硅片的清洗方法[发明专利]

专利类型：发明专利

发明人：钱明明，徐建，贾泰，彭彪申请号：CN201710720566.5申请日：20170821

公开号：CN107706087A

公开日：

20180216

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种硅片的清洗方法，包括前清洗、制绒、后清洗、酸洗以及清洗烘干步骤。本发明在酸洗前加入双氧水、氨水和去离子水的混合液，不光可以更有效的去除硅片的金属离子，还可以对硅片表面的有机成本及颗粒物进行清洗，减少硅片表面脏污(该清洗方式通过碱性氧化，去除硅片表面的颗粒，并可氧化及去除表面的有机物和金属污染)，这样硅片清洗更干净，从而提高电池片的0.03～0.05％转换效率。

申请人：东方环晟光伏(江苏)有限公司

地址：214203 江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路20号

国籍：CN

代理机构：南京天华专利代理有限责任公司

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