本公开叙述一种更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法。示例性的车辆包括一处理器，配置以接 收一请求信号，以更换一第一光刻胶瓶罐。处理器亦配置以传递基于请求信号的一指令。车辆亦包括多个车轮，配置以从第一地点移动车辆至一第二地点、及从第二地点移动车辆至第一地点。车辆还包括一机械手臂，配置以在第一地点装载第一光刻胶瓶罐至一第一容器中；装载一第二光刻胶瓶罐至一第二容器中；从第二光刻胶瓶罐移除一盖部及从第一光刻胶瓶罐移除一套筒；耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐；及从第二容器卸载第二光刻胶瓶罐。 权利要求书
1.一种车辆，用于更换一光刻胶瓶罐，包括：
一处理器，配置以：
接收更换一第一光刻胶瓶罐的一请求信号，其中该请求信号包括关联于该第一光刻胶瓶罐的一第一地点；以及
基于该请求信号而传递一指令；
多个车轮，配置以从该第一地点移动该车辆至一第二地点，且从该第二地点移动该车辆至该第一地点；以及
水烟
一机械手臂，配置以：
在该第一地点装载该第一光刻胶瓶罐至一第一容器中；
在该第二地点装载一第二光刻胶瓶罐至一第二容器中；
从该第二光刻胶瓶罐移除一盖部，且从该第一光刻胶瓶罐移除一套筒；
耦接该第一光刻胶瓶罐的该套筒至该第二光刻胶瓶罐；以及
在该第一地点从该第二容器卸载该第二光刻胶瓶罐。
2.如权利要求1所述的车辆，还包括：
一第一可转动台座及一第二可转动台座，用于分别地固定该第一容器及该第二容器至该第一可转动台座及该第二可转动台座上，且沿一水平平面转动该第一容器及该第二容器。
3.如权利要求2所述的车辆，其中该机械手臂包括一抓握部，用于通过夹持至该盖部及该套筒的分别的一外侧壁而从该第二光刻胶瓶罐移除该盖部，且从该第一光刻胶瓶罐移除该套筒。
4.如权利要求3所述的车辆，其中该抓握部更配置以通过耦接至在该第一容器及该第二容器的分别的多个底部的多个载体插入部并抬起该第一容器及该第二容器而装载及卸载该第一容器及该第二容器。
5.一种电脑系统，用于更换一光刻胶瓶罐，包括：
一存储器，配置以存储更换该光刻胶瓶罐的一程序及数据；以及
一处理器，配置以：
接收更换一第一光刻胶瓶罐的一请求信号，其中该请求信号包括关联于该第一光刻胶瓶罐的一第一地点；
发送一车辆至该第一地点；以及
控制该车辆以：
装载该第一光刻胶瓶罐至该车辆上；
运输该第一光刻胶瓶罐至一第二光刻胶瓶罐所在的一第二地点；
装载该第二光刻胶瓶罐至该车辆上；
移除该第二光刻胶瓶罐的一盖部及该第一光刻胶瓶罐的一套筒；
耦接该第一光刻胶瓶罐的该套筒至该第二光刻胶瓶罐上；以及
运输该第二光刻胶瓶罐至该第一地点。
6.如权利要求5所述的电脑系统，其中该处理器更配置以：
空调节能器
控制该车辆，以通过插入该车辆的一机械手臂至一第一容器中及抬起该第一容器至该车辆的一第一可转动台座上而装载该第一光刻胶瓶罐至该车辆上；以及
控制该车辆，以通过插入该车辆的该机械手臂至一第二容器中及抬起该第二容器至该车辆的
一第二可转动台座上而装载该第二光刻胶瓶罐至该车辆上。
智能楼宇可视对讲系统
7.如权利要求5所述的电脑系统，其中移除该第二光刻胶瓶罐的该盖部及该第一光刻胶瓶罐的该套筒的操作包括：
夹持至该盖部的一外侧壁及该套筒的一外侧壁上；
分别地沿该盖部及该套筒耦接至该第二光刻胶瓶罐及该第一光刻胶瓶罐的一方向而分别地转动该车辆的该第一可转动台座及该第二可转动台座。
8.一种更换方法，用于使用一车辆更换一光刻胶瓶罐，包括：
接收更换一第一光刻胶瓶罐的一请求信号，其中该请求信号包括关联于该第一光刻胶瓶罐的一第一地点；
移动至该第一地点；
装载该第一光刻胶瓶罐；
运输该第一光刻胶瓶罐至关联于一第二光刻胶瓶罐的一第二地点；
装载该第二光刻胶瓶罐；
从该第二光刻胶瓶罐移除一盖部，且从该第一光刻胶瓶罐移除一套筒；
耦接该第一光刻胶瓶罐的该套筒至该第二光刻胶瓶罐；以及
风力发电汽车运输该第二光刻胶瓶罐至该第一地点。
9.如权利要求8所述的更换方法，其中：
装载该第一光刻胶瓶罐的操作包括：
以一机械手臂装载该第一光刻胶瓶罐至一第一容器中；以及
阻燃双面胶
以该机械手臂抬起该第一容器至该车辆的一第一可转动台座上；以及
装载该第二光刻胶瓶罐的操作包括：
以该机械手臂装载该第二光刻胶瓶罐至一第二容器中；以及
以该机械手臂抬起该第二容器至该车辆的一第二可转动台座上。
10.如权利要求8所述的更换方法，还包括验证该第一光刻胶瓶罐的一身份是否与该第二光刻胶瓶罐的一身份匹配。无线表决器
技术说明书
更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法
技术领域
本公开实施例涉及一种车辆及电脑系统，特别涉及一种更换光刻胶瓶罐的车辆及电脑系统。背景技术
光刻胶(Photoresist，PR)为半导体工业中重要的元素。光刻胶使用在半导体制造过程的各个阶段，以在晶圆上形成图案。光刻胶瓶罐(例如含有使用于半导体制造的光刻胶的瓶罐)已被手动更换，以再填
充/更换光刻胶。然而，光刻胶瓶罐的手动更换可为耗费时间且昂贵的，且可容易受到人为错误及损坏的影响。
豫公网安备41160202000603
站长QQ:729038198
关于我们
投诉建议