清洗操作规程
一、目的
2.去除硅片表面机械损伤层。
3.在硅片表面形成表面组织，增加太阳光的吸收，减少反射。
二、原理
单晶：利用碱溶液对单晶硅各个晶面腐蚀速率的不同，在硅表面形成金字塔状的绒面。 化学反应方程式：Si +2NaOH+H2O→Na2SiO3+2H2↑
多晶：利用HNO3的强氧化性和HF的络合性，对硅片进行氧化和络合剥离，导致硅表面发生各向同性非均匀性腐蚀，形成类似凹陷坑状绒面。
化学反应方程式：SI+4HNO3+6HF→H2SiF6+4NO3+4H2O
三、操作过程
Ⅰ.生产准备
1.穿好工作服、工作鞋、戴好工作帽，经过手动风淋后进入车间，并带上
手套及口罩。
2..需要加物料的人员戴上安全眼镜、防护面具、防酸碱围裙、长袖防酸手套。
单晶
物料 | NAOH（g） | 异丙醇（ml） | 清洗剂（ml） | 硅酸钠（g） | 温度(℃) |
第一批 | 1200 | 8000 | 800 | 200 | 70 |
第二批 | 400 | 1500 | 200 | - | 70 |
第三批 | 300 | 1200 | 100 | - | 70 |
第四批 | 300 | 800-1000 | 50 | - | 70 |
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以下物料追加就按第四批添加。
多晶
物料 | HF | HNO3 | H2O | 温度（℃） |
第一次 | 77L | 187L | 176L | 8 |
追加 | 500ml | 900ml | - | 8 |
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2.清洗机操作顺序
单晶
池号 | 1# | 2# | 6# | 7# | 8# | 9# | 10# | 11# | 12# | 13# | 14# | 15# |
溶液 | 60℃ 清洗剂2瓶 的溶液 | 常温 清水 | 制绒池 加料按工艺参数添加 | 常温 清水 | 常温 清水 | HF5 瓶及 HCL4瓶的溶液 | 常温 清水 | HCL 8瓶的溶液 | 常温 清水 | 喷淋后出片 |
时间 | 240S | 50S | 30M （可按情况调节） | 50S | 50S | 100S | 100S | 300S | 100S | 300S |
| | | | | | | | | | | | |
多晶
池号 | 2# | 4# | 5# | 6# | 9# | 10# | 11# | 12# | 13# | 14# | 15# |
溶 液 | 常温清水 | 制绒池按工艺参数添加 | 碱液 2000G | HCL 1瓶 溶液 | 常温 清水 | 常温 清水 | HF5 瓶及 HCL4瓶的溶液 | 常温 清水 | HCL 8瓶的溶液 | 常温 清水 | 喷淋后出片 |
时间 | 50S | 150S | 1M | 60S | 50S | 50S | 100S | 100S | 300S | 100S | 300S |
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3.制绒要求
单晶
⑴插片房插好片，按要求把硅片整齐放入塑料蓝内400片/批，然后放在
清洗机上，启动绿按键，硅片到达指定位置后，在触摸显示屏上按下自动启动。
⑵制绒槽水位到达预定刻度，开启加热开关，盖上槽盖。
⑶当温度显示器达到制绒温度时，先按工艺规定的配液比例加入NaOH，
让NaOH缓慢均匀的融入水溶液中，并搅拌均匀。
⑷再按工艺配液比例加入异丙醇和清洗剂，充分搅拌均匀，过完超声波
的硅片便可以放入制绒池中制绒（两者间隔时间最好保持在两分钟内），盖上盖
子，开始记时。
⑸每个制绒池做完一批后，需要定量补料，范围为根据实际生产出片制
绒效果，结合工艺参数定夺。
多晶
⑴插片房插好片，按要求把硅片整齐放入塑料蓝内400片/批，然后放在
清洗机上，启动绿按键，硅片到达指定位置后，在触摸显示屏上按下自动启动。
⑵制绒槽水位到达预定刻度，开启制冷机及循环泵，用测温监测温度。
⑶先按工艺要求把制绒的物料加入制绒池内，加料一定要缓慢准确添加，记好所加的物料数量。
⑷每一批都要根据硅片减重及表面质量，及时更改所加的物料。
四、工艺控制要求
1.所有槽中的水必须一个班次更换一次，并清理槽内碎片，制绒池一定要用
异丙醇擦洗干净后， 再用水冲洗干净。
2.停产的情况，则视制绒槽中情况补加物料。
3. 在硅片制绒好后，由于每次取片都会带走部分溶液，应观察每个槽中液
位，如有达不到水位，应及时补水和药液适量调整加入。
4.清洗工序做好各种表格记录。
五、过程检验
1.生产过程中，制绒盖子要关闭密合。
2.各槽液位是否准确，温度是否正常，不适合要及时调整。
3.机械臂走位及定位准确、勾篮子准确。
4.清洗槽中无杂质，无大量大块碎硅片，如有则及时清理。
5.当硅片放入制绒槽中，根据制绒效果抽片检查腐蚀后硅片质量，包括绒面
外观质量，单晶外观要求绒面灰暗，无明显白斑、白点、不反光发亮、无篮子印。
多晶外观要求绒面灰暗，无反光发亮，无黄斑。
六、注意事项
1.每批投料前，需要检查制绒液液位，及时调整。
2.操作化学药品时，一定要带好防护面具和防护手套，操作化学药品之前和
之后都确保化学品储存罐开口密封，防止泄露和玷污危险发生。
3.关注硅片绒面表面质量，如不合格，及时通知当班工艺员。
4.设备出现故障时，及时通知设备维修人员。
5.地面或任何设备表面有化学药品玷污时，及时清理防止危害。
6.传递窗的台面要定时清理，台面上不得有灰尘、杂物。
7.机械手运动时，不得有阻碍机器运动的物品，或人为阻挡，以防造成机器故障。
8.所有生产人员必须严格遵守工艺规定，严禁不按照工艺执行。
9.不允许将装片篮子直接接触地面。
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