专利类型：发明专利
发明人：朱煜，王磊杰，张鸣，吴亚风，刘召，徐登峰，成荣，尹文生，穆海华，杨开明，胡金春，胡楚雄，祁利山
申请号：CN201410031283.6
申请日：20140123
公开号：CN103759657A
公开日：
20140430
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：基于光学倍程法的二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、光电转换单元；光栅干涉仪包括偏振分光棱镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器的激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出两路光信号至光电转换单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学倍程，提高了分辨率，能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量二个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位移测量系统可提升工件台综合性能。
申请人：清华大学，北京华卓精科科技有限公司
地址：100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
国籍：CN
代理机构：北京鸿元知识产权代理有限公司
代理人：邸更岩
豫公网安备41160202000603
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