镀膜技术十个主要问题及答案

镀膜技术十个主要问题及答案
问题:
室外1V2一、镀膜技术可区分为那几类?
可区分为:(1)真空蒸镀 (2)电镀 (3)化学反应 (4)热处理 (5)物理或机械处理 
外脚手架定型化钢板网二、常用的真空泵浦有那几种?适用的抽气范围为何?
真空泵浦可分:
(1)机械帮浦 (2)扩散泵浦 (3)涡轮泵浦 (4)吸附泵浦 (5)吸着泵浦 
真空泵浦抽气范围: 
泵      浦        抽  气  范  围 
机 械 泵 浦      10-1 ~ 10-4  毫巴 
扩 散 泵 浦      10-3 ~ 10-6  毫巴 
涡 轮 泵 浦      10-3 ~ 10-9  毫巴 
吸 附 泵 浦      10-3 ~ 10-4  毫巴   
吸 着 泵 浦      10-4 ~ 10-10 毫巴
三、电浆技术在外表技术上的应用有那些?
1)溅浆沉积:溅镀是利用高速的离子撞击固体靶材,使外表分子溅离并射到基材镀成一层薄膜,溅射离子的起始动能约在100eV。常用的电浆气体为氩气,质量适当而且没有化学反应。 
(2)电浆辅助化沉积:气相化学沉积的化学反应是在高温基材上进行,如此才能使气体前置物获得足够的能量反应。
(3)电浆聚合:聚合物或塑料薄膜最简单的披覆技术就是将其溶剂中,然后涂布于基板上。电浆聚合涂布法系将分子单体激发成电浆,经化学反应后形成一致密的聚合体并披覆在基板上,由于基材受到电浆的撞击,其附着性也很强。
(4)电浆蚀刻:湿式碱性蚀刻,这是最简单而且廉价的方法,它的缺点是碱性蚀刻具晶面方向性,而且会产生下蚀的问题。
(5)电浆喷覆:在高温下运转的金属组件须要有陶瓷物披覆,以防止高温腐蚀的发生。 
四、蒸镀的加热方式包括那几种?各具有何特点?
加热方式分为:(1)电阻加热 (2)感应加热 (3)电子束加热 (4)雷射加热 (5)电弧加热 
各具有的特点: 
(1)电阻加热:这是一种最简单的加热方法,设备廉价、操作容易是其优点。 
(2)感应加热:加热效率佳,升温快速,并可加热大容量。
(3)电子束加热:这种加热方法是把数千eV之高能量电子,经磁场聚焦,直接撞击蒸发物加热,温度可以高达30000C。而它的电子的来源有二:高温金属产生的热电子,另一种电子的来源为中空阴极放电。
(4)雷射加热:激光束可经由光学聚焦在蒸镀源上,产生局部瞬间高温使其逃离。最早使用的是脉冲红宝雷射,而后发展出紫外线准分子雷射。紫外线的优点是每一光子的能量远比红外线高,因此准分子雷射的功率密度甚高,用以加热蒸镀的功能和电子束类似。常被用来披覆成份复杂的化合物,镀膜的品质甚佳。 
它和电子束加热或溅射的过程有基本上的差异,准分子雷射脱离的是微细的颗粒,后者则是以分子形式脱离。
(5)电弧加热:阴极电弧沉积的优点为:(1)蒸镀速率快,可达每秒1.0微米 
                                  (2)基板不须加热 
                                  (3)可镀高温金属及陶瓷化合物 
                                  (4)镀膜密高且附着力佳
真空蒸镀可应用在那些产业?
主要产业大多应用于装饰、光学、电性、机械及防蚀方面等,现就比较常见者分述如下:1.
镜片的抗反射镀膜(MgO、MgF2、SiO2等),镜片置于半球支顶,一次可镀上百片以上。 
2.金属、合金或化合物镀膜,应用于微电子当导线、电阻、光电功能等用途。 _ 
3.镀铝或钽于绝缘物当电容之电极。
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4.特殊合金镀膜MCrAlY具有耐热性抗氧化性,耐温达1100OC,可应用须耐高温环境的工件,如高速切削及成形加工、涡轮引擎叶片等。 
5.镀金属于玻璃板供建筑物之装饰及防紫外线。
6.离子蒸镀镀铝,系以负高电压加在被镀件上,再把铝加热蒸发,其蒸气经由电子撞击离子化,然后镀到钢板上。
7.镀铝于胶膜,可供装饰或标签,且镀膜具有金属感等。最大的用途就是包装,可以防潮、防空气等的渗入。
8.机械零件或刀磨具镀硬膜(TiC、TiN、Al2O3)这些超硬薄膜不但硬度高,可有效提高耐磨性,而且所需厚度剪小,能符合工件高精度化的要求。   
9.特殊合金薄片之制造。 
10.镀多层膜于钢板,改善其性能。 
11.镀硅于CdS太阳电池,可增加其效率。
12.奈米粉末之制造,镀于冷基板上,使其不附着。
TiN氮化钛镀膜具有那些特点? 
有以下的优点:(1)抗磨损 
              (2)具亮丽的外观 
              (3)具安全性,可使用于外科及食品用具。 
              (4)具润滑作用,可减少磨擦。 
              (5)具防蚀功能 
              (6)可承受高温
冰鲜台CVD化学气相沉积法反应步骤可区分为那五个步骤?
(1)不同成份气相前置反应物由主流气体进来,以扩散机制传输基板外表。理想状况下,前置物在基板上的浓度是零,亦即在基板上立刻反应,实际上并非如此。
(2)前置反应物吸附在基板上,此时仍容许该前置物在基板上进行有限程度的外表横向移动。
(3)前置物在基板上进行化学反应,产生沉积物的化学分子,然后经积聚成核、迁移、成长等步骤,最后联合一连续的膜。
黑刚玉磨料(4)把多余的前置物以及未成核的气体生成物去吸附。 
(5)被去吸附的气体,以扩散机制传输到主流气相,并经传送排出。
八、电浆辅助VCD系统具有何特?
一般CVD均是在高温的基板下产生沉积反应,如果以电浆激发气体,即所谓的电浆辅助CVD(Plasma enhanced CVD 简称PECVD),则基板温度可以大幅降低。然而一般薄层的
光电镀膜或次微米线条,相当脆弱,容易受到电浆离子撞击的伤害,故PECVD并不适宜。
九、CVD制程具有那些优缺点?
优点: (1)真空度要求不高,甚至不须真空,如热喷覆。
(2)高沉积速率,APCVD可以到达1μm/min。 
(3)相对于PVD,化学量论组成或合金的镀膜比较容易达成。 
(4)镀膜的成份多样化,包括金属、非金属、氧化物、氮化物、碳化物、半导体、光电材料、聚合物以及钻石薄膜等。 
(5)可以在复杂形状的基材镀膜,甚至渗入多孔的陶瓷。 
(6)厚度的均匀性良好, LPCVD甚至可同时镀数十芯片。   
缺点: 
(1)热力学及化学反应机制不易了解或不甚了解。 
(2)须在高温度下进行,有些基材不能承受,甚至和镀膜起作用。 
(3)反应气体可能具腐蚀性、毒性或爆炸性,处理需格外小心。
(4)反应生成物可能残余在镀膜,成为杂质。
(5)基材的遮蔽很难。 
十、钻石材料具有那些优点?可应用在那些产业上?
优点:硬度高、耐磨性高、低热胀率、散热能力良好、防蚀能力加>>>等等 
可应用在:声学产品、消费产品、生医产品、光学产品、超级磨料、航天产品、钻石制造、化学产品、电子产品、机械产品。
十一、钻石薄膜通常可使用那些方法来获得?
近年来膜状的钻石合成技术突飞猛进。钻石膜的厚度,可自奈米至毫米。薄膜常以物理气相沉积的方法生成。厚膜则多以化学气相沉积的方法获得。
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十二、试说明PVD法生长钻石薄膜之特性?
PVD沉积钻石时除撞击区的少数原子外,其它的碳原子乃在真空下,而且温度很低,因此常被认为是低压法。由于钻石在低压为介稳定状态故PVD法乃被归类为介稳定生长钻石的方法。但在生长钻石的撞击区碳原子所受的压力及温度都很高。由于高温影响的区域有限,因此钻石乃在非平衡状态下长出。在这种情况原子不易扩散,生出钻石的原子排列只是短程有序,但长程排列则含极多缺陷,甚至也含大量杂质,故称为类钻碳。以PVD法生长钻石或DLC因基材温度很低,生长速率缓慢,通常只沉积极薄的一层。由于膜较薄,可附在复杂的工件外表上。镀DLC膜时因工件不受高温影响,所以PVD沉积的DLC用途广泛,可用为模具涂层及硬盘护膜等。假设要生长较厚的钻石膜,原子必须扩散至晶格内的稳定位置,因此基材温度要提高,但也不能高到使生出的钻石转化成石墨。

本文发布于:2024-09-22 15:34:23,感谢您对本站的认可!

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