发明人：陈前兆，徐昌华，史才成，孟宪亮，郝子龙，郑银先，华贵俊，高超
申请号：CN201320596770.8
申请日：20130926
公开号：CN203534124U
公开日：
20140409
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，包括清洗制绒机烘干用送风管道所述烘干装置包括两侧分别开设有进风口和出风口的壳体，所述进风口处设有一鼓风机，所述出风口与所述送风管道连通，所述壳体内设有电热管，所述电热管竖直设置在所述进风口和所述出风口之间，所述电热管和所述鼓风机之间设有高效空气过滤器。本实用新型利用鼓风机抽取车间内的空气再经过电加热形成热风进而烘干硅片，因为硅片清洗制绒的车间为10万级无尘车间，因此车间内的空气满足烘干硅片的初步条件，再加上本实用新型在壳体内设有高效空气过滤器，进一步提高空气的纯净度，产生的热风不会对硅片表面造成污染，本实用新型相比以往用氮气设备的烘干方式，在保证烘干效果的同时大大降低了生产的成本。 申请人：江苏晶鼎电子材料有限公司
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国籍：CN
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