专利名称：一种半导体晶圆检测旋转平台专利类型：实用新型专利 发明人：王俊，金嘉辉，周魏，程宏，王勤，傅丁丁申请号：CN201920442568.7
申请日：20190403
声波识别公开号：CN209592010U
野苹果园公开日：mvr蒸发浓缩
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专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型提供一种半导体晶圆检测旋转平台，其特征在于：包括电控箱，旋转机构，第一平台，第二平台，支撑杆和吸附机构，本实用新型的吸附机构和旋转机构的设置，晶圆放置在旋转台固定后，抽风机启动运行，旋转台上形成负压，通过多个分气孔将半导体晶圆吸附在旋转台上，对半导体晶圆起到了固定的作用，使之不会偏离旋转平台中心，抽风管上端与旋转机构通过旋转接头活动连接，避免旋转台旋转过程中抽风管随着旋转台一起旋转，连接快速方便，抽风机运行过程中产生振动，在抽风机下方设置橡胶垫片，起到缓冲振动的作用，提高使用寿命，电控箱控制旋转电机通电运行，旋转电机带动旋转台转动，实现旋转台的快速精确调整，提高检测装置的检测效率。 申请人：杭州载力科技有限公司
地址：311121 浙江省杭州市余杭区余杭街道科技大道8-2号D座第一层
国籍：CN
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