等于2000μm之间，既能保证该柔性电极的机械柔性，又能保证该柔性电极具有足够的结构强度。
27.在本技术的一些实施例中，所述金属粘结层包括至少一个粘结子层，多个金属粘
结子层依次叠设，每个所述粘结子层由铬、钛、镍、锆和氮化钛中的一种或多种制成，所述金属粘结层的厚度大于等于0.001μm且小于等于0.010μm。
28.基于上述实施例，其中，铬、钛、镍、锆和氮化钛均具有良好的延展性以及耐腐蚀性，利于加强导电金属层和惰性金属层之间的连接强度，且金属粘结层具有导电能力，可增强该柔性电极的导电性能，为平衡金属粘结层的延展性和导电性能，金属粘结层包括至少一个粘结子层，且个粘结子层可由铬、钛、镍、锆和氮化钛中的一种或多种材料制成，以平衡金属粘结层的延展性和导电性能；同时，将金属粘结层的厚度设置在大于等于0.001μm且小于等于0.010μm之间，既能保证金属粘结层具有足够的延展度，又能保证该柔性电极的机械柔性。
29.在本技术的一些实施例中，所述导电金属层包括至少一个导电子层，多个导电子层依次叠设，每个所述导电子层由铜、银、金、镍、铝和钛中的一种或多种制成，所述导电金属层的厚度大于等于0.001μm且小于等于0.100μm。
30.基于上述实施例，铜、银、金、镍、铝和钛均具有优良的导电性以及耐腐蚀性，为平衡导电金属层的导电性能和耐腐蚀性，导电金属层可以包括至少一个导电子层，且每个导电子层由铜、银、金、镍、铝和钛中的一种或多种混合制成；同时，将导电金属层的厚度设置在大于等于0.001μm且小于等于0.100μm之间，既能保证该柔性电极的导电性能，又能保证该柔性电极的机械柔性。
31.基于本技术实施例的柔性电极，电极本体用于导电，在电极本体上连接惰性金属层，通过惰性金属化学性质稳定、不易得失电子以及能抵抗电化学氧化的特性，以增强电极本体的耐氧化性以及耐腐蚀性，同时，惰性金属具有良好的电子导电性，不影响柔性电极的导电率，且在惰性金属层远离电极本体一侧连接光油保护层，不仅增强了柔性电极的耐磨性，减小柔性电极在使用过程中惰性金属层的磨损率，而且，进一步增加了柔性电极的耐腐蚀性。
附图说明
32.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
33.图1为本技术一实施例中柔性电极的结构示意图。
34.附图标记：10、电极本体；11、柔性基材层；12、金属粘结层；121、粘结子层；13、导电金属层；131、导电子层；20、惰性金属层；21、惰性子层；30、光油保护层。
具体实施方式
35.为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
36.在相关的技术领域中，按摩设备使用的柔性电极一般为刚性的，比如不锈钢、镀金的不锈钢等；刚性电极限制了其在腰部、腹部、肘关节、膝关节等人体部位的正常使用，柔性
电极一般使用导电聚氨酯(pu)或者印刷银浆电极，其中的导电pu，在使用过程中还面临导电率下降而影响基本功能的问题；银浆电极，由于银浆粒子浆料混合较多的有机树脂、粘结剂等复杂成分，在电流脉冲作用下，易发生腐蚀氧化；而且银浆的材料成本相对较高。
37.为了解决上述技术问题，请参照图1所示，本技术的提出了一种柔性电极，其能够增强柔性电极的耐氧化以及耐腐蚀性。
38.请参照图1所示，柔性电极包括电极本体10、惰性金属层20和光油保护层30，惰性金属层20与电极本体10的至少一侧连接；光油保护层30与惰性金属层20的远离电极本体的10一侧连接。
39.本技术实施例中对柔性电极的形状、大小以及使用场合等均不做限定，本技术中的柔性电极可用于按摩仪中，通过柔性电极释放的电脉冲实现对人体的按摩，本技术实施例中以按摩仪中使用的柔性电极为例对该柔性电极进行说明。
40.电极本体10用于传导通过柔性电极的电流，本技术实施例中对电极本体10的形状和大小等均不做限定，电极本体10的形状以及大小可根据该柔性电极的使用场合具体而定，例如，按摩人体腰部的柔性电极可以对应人体腰部形状设置为矩形，且在固定至按摩仪中时可弧形弯曲设置以更好的贴合人体的腰部，又例如，按摩人体膝关节的柔性电极可对应人体的膝关节设置为圆盘状，且在固定至按摩仪中时柔性电极的中心位置可凸出设置，以对应人体膝关节弯曲时的形状。
41.惰性金属层20用于增强该柔性电极的耐腐蚀性，减缓电极本体10被电化学腐蚀的速率，电流在通过柔性电极时由于惰性金属层20中的惰性金属不易得失电子，可以极大的减缓该柔性电极的的电化学腐蚀速率，本技术实施例中对惰性金属层20的形成工艺不做限定，只要能够实现在电极本体10一侧形成惰性金属层20即可，在本技术的一些实施例中，惰性金属层20可通过真空镀膜技术形成，例如，真空蒸发镀技术、真空溅射镀技术或真空离子镀技术；在本技术的另一些实施例中，惰性金属层20可采用涂布技术。
42.在本技术的一些实施例中，惰性金属层20的数量为一个，与电极本体10的任一侧连接，对应的光油保护层30的数量为一个，在该柔性电极使用时将光油保护层30接触人体以实现对人体的按摩，如此，在保证了可实现对人体按摩的前提下节省了该柔性电极的成本以及减小了柔性电极的厚度；在本技术的另一些实施例中，惰性金属层20的数量为两个，分别与电极本体10相对的两侧连接，对应的光油保护层30的数量也为两个，在该柔性电极使用时将任一光油保护层30接触人体即可实现对人体的按摩，如此，在该柔性电极与按摩设备组装时无需注意惰性金属层20在电极本体10上的位置，即无需注意该柔性电极的正反面，同时，若按摩设备为护腰带等柔性设备时，电极本体10正反两侧的惰性金属层20可对应按摩设备的正反两侧，按摩设备正反佩戴均可实现对人体的按摩。可以理解的是，惰性金属层20的数量最多可以与电极本体10的周壁数量相同，例如，电极本体10为矩形，则惰性金属层20的数量可以是六个，且完全包裹电极本体10；由于，通常电极本体10为薄片状，因此，最多在电极本体10的正反两侧连接惰性金属层20即可。
43.光油保护层30用于增强该柔性电极的耐磨性，光油是一种合成树脂，主要成分是树脂和溶剂或树脂、油和溶剂，涂于物体表面后，形成具有保护、装饰和特殊性能的涂膜，光油固化后具有良好的硬度和耐磨性，本技术实施例中，光油保护层30不仅可以保护惰性金属层20不被磨损，延长该柔性电极的使用寿命，且作为最外层的保护层可以进一步增强该
柔性电极的耐腐蚀性。
44.在本技术的一些实施例中，惰性金属层20的厚度大于等于0.001μm且小于等于0.500μm，惰性金属层20的厚度设置在大于等于0.001μm且小于等于0.500μm的区间内，即可保证该柔性电极具有良好的耐氧化以及耐腐蚀性能，又能保证该柔性电极具有良好的机械柔性。
45.本技术实施例中光油保护层30可通过涂布、丝网印刷、滚涂或刮涂等方式形成，对申请实施例中对此不做限定，无论通过上述何种成型方式只要能够在惰性金属表面形成光油保护层30即可，同时，本技术实施例中对光油保护层30的固化方式也不做限定，在本技术的一些实施例中，光油保护层30为热固化光油保护层30，采用加热光油使光油由液态转换为固态；在本技术的另一些实施例中，光油保护层30为光固化光油保护层30，采用uv灯照射使光油由液态转换为固态。
46.在本技术的一些实施例中，光油保护层30的厚度大于等于0.010μm且小于等于100μm，在此范围内，光油保护层30具有足够的厚度使光油保护层30具有足够的机械强度，以形成稳定的保护膜，进而使光油保护层30可以增强柔性电极的耐磨性，同时，光油保护层30的厚度不致于过厚，而影响柔性电极的导电率，以便该柔性电极在接触到人体的腰部、腹部、肘关节、膝关节等部位后有足够的电流导入至人体内，以保证该柔性电极对人体的按摩作用。
47.基于本技术实施例的柔性电极，基于本技术实施例的柔性电极，电极本体10用于导电，在电极本体10上连接惰性金属层20，通过惰性金属化学性质稳定、不易得失电子以及能抵抗电化学氧化的特性，以增强电极本体10的耐腐蚀性，同时，惰性金属具有良好的电子导电性，不影响柔性电极的导电率，且在惰性金属层20远离电极本体10一侧连接光油保护层30，通过光油保护层30以增强柔性电极的耐磨性，保护柔性电极在使用过程中惰性金属层20不被磨损，不仅延长了该柔性电极的使用寿命且确保了惰性金属层20可起到减缓该柔性电极电化学腐蚀的速率。
48.请参照图1所示，在本技术的一些实施例中，惰性金属层20包括一个惰性子层21，惰性子层21由铂、金、不锈钢、钛和铬及其氧化物中的一种制成。
49.铂、金、不锈钢、钛和铬及其氧化物作为惰性金属不易得失电子，使得该柔性电极具有良好的耐氧化耐腐蚀性，对于惰性子层21采用上述何种材料制成，应当综合考虑该柔性电极的使用场合以平衡该柔性电极的导电率和耐氧化耐腐蚀性，若柔性电极需要高导电率，惰性子层21可采用金制成以辅助电极本体10进行导电；若柔性电极需要优先考虑耐氧化和耐腐蚀性，惰性子层21可采用铬及其氧化物。
50.但是考虑到柔性电极有时需要兼顾导电率和耐氧化、腐蚀性，因此，在本技术的另一些实施例中，惰性子层21由铂、金、不锈钢、钛和铬及其氧化物中的多种混合制成，例如，由金和铬混合制成惰性子层21；或，在本技术的又一些实施例中，惰性金属层20包括至少两个惰性子层21，多个惰性子层21依次叠设，惰性子层21由铂、金、不锈钢、钛和铬及其氧化物中的一种制成，例如，一惰性子层21由金制成，另一惰性子层21由铬制成，且将导电性更好的金与电极本体10连接，将导电率较低的铬与金制的惰性子层21远离电极本体10的一侧连接；或，在本技术的再一些实施例中，惰性金属层20包括至少两个惰性子层21，多个惰性子层21依此叠摞，惰性子层21由铂、金、不锈钢、钛和铬及其氧化物中的多种混合制成，例如，
一惰性子层21由金和铂混合制成，另一惰性子层21由不锈钢和铬制成；或在本技术的又一些实施例中，惰性金属层20包括至少两个惰性子层21，多个惰性子层21依此叠摞，部分惰性子层21由铂、金、不锈钢、钛和铬及其氧化物中的多种混合制成；部分惰性分成由铂、金、不锈钢、钛和铬及其氧化物中的一种制成，例如，一惰性子层21由金制成，另一惰性子层21由铂和金混合制成，再一惰性子层21由铬和不锈钢混合制成。
51.在本技术的一些实施例中，惰性金属层20可通过真空镀膜技术形成，例如，真空蒸发镀技术、真空溅射镀技术或真空离子镀技术。
52.请参照图1所示，在本技术的一些实施例中，电极本体10包括柔性基材层11、金属粘结层12和导电金属层13，金属粘结层12与柔性基材层11至少一侧连接；导电金属层13与金属粘结层12远离柔性基材层11的一侧连接，惰性金属层20与导电金属层13远离金属粘结层12的一侧连接。
53.柔性基材层11作为柔性电极基础支撑，柔性基材层11的形状和大小决定了该柔性电极的形状和大小，考虑到柔性电极因使用场合的不同，其形状和大小也不尽相同，因此，本技术实施例中对柔性基材层11的形状和大小不做限定。
54.另外，柔性基材层11的柔软性以及结构强度很大程度上决定了该柔性电极的柔软性以及结构强度，为保证柔性基材层11具有足够的柔性以保证柔性电极的柔软性以及具有足够的结构强度以保证柔性电极在使用过程中不会发生断裂，因此，在本技术的一些实施例中，柔性基材层11为高分子薄膜或片材，且柔性基材层11的厚度大于等于1μm且小于等于2000μm，柔性基材层11的厚度设置在大于等于1μm且小于等于2000μm的区间内，既能保证该柔性电极具有良好的机械柔性，又能保证该柔性电极的强韧性。
55.对于柔性基材层11的材料，在本技术的一些实施例中，柔性基材层11由聚对苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯、聚酰亚胺、聚氨酯和硅胶中的一种或多种制成；其中，聚对苯二甲酸乙二酯在较宽的温度范围内具有优良的物理机械性能，长期可使用温度可达120℃，电绝缘性优良，甚至在高温高频下，其电性能仍较好，且抗蠕变性，耐疲劳性，耐摩擦性、尺寸稳定性都很好，便于柔性电极需要改变自身形状以贴合人体且可增强该柔性电极结构强度，且耐疲劳性保证了该柔性电极可多次形变，使得该柔性电极具有更长的使用寿命；聚碳酸酯具有优良的韧性，可增强该柔性电极的结构强度使该柔性电极可承受较大的拉力，减小该柔性电极被拉断的概率；聚乙烯具有优良的耐低温性能(最低使用温度可达-100～-70℃)，耐腐蚀性，化学稳定性好，且电绝缘性优良，可增强该柔性电机的耐腐蚀性；聚丙烯具有耐化学性、耐热性、电绝缘性、高强度机械性能和良好的高耐磨加工性能等，即可以增强该柔性电极的耐腐蚀性又可以增强该柔性电极的结构强度；聚酰亚胺是综合性能最佳的有机高分子材料之一，其耐高温达400℃以上，长期使用温度范围-200～300℃，部分无明显熔点，高绝缘性能，103赫兹下介电常数4.0，介电损耗仅0.004～0.007，属f至h级绝缘；聚氨酯具有更好的稳定性、耐化学性、回弹性和力学性能，具有更小的压缩变型性。隔热、隔音、抗震、防毒性能良好，可增强该柔性电极的耐腐蚀性以及提高该柔性电极的受力能力；硅胶具有开放的多孔结构，吸附性强，有利于加强导电金属层13与柔性基材层11之间的连接强度。
56.结合上述惰性金属层20的数量为一个，在本技术的一些实施例中，金属粘结层12和导电金属层13的数量均为一个；结合上述惰性金属层20的数量为两个，在本技术的另一
些实施例中，金属粘结层12和导电金属层13的数量均为两个；可以理解的是，惰性金属层20的数量与金属粘结层12以及导电金属层13的数量相等。
57.请参照图1所示，在本技术的一些实施例中，金属粘结层12包括一个粘结子层121，每个粘结子层121由铬、钛、镍、锆和氮化钛中的一种制成。
58.铬、钛、镍、锆和氮化钛具有良好的延展性，利于将导电金属层13和柔性基材层11连接至一起，在本技术的另一些实施例中，金属粘结层12包括一个粘结子层121，每个粘结子层121由铬、钛、镍、锆和氮化钛中的多种混合制成，例如，粘结子层121由钛和镍混合制成，又例如，粘结子层121由锆和镍混合制成；在本技术的又一些实施例中，金属粘结层12包括至少两个粘结子层121，多个粘结子层121依次叠设，每个粘结子层121由铬、钛、镍、锆和氮化钛中的一种制成，例如，一粘结子层121由铬制成，又一粘结子层121由钛制成，再一粘结子层121由镍制成；在本技术的再一实施例中，金属粘结层12包括至少两个粘结子层121，多个粘结子层121依次叠设，每个粘结子层121由铬、钛、镍、锆和氮化钛中的多种混合制成，例如，一粘结子层121由铬和钛混合制成，又一粘结子层121由钛和镍混合制成；在本技术的再一实施例中，金属粘结层12包括至少两个粘结子层121，多个粘结子层121依次叠设，部分粘结子层121由铬、钛、镍、锆和氮化钛中的一种制成，部分粘结子层121由铬、钛、镍、锆和氮化钛中的多种混合制成，例如，一粘结子层121由铬制成，另一粘结子层121由钛和镍混合制成。
59.在本技术的一些实施例中，金属粘结层12的厚度大于等于0.001μm且小于等于0.010μm，将金属粘结层12的厚度设置在大于等于0.001μm且小于等于0.010μm之间，既能保证金属粘结层12具有足够的延展度，又能保证该柔性电极的机械柔性。
60.在本技术的一些实施例中，金属粘结层12可通过真空镀膜技术形成，例如，真空蒸发镀技术、真空溅射镀技术或真空离子镀技术。
61.请参照图1所示，在本技术的一些实施例中，导电金属层13包括一个导电子层131，导电子层131由铜、银、金、镍、铝、钛中的一种或多种制成，其中，铜、银、金、镍、铝、钛均具有优良的导电性以及耐腐蚀性，利于增强柔性电极的导电性能。
62.为平衡金属粘结层12的导电性能和耐腐蚀性，在本技术的另一些实施例中，导电金属层13包括一个导电子层131，导电子层131由铜、银、金、镍、铝和钛中的多种混合制成，例如，导电子层131由铜和金混合制成。在本技术的又一些实施例中，导电金属层13包括至少两个导电子层131，多个导电子层131依次叠设，每个导电子层131由铜、银、金、镍、铝和钛中的一种制成，例如，一导电子层131由铜制成，另一导电子层131由银制成，再一导电子层131由金制成；在本技术的再一些实施例中，导电金属层13包括至少两个导电子层131，多个导电子层131依次叠设，每个导电子层131由铜、银、金、镍、铝和钛中的多种混合制成，例如，一导电子层131由铜和金混合制成，另一导电子层131由银和镍混合制成；在本技术的再一些实施例中，导电金属层13包括至少两个导电子层131，多个导电子层131依次叠设，部分导电子层131由铜、银、金、镍、铝和钛中的一种制成；部分导电子层131由铜、银、金、镍、铝和钛中的多种混合制成，例如，一导电子层131由铜制成，另一导电子层131由银制成，又一导电子层131由金和镍混合制成。
63.在本技术的一些实施例中，导电金属层13的厚度大于等于0.001μm且小于等于0.100μm，将导电金属层13的厚度设置在大于等于0.001μm且小于等于0.100μm之间，既能保
证该柔性电极的导电性能，又能保证该柔性电极的机械柔性。
64.在本技术的一些实施例中，导电金属层13可通过真空镀膜技术形成，例如，真空蒸发镀技术、真空溅射镀技术或真空离子镀技术。
65.在本技术的一个具体实施例中，使用真空磁控溅射镀膜制成导电金属层13、惰性金属层20以及金属粘结层12，采用丝网印刷技术制成光油保护层30，制备的柔性柔性电极从柔性基材层11至光油保护层30材料以及厚度依次为：pet(100μm)/ti(0.010μm)/cu(0.050μm)/ti(0.050μm)/光油(5μm)，方阻为0.85ω/
□
。其中，惰性金属层20ti(50nm)和光油层(5μm)有效保证了柔性电极的耐氧化抗腐蚀性能，分别经过24小时盐雾(5％nacl)测试、14天高温高湿(65℃/95％)测试、14天低温(-40℃)测试，柔性电极依然保持良好的金属光泽，柔性电极表面没有发现明显的腐蚀氧化现象，制备的柔性电极体现了优良的抗氧化耐腐蚀性能；而且保持良好导电性能，具体请参照表1，满足作为电脉冲按摩电极的使用需求。
66.表1柔性电极经过各种环境测试后的方阻变化
[0067][0068]
本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本技术的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
[0069]
以上仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。

技术特征：

1.一种柔性电极，其特征在于，包括：电极本体；惰性金属层，与所述电极本体的至少一侧连接；光油保护层，与所述惰性金属层的远离所述电极本体的一侧连接。2.如权利要求1所述的柔性电极，其特征在于，所述惰性金属层包括至少一个惰性子层，多个所述惰性子层依次叠设，每个所述惰性子层由铂、金、不锈钢、钛和铬及其氧化物中的一种或多种制成。3.如权利要求1所述的柔性电极，其特征在于，所述惰性金属层的厚度大于等于0.001μm且小于等于0.500μm。4.如权利要求1所述的柔性电极，其特征在于，所述光油保护层为热固化光油保护层或光固化光油保护层。5.如权利要求1所述的柔性电极，其特征在于，所述光油保护层的厚度大于等于0.010μm且小于等于100μm。6.如权利要求1-5任一项所述的柔性电极，其特征在于，所述电极本体包括：柔性基材层；金属粘结层，与所述柔性基材层至少一侧连接，导电金属层，与所述金属粘结层远离所述柔性基材层的一侧连接；其中，所述惰性金属层与所述导电金属层远离所述金属粘结层的一侧连接。7.如权利要求6所述的柔性电极，其特征在于，所述柔性基材层为高分子薄膜或片材。8.如权利要求6所述的柔性电极，其特征在于，所述柔性基材层由聚对苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯、聚酰亚胺、聚氨酯和硅胶中的一种或多种制成，所述柔性基材层的厚度大于等于1μm且小于等于2000μm。9.如权利要求6所述的柔性电极，其特征在于，所述金属粘结层包括至少一个粘结子层，多个金属粘结子层依次叠设，每个所述粘结子层由铬、钛、镍、锆和氮化钛中的一种或多种制成，所述金属粘结层的厚度大于等于0.001μm且小于等于0.010μm。10.如权利要求6所述的柔性电极，其特征在于，所述导电金属层包括至少一个导电子层，多个导电子层依次叠设，每个所述导电子层由铜、银、金、镍、铝、钛中的一种或多种制成，所述导电金属层的厚度大于等于0.001μm且小于等于0.100μm。

技术总结

本申请公开了一种柔性电极，包括电极本体、惰性金属层和光油保护层，惰性金属层与所述电极本体至少一侧连接；光油保护层与所述惰性金属层的远离电极本体的一侧连接，其能够增强柔性电极的耐氧化以及耐腐蚀性。强柔性电极的耐氧化以及耐腐蚀性。强柔性电极的耐氧化以及耐腐蚀性。

技术研发人员：

陆喜 陈禹岐

受保护的技术使用者：

未来穿戴健康科技股份有限公司

技术研发日：

2022.06.10

技术公布日：

2022/11/24