1.目的
按照此操作指导书进行工艺要求使用的程序进行产品LIFT-OFF清洗，提升产品品质为目的. 2.范围
2.1适用于事业部黄光区LIFT-OFF湿制程台。
3.名词解释
无
4.职责
4.1WOC事业部（生产）
4.1.1负责按本操作规程之相关流程进行作业.
4.2WOC事业部（工程）
4.2.1负责本操作规程的制定,会签发行.
4.2.2负责对本机操作人员的培训.
5.作业流程图
硼硅酸盐玻璃 无
6.作业程序
6.1 开机步骤
6.1.1 检查机台的水、电、气。将通入机台的氮气、压缩空气的阀门打开。然后将排水阀门和DI WATER进水DI WATER排水阀门打开。再确认机台内的各电源开关是否打开。没有打开的全部打开。再确认超声波发生器电源。打开电源后控制面板的电源指示灯变亮。如图一，图二，图三，图四，图五
图一：气体阀门 图二：各水管阀门
图三： 机台各部件电源开关 图四：电源指示灯
图五：超声波发生器和电源
6.1.2电源指示灯变亮后，使设备操作面板的急停开关处于弹起状态，然后按动启动电源开关，将机台开机。根据《WOC 黃光区湿制程台点检表》对机台进行检查，确认正常后作业。如图六，图七。
图六：EMO急停按钮 图七：设备启动电源开关
6.1.3开机时机台控制面板的显示器开始进入初始化，等待初始化结束显示器自动进入控制界面主界面。开机结束。如图八抗氧化植物素
图八： 操作面板主界面
6.2 作业步骤
6.2.1 将需要作业的产品放入专用的铁氟龙cassette 里，摆放位置按工艺需求。如图九
图九：将产品摆放在cassette里
6.2.2 将把手安装到cassette上，然后把产品放在需要作业的水槽内，盖好盖子。如图十，图十一，图十二，图十三。
注意：把手和cassette安装的时候一定要确认安装好,以免造成意外事故。
图十 图十一
图十二 图十三
6.2.3 做lift-off时先要在手动操作界面将对应水槽的超声打开。按“START”键，开始程序进行作业，然后显示面板会有程序运行时间，进行倒计时，在倒计时马上要结束时，会有报警提示，提示作业人员程序马上要结束。作业人员等报警结束后，按“STOP/RESET”键，把程序复位。然后将产品取出。
在作业时，有问题发生需要按“STOP/RESET”将程序停止，如果没有问题要继续进行作业可按“START”键，程序会继续进行作业。有问题不能继续作业可在次按动“STOP/RESET”对程序复位，将产品取出。如图十四，图十五
>晶振封装
豫公网安备41160202000603
站长QQ:729038198
关于我们
投诉建议