故障点 | 故障现象 | 故障原因 | 解决及预防措施 | 备注 |
1.高压和束流 | 1.1.开有高压，无束流 | 1.灯丝保险烧断 2.灯丝烧断 3.南光体右边引线碰到体底坐 | 2.保险正常则检查灯丝更换体. 3.调整引线与体底坐的间距.在抽气前检查体. | 立即关高压 |
1.2.开高压显示跳动幅度大，并有束流跳动 | 1.束流控制调在手动，电位器未归零 2.体短路 3.高压电极保护罩或屏蔽碰到高压引线造成短路 4.电柜故障 | 1.电位器归零.在预熔完后应将灯丝电位器归零 2.将连接灯丝变压器的高压引线取下（注意引线不能碰到机器应悬空）开高压，正常则体或高压电极保护罩或屏蔽短路造成 3.放气检查电极保护罩或屏蔽 4.检修电柜 | 立即关高压 | |
1.3.开无高压，无束流 | 1.高压保护不到位（偏转.真空.柜门） 2.高压电路出问题 | 1.检查相应的高压保护 2.检修高压控制电路 | ||
1.4.镀膜时高压会下跌 | 1.真空继电器烧坏 2.高压电路出问题 | 1.更换真空继电器 2.检修高压电路 | 常见4号机 | |
1.5.镀膜时灯丝突然很亮(束流达到满格) | 1.BT138可控硅被击穿 2.体短路 | 1.更换BT138 2.检查体 | 常见4号机 | |
1.6有高压，有灯丝电流，无光斑 扫雪滚刷安装 | 1.栅极片短路 2.扫描出问题或扫描线接反了 | 1.整理体 2.检修扫描，正确连接扫描线 | ||
1.7.束流上不去，达不到以前的水平（同样功率达不到以前的速率） | 1.灯丝位置不正或变形 2.灯丝被氧化 3.连接体的各接头松动 4.坩埚转速太快 5.材料被污染 6.晶片被挡住 | 1.重新安装或更换灯丝. 为了更好的对灯丝定形及延长灯丝使用寿命,在更换新灯丝后应对灯丝进行预热处理 2.更换灯丝.为防止灯丝氧化在放气前应注意检查关闭灯丝电源开关 3.拧紧各连接处. 4.调整坩埚转速 5.取出被污染的材料或更换新材料 6.调整晶片挡板位置.抽气应检 | ||
7.电柜出问题 | 查晶片是否被挡 7.检修电柜 | |||
1.8.阻蒸电流调不上去 | 1.蒸发舟烧断或松掉造成接触不良 2.空气开关跳闸 3.调节电流的电位器坏了 4.铜电极与真空室底板下的引线接触不良 | 1.更换蒸发舟或拧紧螺钉.为了防止接触不良，各电极和压块应清洗干净.更换在蒸发舟时应将铜压块取下砂干净再安装蒸发舟 2.打开空气开关 3.更换电位器 4.清洁磨平接触不良的地方并拧紧螺钉 | ||
1.9.速率不稳定 | 1.晶片失效 2.料面不好 3.功率设置不合理 4.控制参数PID设置不合理 5.灯丝接触不好或老化 6.高压打火 | 1.选择好的晶片，1.2的速率要匹配 2.料要加平整，养成停坩埚的好习惯 3.预熔功率及最大功率设置合理(最大功率为略大于蒸发时所需功率） 4.设置合理的PID参数 5.紧固或更换灯丝 6.解决打火现象 | ||
1.10.高压打火 | 1.体污染，杂物掉入体 2.各接线处未拧紧 3.聚四氟套管太脏 4.体阳极，栅极变形 5.高压电极太脏 6.屏蔽不佳或未屏蔽 7.光斑位置不合理，扫描状态不好 8.2高压干扰 9.材料污染有杂物 10.高压打在10KV 11.预熔不够充分 12.功率设置不合理 | 1.整理体，在吹体时应用吸尘器边吸使吹出的杂物吸走不被落在体里 2.拧紧各连接处，使其接触良好 3.清洗或更换套管，应定时清洗 4.调整或更换阳极，栅极片 5.更换高压电极 6.调整屏蔽或加装屏蔽 7.调整好光斑，检查扫描 8.蒸镀1时应关闭2高压 9.将被污染的材料去除或更换新材料 10.将高压调在正确的档位（中档8KV）.在触摸屏上操作时(如调整坩埚转速时)应注意是否误碰到高压调节档位 11.预熔时间及加的束流应合理（束流最后应加到接近镀第一套时所需束流坩锅转一到两圈） 12.设置合理的功率,预熔功率不应太大,最大功率应与速率相匹配,注意在第一套时速率较小时功率的设置 | ||
2.扫描和光斑 | 2.1.光斑不能调整 | 1.扫描引线或线圈短路 2.整流桥击穿 3.引线或线圈断路 4.遥控盒上的连线松脱或电位器坏了 | 1.检查引线及线圈,引线间不能碰在一起,抽气前应检查引线是否互相触碰和松动 2.更换整流桥 缓冲块3.检查引线及线圈 4.接好连线或更换电位器 | |
2.2光斑及扫描状态不好 | 1.灯丝变形 2.极靴位置不正 3.扫描频率不合适 4.短路条多或少了,位置不好 5.高压档位不对 6.扫描连接线有误 | 1.更换灯丝 2.调整极靴位置.在拆下清洗时要做好记号避免安装时位置不正 3.调整合适频率,频差和密度 4.调整短路条的位置及数量 5.调整正确的高压档位 6.正确连接扫描线,维修时应做好记号 | ||
3.坩埚和工转 | 3.1坩埚转动不灵或不转 | 1.坩埚周边间隙太小 2.坩埚间隙有材料(卡料) 3.轴承锈死 4.减速器出问题 分火头5.电机出问题 6.防污底板顶到坩埚(2) 7.连接键脱落 | 1.调整坩埚周边的间隙 2.清理间隙中的材料.注意料不要加得太高,预熔时数量不要加得太快,防止材料飞溅掉入间隙里使坩埚卡住或转得不顺畅 3.清洗或更换轴承.在打扫真空室及洗机时应将坩埚下面的料渣清除,防止料渣太多影响轴承的性能 4.检查减速器 5.维修或更换电机 6.调整好大门底板的位置(稍高于坩埚),关门时感到异常(如较平时紧)应检查底板及防污板的位置 7.重新安装好键 | |
3.2工转噪音大,晃动大 | 1.电机轴承坏了 2.大轴承干磨性能下降 3.电机与减速箱连接不好 4.传动齿轮磨损 | 1.更换电机轴承 2.清洗或更换大轴承 3.将电机与减速箱连接好 4.更换齿轮 | ||
3.3工转转不了 | 1.电机损坏 2.电机与传动部分的键脱落或磨损 3.传动的齿轮磨损 4.单向器坏了 5.电路出问题 | 1.更换电机 2.重装或更换键 3.更换齿轮 4.更换或维修单向器(2楼) 5.检修电路 | ||
3.4.工转电压调不上,电压显示指针跳动大 | 1.调节电位器损坏 2.控制器出问题 3.工转传动不稳 4.碳刷接触不良 5.电压表有问题 | 1.更换电位器 2.检修控制器 3.维修传动部分 4.整理碳刷接触面或更换 5.维修或更换电压表 | ||
4.阀门 | 4.1.阀门打不开 | 1.气压不够 2.控制阀门的气动阀有问题 3.阀门间互锁 | 1.调高气压到适当位置 2.维修或更换气动阀 3.检查与其互锁的阀门.应注意阀门指示灯显示关闭但实际阀门并未关闭的现象 | |
4.2.阀门打开后会自动关闭 | 1.气压不够 2.气动阀阀芯内的橡皮松脱 | 1.调高气压到合适位置 2.更换阀芯或气动阀 | ||
4.3.放气取膜,放气阀打不开 | 电子点烟器1.高阀没关到位 2.放气阀的气动阀有问题 | 1.检查高阀没关到位的原因,不能强行手动关闭 2.更换或维修气动阀 | ||
5.真空度 | 5.1.在镀膜过程中真空度突然下跌 | 1.高阀,预阀等阀门自动关闭 2.扩散泵断相或跳闸 3.坩埚卡料强行转动造成漏气 | 1.检查气压是否正常,正常则是相应的阀门问题,一般为气动阀的阀芯松脱 2.合上闸刀,断相表现为三相指示灯有一或两个灯不亮,更换电炉盘 3.维修坩埚,当卡料时不能强行转坩 | |
智能操作票5.2.低真空突然抽不动 | 1.机械泵掺气阀没关 2.真空室门压到东西 3.并路阀(旁通阀),截止阀自动关闭 4.机械泵出问题 5.罗茨泵出问题 6.管道漏气 7.机械泵上的机放阀漏气 8.真空室漏气 | 1.关闭掺气阀 2.检查大门密封.关门抽气时应检查大门是否压到东西或密封圈上有杂物 3.检查相应的阀门及控制阀门的气动阀和气压 4.维修机械泵 5.维修罗茨泵 6.维修管道 7.更换或维修机放阀 8.按5.4步骤检漏 | ||
5.3抽气慢 | 1.真空室太脏,没换防污板 2.扩散泵太久没洗 3.扩散泵出气口挡油板被吸起 4.机械泵没掺气 5.真空测量表基准不准 钢锭模6.机械泵,罗茨泵有问题 | 1.更换防污板或清洗真空室 2.清洗扩散泵(大约一年洗一次) 3.调整挡油板 4.给机械泵掺气或换油 5.调节真空表基准或更换真空表 6.检修机械泵,罗茨泵 | ||
本文发布于:2024-09-23 07:25:46，感谢您对本站的认可！
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