干膜光成像工艺规范
1．目的---------------------------------------------------------------------------------4
2．范畴---------------------------------------------------------------------------------4
3．铁路道口报警器定义---------------------------------------------------------------------------------4
4．操作方法-------------------------------------------------------------------------4-5
5．磨板-------------------------------------------------------------------------------6-9 6．贴膜------------------------------------------------------------------------------9-11
7．曝光-----------------------------------------------------------------------------11-13
8．显影-----------------------------------------------------------------------------13-17
9．检查-----------------------------------------------------------------------------17-18
10.故障与排除---------------------------------------------------------------------18-19
注意：以下所有数据建议参考，与你公司如有相同实属巧合。
1.目的：本文旨在建立干膜光成像工艺之操作规范及工艺操纵要求、设备之日常爱护方法和要求。 2.范畴: 适用于线路板光成像工艺过程之干膜、曝光、显影工序。
3.定义：光成像——指将底片的线路图像移到覆铜板上，形成一种抗蚀或抗电镀的掩膜图像。
4.操作方法
4.1安全。
4.1.1化学溶液加入槽中时，应戴橡胶手套，必要时戴上安全眼镜，眼睛和皮肤幸免与其接触，假如化学溶液溅到皮肤上，需赶忙用自来水进行冲洗, 并报告领班。 4.1.2溅到地上的化学药品须赶忙擦净。
4.1.3操作时不要观看紫外光源。
4.1.4不要操作没上盖子和没安装固定好的机器。
4.1.5酒精、丙酮等易燃品使用完后应盖好盖子。
4.2要紧设备
4.3要紧物品
名 称 |
干膜 |
重氮片 |
重氮片爱护膜 |
氨水 |
酒精 |
浓硫酸 |
碳酸钠牵引带 |
消泡剂 |
|
4.4制程能力
项目 | 尺寸（mm） | 备注 |
板尺寸 | 610×460 | Max |
干膜隔离环 | 0.13 | Min |
外层线宽/线间距 | 0.10 | Min |
干膜盖孔能力 | 6.5 | Max |
对位精度 | ±0.05 | Min |
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4.5工艺流程图
4.5.1双面板制作过程
来板检查→磨板→贴膜 →停留15min→对位→曝光→停留15min→显影→检查修正→下道工序
来板检查→ 磨板/化学清洗→ 贴膜→ 停留15min———————→对位→ 曝光→ 停留15min→显影→检查修正→转下道工序（蚀刻）。
4.6工艺环境及要求
4.6.1生产前对所有设备和周围环境进行约30分钟的擦拭或吸尘等清洁工作，所有工作区域都必须保持洁净整洁。
4.6.2贴膜、曝光间属四级空调区，环境要求：温度21±2℃，湿度55%，该区照明灯为安全黄光灯，室内不得漏白光。
4.6.3进入贴膜、曝光间必须穿防静电服（防尘服），并经风淋门风淋10秒以上，风淋时应将两侧门关紧，将风淋嘴对准防静电服全身风淋。
4.6.4防静电服的着装方法：先戴帽，将头发置于帽内，再穿衣、以裤束紧上衣，以袜束紧裤脚，防静电服只能在指定范畴内穿着，并要保持整洁。
4.6.5风淋门不承诺开着或半掩着，不承诺两道门同时是开启状态，否则有过量的灰尘和污物进入，不许将有灰尘的物品（如纸箱）带入工作区域内。风淋门前面的过道每天必须进行清洁。
4.6.6除了对位、曝光人员不戴手套取放板子外，工序的其它工位（磨板、贴膜、显影、检板）取放、接收板子的人员一律要戴洁净干燥的白细纱手套取放板子，磨板接板贴膜放板人员戴指套操作。并要做到轻拿轻放，手指不得触及线路图形，板角不得碰伤其它板的铜面或干膜线路。 5.磨板
5.1目的：保证贴膜前的板面干燥清洁无氧化、胶渍等污物。
5.1.1物料：硫酸（工业）、尼龙磨刷（第1对为320目，第2对为500目）。 5.1.2工具：吸管、胶手套、无毛白纱手套。
5.2工序流程：
入板→稀硫酸洗→循环水洗→水洗→ 磨刷（1对320目）→ 磨刷（1对500目）→中压水洗→水洗→挤干→吹干→烘干→出板。
5.3工艺条件
操纵项目 | 操纵范畴 | 最佳范畴 |
输送速度 | 内层：2.0-3.0m/min 铅锡板：1.8-3.0m/min 金板：1.6-2.0m/min | 内层：2.8m/min 铅锡板：2.5m/min（其中有长条孔的锡板速度为1.5-2.0m/min） 金板：1.8m/min |
磨刷压力 | 1.5-3.0A | 1.5-2.0A |
硫酸浓度 | 1%-3% | 2% |
烘干温度 | 60-90蜂窝不粘锅℃ | 70-80℃ |
硫酸喷淋压力 | 10-28psi | 10-20psi（或0.7-1.5kg/cm2） |
水洗喷淋压力 | 10-28psi | 10-20psi（或0.7-1.5kg/cm2） |
低压有源滤波磨痕宽度 | 10-15mm | 12-13mm |
水膜破裂时刻 | 水膜保持15秒以上 | 水膜保持15秒以上 |
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5.4操作方法
5.4.1开机：依次打开下列开关。
水闸开关→电源→输送→水洗→中压水洗→循环水洗→酸洗→挤干→吹干→烘干→摇摆→磨刷。
5.4.2配制药水
5.4.2.1先放掉旧药水、清洗缸内残渣。
5.4.2.2加入100升自来水，用虹吸管吸取2升硫酸，慢慢加入水中。
5.4.2.3开机循环3-5min即可投入使用，一样要求每班要换一次药水。
5.4.3关机：依开机的相反顺序进行。
5.5检测判定方法
5.5.1一样通过磨痕试验和水膜破裂试验来检测磨板成效，要求磨出来的板干燥洁净，无污
数据销毁迹、氧化点。
5.5.2磨痕试验：
取一块未经钻孔或已钻孔但未作图形的且与生产板同厚度的覆铜板作试板。
5.5.2.1打开输送→放板入上（下）刷位置→关闭输送→调动磨刷进给压力到设定值→打开上（下）刷喷啉并磨板8-10秒→关闭磨刷→打开输送→取出试板。
5.5.2.2将板子传送出来，检查上（下）刷的磨痕是否平均，宽度在10-15mm之间，过窄则顺时针方向旋转调压手柄调大进给压力，过宽则逆时针方向旋转调压手柄减少进给压力，直到磨痕宽度在要求范畴内，同时查相应的电表头指示值是否正确，并要求工作职员在试板上作记录（时刻、板子厚度、磨刷压力，磨痕宽度）。
5.5.3水膜破裂试验
将刚磨出来的板，浸入洁净的水中，然后取出竖直放置，若水膜能保持15秒以上，说明此板合格，否则重新调试直到符合要求为止。
5.6安全生产
5.6.1当调整好磨板各参数后，先做磨痕试验和水膜破裂试验，然后试刷3-5块板，检查整个磨板系统是否正常，磨出来的板是否干燥洁净，有无污渍、水迹、氧化点，合格后方可批量生产。
5.6.2接板职员将检查合格的板先插架放置3-6min，再叠板放置（0.6mm以下的薄板可直截了当叠板放置），为了防止板子放置时刻太长、板面氧化导致贴膜不牢，原则上要求现磨现贴，但积板数量不许超过100块且存板时刻不可超过一小时。否则需重新磨板。
5.6.3为了防止磨刷不平均磨损成腰鼓形，批量磨板时，放板要左右平均放置，通常每个月用80目砂纸将磨刷整平一次。
5.6.4磨刷使用寿命
每道磨刷通过板子的长度累积达4万至5万米，要求更换该道磨刷，并作相关的运行记录。
5.6.5吸水辊应以清水充分润湿，不许让吸水辊干燥工作，一样要求2个月换一次吸水辊。
5.7注意事项：
5.7.1取硫酸时，需戴手套，用吸管吸取，以免发生意外。
5.7.2为防止磨板时叠板，放板时要求板与板的间距约10mm。
5.8爱护与保养
5.8.1日保养
检查项目 | 爱护方式 | 向心关节轴承散件加工 工艺要求 | 保养周期 |
药缸、 水洗缸 | 清洗更换 | 缸内液体清亮液位达标 | 1次/班 |
过滤网 | 清水冲洗 | 无堵孔、垃圾 | 1次/班 |
各喷咀 | 检查清理喷咀内异物或更换 | 无堵塞，喷出水形为圆锥形 | 1次/班 |
吸水辊 | 浸泡、挤压、清水冲洗 | 保持潮湿、 无残留污物 | 1次/班 |
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5.8.2周保养，除日保养以外，每周周末进行一次大保养。
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