一种具有隧道结结构的边发射半导体激光器及其制备方法[发明专利]

专利名称:一种具有隧道结构的边发射半导体激光器及其制备方法
专利类型:发明专利
发明人:计伟,曲智龙子母锁
申请号:CN201510077277.9
申请日:20150213
公开号:CN104682195A
公开日:
20150603铸造工艺流程
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专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明涉及一种具有隧道结结构的边发射半导体激光器,包括N面电极1、具有隧道结结构的外延结构,光刻具有隧道结结构的外延结构两侧形成脊形台,在形成脊形台的外延结构表面沉淀电绝缘层8,电绝缘层上层叠P面电极9。本发明提供的这种具有隧道结结构的边发射半导体激光器,减少了P型限制层中空穴的损耗,提高了载流子的注入效率,从而提高了器件的输出功率;同时消除了某些半导体P型重掺杂较为困难的问题,降低了器件的工作电压,从而提高了半导体激光器的功率转化效率。本发明提供的这种具有隧道结结构的边发射半导体激光器,广泛适用于各种材料系的边发射半导体激光器。糖蜜酒精
申请人:北京牡丹视源电子有限责任公司
地址:100191 北京市海淀区花园路2号
镀铬工艺国籍:CN
高效除雾器代理机构:北京轻创知识产权代理有限公司
代理人:杨立

本文发布于:2024-09-23 07:28:56,感谢您对本站的认可!

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标签:结构   半导体   激光器   具有   隧道   发射   提高
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