专利类型:实用新型专利
发明人:刘成中
申请号:CN201921005033.X 申请日:20190628
公开号:CN210200670U
公开日:
20200327
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本实用新型涉及一种硅片清洗设备,通过在臂柱的顶端和底端之间设置第一传感器,当抓钩将硅片放置于清洗槽后回到臂柱顶端的过程中,第一传感器检测到机械臂即发送控制信号至控制装置,控制装置可以在机械臂回到臂柱顶端之前控制盖板关闭,清洗槽对硅片进行清洗,从而可以提前清洗。每个清洗槽均提前清洗,从而可以节约整个清洗过程的时间,提高产能。 申请人:阜宁协鑫光伏科技有限公司
地址:224400 江苏省盐城市阜宁县经济开发区香港路888号
国籍:CN
代理机构:广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人:闫晓欣