一种灯杯式光刻光源的制作方法

1.本实用新型led光刻光源领域，具体为一种灯杯式光刻光源。

背景技术：

2.随着科技高速发展，芯片广泛用于我们日常生活中，随处可见的科技产品都离不开芯片，所以芯片成为了我们不可或缺的产品，在芯片生产中光刻光源是最重要的一个工艺，以往的光刻光源里面的光源用的是旧灯组，该旧灯组使用起来不仅费电而且该灯组使用寿命不长，并且旧灯组打开或者关闭比较慢，给科研人员带来了不小的麻烦。

技术实现要素：

3.(一)解决的技术问题
4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种灯杯式光刻光源，通过将灯组里的旧灯组换成led,通过换成led灯组解决了用起来费电和使用寿命不长以及灯组打开或者关闭比较慢的缺点。
5.(二)技术方案
6.为达到以上目的，本实用新型采取的技术方案是一种灯杯式光刻光源，包括灯杯，所述灯杯中设置有led灯组，所述led灯组为多面led模组，所述led灯组为多面发光，所述led灯组包括发光杯，所述发光杯内部一周均匀设置有若干发光珠，所述led灯组与所述灯杯在同一条轴线上；
7.所述灯杯的下方设置有用于光线反射的第一反射镜；
8.所述第一反射镜从左到右依次设置有透镜组、复眼组；
9.所述复眼组远离透镜组一边设置有用于反射光线的第二反射镜；
10.所述第二反射镜下方设置有平行大透镜，所述led灯组发射的光线依次经过所述第一反射镜、所述透镜组上、所述复眼组、所述第二反射镜以及所述平行大透镜。
11.优选的，所述第一反射镜设置在灯杯的正下方且第一反射镜的中心与灯杯中心相对应。
12.优选的，所述透镜组的中心点与第一反射镜的中心点处在一个水平。
13.优选的，所述复眼组的中心点与透镜组的中心点处在一个水平且复眼组与透镜组之间留有一定距离。
14.优选的，所述第二反射镜的中心点与复眼组中心点处在一个水平，且位于平行大透镜的正上方。
15.优选的，所述平行大透镜的中心点与第二反射镜中心点相对应且与第二反射镜之间留有一定距离。
16.(三)有益效果
17.本实用新型的有益效果在于：
18.1、该用于灯杯式光刻光源，通过在灯杯中安装led灯组不仅降低了耗电的能力同
时也增加了该装置的使用寿命以及实现了快速打开或者关闭该装置的能力，led灯组为多面发光的灯组使得所发射出来的光线各个方位强度相等，且光源集中。
附图说明
19.图1为本实用新型的一种灯杯式光刻光源led立体解剖内部结构示意图。
20.图2为本实用新型的一种灯杯式光刻光源旧灯组立体解剖内部结构示意图
21.图3为本实用新型的一种灯杯式光刻光源led灯组俯视结构示意图。
22.图中：1-灯杯，2-led灯组,3-第一反射镜，4-透镜组，5-复眼组，6-第二反射镜，7-平行大透镜,8-旧灯组。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.如图1-3所示，本实用新型提供一种技术方案：包括灯杯，灯杯中设置有led灯组2，led灯组2为多面led模组，led灯组2为多面发光，led灯组2包括发光杯，发光杯内部一周均匀设置有若干发光珠，led灯组2与灯杯1在同一条轴线上相较于旧灯组8有着耗电低，使用寿命长并且多面发光使射出来的光线更加的均匀。
25.灯杯1的下方设置有第一反射镜3，第一反射镜3从左到右依次设置有透镜组4、复眼组5以及第二反射镜6且第二反射镜6下方设置有平行大透镜7，光线通过平行大透镜7汇聚在一起，led灯组2发射的光源经过第一反射镜6反射到透镜组4上，光线通过透镜组4发射到复眼组5上，光线通过复眼组5投射到第二反射镜6，第二反射镜6将光线反射到平行大透镜上。
26.在本实施例中，如图1所示，第一反射镜3设置在灯杯1的正下方且第一反射镜3的中心与灯杯1中心相对应，通过第一反射镜3用于将光线反射，使得led灯组2从灯杯1中发出的光线通过第一反射镜3反射到透镜组4内。
27.在本实施例中，如图1所示，透镜组4的中心点与第一反射镜3的中心点处在一个水平，透镜组4用于将光线汇聚，使得光线不会散射将光线角度变小，便于将led灯组2组发射出的光线全部导入复眼组5内。
28.在本实施例中，如图1所示，复眼组5的中心点与透镜组4的中心点处在一个水平且复眼组5与透镜组4之间留有一定距离，复眼组5用于将光线折射成均匀强度，通过复眼组5内部多次折射，从而使得复眼组5内的光线进行复合，进而便于复眼组5射出的光线强度大小统一。
29.在本实施例中，如图1所示，第二反射镜6的中心点与复眼组5中心点处在一个水平，且位于平行大透镜7的正上方，通过复眼组5将光线发射到第二反射镜6上，第二反射镜6用于将光线反射，光线通过第二反射镜6使得光线反射到平行大透镜7上。
30.在本实施例中，如图1所示，平行大透镜7的中心点与第二反射镜6中心点相对应且与第二反射镜6之间留有一定距离，平行大透镜7用于将光线汇聚，光线通过第二反射镜6垂
直反射到平行大透镜7上，通过平行大透镜7将反射来的光线汇聚到焦点使得光线汇聚。
31.本实用新型的操作步骤为：
32.如图1-3所示，本实施例提供的一种灯杯式光刻光源的原理如下：首先将led灯组2外部电源打开，之后led灯组2射出来的光线射在第一反射镜3上，然后光线通过第一反射镜3将光线反射到透镜组4内，透镜组4将光线发射的角度缩小使得光线汇聚，然后将光全部导入复眼组5内，然后通过复眼组5内部多次折射，从而使得复眼组5内的光线进行复合将光线强度变得相等，然后再将强度大小相等的光线设在第二反射镜6上，然后通过第二反射镜6将光线垂直射向平行大透镜7上，然后垂直射出的光线通过平行大透镜7将光线汇聚到一点。
33.以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种灯杯式光刻光源，包括灯杯(1)，其特征在于：所述灯杯(1)中设置有led灯组(2)，所述led灯组(2)为多面led模组，所述led灯组(2)为多面发光，所述led灯组(2)包括发光杯，所述发光杯内部一周均匀设置有若干发光珠，所述led灯组(2)与所述灯杯(1)在同一条轴线上；所述灯杯(1)的下方设置有用于光线反射的第一反射镜(3)；所述第一反射镜(3)从左到右依次设置有透镜组(4)、复眼组(5)；所述复眼组(5)远离透镜组(4)一边设置有用于反射光线的第二反射镜(6)；所述第二反射镜(6)下方设置有平行大透镜(7)，所述led灯组(2)发射的光线依次经过所述第一反射镜(3)、所述透镜组(4)上、所述复眼组(5)、所述第二反射镜(6)以及所述平行大透镜(7)。2.根据权利要求1所述的一种灯杯式光刻光源，其特征在于:所述第一反射镜(3)设置在灯杯(1)的正下方且第一反射镜(3)的中心与灯杯(1)中心相对应。3.根据权利要求2所述的一种灯杯式光刻光源，其特征在于:所述透镜组(4)的中心点与第一反射镜(3)的中心点处在一个水平。4.根据权利要求1所述的一种灯杯式光刻光源，其特征在于:所述复眼组(5)的中心点与透镜组(4)的中心点处在一个水平且复眼组(5)与透镜组(4)之间留有一定距离。5.根据权利要求1所述的一种灯杯式光刻光源，其特征在于：所述第二反射镜(6)的中心点与复眼组(5)中心点处在一个水平，且位于平行大透镜(7)的正上方。6.根据权利要求1所述的一种灯杯式光刻光源，其特征在于：所述平行大透镜(7)的中心点与第二反射镜(6)中心点相对应且与第二反射镜(6)之间留有一定距离。

技术总结

本实用新型公开了一种灯杯式光刻光源，属于LED光刻光源领域，包括灯杯，其特征在于：灯杯中设置有LED灯组，灯杯的下方设置有第一反射镜，第一反射镜从左到右依次设置有透镜组、复眼组以及第二反射镜且第二反射镜下方设置有平行大透镜，LED灯组发射的光源依次经过第一反射镜、透镜组、复眼组投射到第二反射镜，然后第二反射镜将光线反射到平行大透镜上，本实用新型通过将灯组里的旧灯组换成LED,通过换成LED灯组解决了用起来费电和使用寿命不长以及灯组打开或者关闭比较慢的缺点，通过设置第一反射镜、透镜组、复眼组，第二反射镜以及平行大透镜配合使用，使得LED灯组发射出的光线汇聚到一起。聚到一起。聚到一起。