一种定位热场的炉底盘的制作方法



1.本实用新型涉及炉底盘装置技术领域,具体为一种定位热场的炉底盘。


背景技术:



2.单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
3.申请号为cn202220291588.0,公开了一种定位热场的炉底盘,涉及单晶炉技术领域。本实用新型包括炉底盘本体,炉底盘本体上设有铜电极,热场底固毡设置于炉底盘本体上,热场底固毡上设有电极护套,铜电极外围的炉底盘本体上设有定位组件,所述定位组件具有与电极护套侧壁适配的定位部,所述电极护套与所述定位部接触实现与铜电极同轴。
4.这种在对热场底固毡定位完成后,在长时间运行会导致发生偏移,并不是很牢固,针对上述问题,发明人提出一种定位热场的炉底盘用于解决上述问题。


技术实现要素:



5.为了解决在长时间运行会导致发生偏移,并不是很牢固问题;本实用新型的目的在于提供一种定位热场的炉底盘。
6.为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:一种定位热场的炉底盘,包括炉底盘,所述炉底盘上安装设有热场底固毡,所述炉底盘上固定设有固定杆,所述热场底固毡内转动插设有套筒,所述固定杆活动插设在套筒内,所述炉底盘内开设有安装槽,所述安装槽内安装设有压环,所述压环下固定设有收集筒,所述炉底盘内开设有收集槽,所述收集筒安装设在收集槽内,所述压环内开设有通槽,所述炉底盘内开设有螺纹槽,所述压环内螺纹连接有螺栓,所述螺栓螺纹连接在螺纹槽内。
7.优选地,所述套筒内开设有固定槽,所述固定杆活动插设在固定槽内,所述固定杆上固定设有限位杆,所述套筒内开设有限位槽,所述限位杆活动插设在限位槽内。
8.优选地,所述固定杆外表面固定设有滑块,所述套筒内壁开设有l形滑槽,所述滑块滑动设在l形滑槽内,所述滑块一侧固定设有第一磁铁,所述l形滑槽一侧内壁固定设有第二磁铁,所述热场底固毡上固定设有套环,所述套筒外表面固定设有固定环,所述固定环转动设在套环内。
9.优选地,所述炉底盘上固定设有定位环,所述套筒下端外表面固定设有弹片,所述弹片贴合设在定位环内。
10.与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:
11.1、通过炉底盘上的定位环,使套筒下的弹片贴合在定位环内壁,对其进行挤压固定,从而能够使在对热场底固毡安装长时间使用时,也能够使炉底盘和热场底固毡进行定位,使热场对中,无需作业人员使用测量工具即可快速完成对热场的对中,作业效率大幅提高;
12.2、通过固定杆上的滑块滑动在l性滑槽内,从而能够快速的将热场底固毡进行安装,通过滑块一侧的第一磁铁和l形滑槽内壁上的第二磁铁相互吸引,从而在对固定杆安装在套筒内后防止滑动,从而避免在长时间使用发生偏移;
13.3、通过螺栓将压环固定在安装槽内,从而使收集筒安装在收集槽内,从而使单晶炉运行中产生的杂质聚集在收集筒内,,然后在将压环进行拆卸,便于将杂质进行处理。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1为本实用新型整体结构示意图。
16.图2为本实用新型定位环结构示意图。
17.图3为本实用新型套筒局部剖切结构示意图。
18.图4为本实用新型图1中a处结构示意图。
19.图中:1、炉底盘;101、安装槽;102、收集槽;103、螺纹槽;11、收集筒;12、压环;121、通槽;13、螺栓;2、定位环;21、固定杆;22、限位杆;23、滑块;24、第一磁铁;3、热场底固毡;31、套环;32、套筒;321、限位槽;322、固定槽;323、l形滑槽;33、固定环;34、第二磁铁;35、弹片。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
21.如图1-4所示,本实用新型提供了一种定位热场的炉底盘,包括炉底盘1,炉底盘1上安装设有热场底固毡3,炉底盘1上固定设有固定杆21,热场底固毡3内转动插设有套筒32,固定杆21活动插设在套筒32内,炉底盘1内开设有安装槽101,安装槽101内安装设有压环12,压环12下固定设有收集筒11,炉底盘1内开设有收集槽102,收集筒11安装设在收集槽102内,压环12内开设有通槽121,炉底盘1内开设有螺纹槽103,压环12内螺纹连接有螺栓13,螺栓13螺纹连接在螺纹槽103内,炉底盘1内开设有螺纹槽103,压环12内螺纹连接有螺栓13,螺栓13螺纹连接在螺纹槽103内,通过螺栓13将压环12固定在安装槽101内,从而使收集筒11安装在收集槽102内,从而使单晶炉运行中产生的杂质聚集在收集筒11内,,然后在将压环12进行拆卸,便于将杂质进行处理,首先将热场底固毡3放在炉底盘1上,然后通过将固定杆21安装在固定槽322内,从而使限位杆22安装在限位槽321内,从而使安装后更加稳定,不会发生偏移,通过固定杆21上的滑块23滑动在l形滑槽323内,从而能够快速的将热场底固毡3进行安装,通过滑块23一侧的第一磁铁24和l形滑槽323内壁上的第二磁铁34相互吸引,从而在对固定杆21安装在套筒32内后防止滑动,从而避免在长时间使用发生偏移,通过热场底固毡3上的套环31,使套筒32在转动时带动固定环33转动在套环31内,从而能够对
套筒32进行限位,通过炉底盘1上的定位环2,使套筒32下的弹片35贴合在定位环2内壁,对其进行挤压固定,从而能够使在对热场底固毡3安装长时间使用时,也能够使炉底盘1和热场底固毡3进行定位,使热场对中,无需作业人员使用测量工具即可快速完成对热场的对中,作业效率大幅提高,通过螺栓13将压环12固定在安装槽101内,从而使收集筒11安装在收集槽102内,从而使单晶炉运行中产生的杂质聚集在收集筒11内,然后在将压环12进行拆卸,便于将杂质进行处理。
22.套筒32内开设有固定槽322,固定杆21活动插设在固定槽322内,固定杆21上固定设有限位杆22,套筒32内开设有限位槽321,限位杆22活动插设在限位槽321内。
23.通过采用上述技术方案,通过将固定杆21安装在固定槽322内,从而使限位杆22安装在限位槽321内,从而使安装后更加稳定,不会发生偏移。
24.固定杆21外表面固定设有滑块23,套筒32内壁开设有l形滑槽323,滑块23滑动设在l形滑槽323内,滑块23一侧固定设有第一磁铁24,l形滑槽323一侧内壁固定设有第二磁铁34。
25.通过采用上述技术方案,通过固定杆21上的滑块23滑动在l形滑槽323内,从而能够快速的将热场底固毡3进行安装,通过滑块23一侧的第一磁铁24和l形滑槽323内壁上的第二磁铁34相互吸引,从而在对固定杆21安装在套筒32内后防止滑动,从而避免在长时间使用发生偏移。
26.热场底固毡3上固定设有套环31,套筒32外表面固定设有固定环33,固定环33转动设在套环31内。
27.通过采用上述技术方案,通过热场底固毡3上的套环31,使套筒32在转动时带动固定环33转动在套环31内,从而能够对套筒32进行限位。
28.炉底盘1上固定设有定位环2,套筒32下端外表面固定设有弹片35,弹片35贴合设在定位环2内。
29.通过采用上述技术方案,通过炉底盘1上的定位环2,使套筒32下的弹片35贴合在定位环2内壁,对其进行挤压固定,从而能够使在对热场底固毡3安装长时间使用时,也能够使炉底盘1和热场底固毡3进行定位,使热场对中,无需作业人员使用测量工具即可快速完成对热场的对中,作业效率大幅提高。
30.工作原理:首先将热场底固毡3放在炉底盘1上,然后通过将固定杆21安装在固定槽322内,从而使限位杆22安装在限位槽321内,从而使安装后更加稳定,不会发生偏移,通过固定杆21上的滑块23滑动在l形滑槽323内,从而能够快速的将热场底固毡3进行安装,通过滑块23一侧的第一磁铁24和l形滑槽323内壁上的第二磁铁34相互吸引,从而在对固定杆21安装在套筒32内后防止滑动,从而避免在长时间使用发生偏移,通过热场底固毡3上的套环31,使套筒32在转动时带动固定环33转动在套环31内,从而能够对套筒32进行限位,通过炉底盘1上的定位环2,使套筒32下的弹片35贴合在定位环2内壁,对其进行挤压固定,从而能够使在对热场底固毡3安装长时间使用时,也能够使炉底盘1和热场底固毡3进行定位,使热场对中,无需作业人员使用测量工具即可快速完成对热场的对中,作业效率大幅提高,通过螺栓13将压环12固定在安装槽101内,从而使收集筒11安装在收集槽102内,从而使单晶炉运行中产生的杂质聚集在收集筒11内,然后在将压环12进行拆卸,便于将杂质进行处理。
31.显然,本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用
新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

技术特征:


1.一种定位热场的炉底盘,包括炉底盘(1),其特征在于:所述炉底盘(1)上安装设有热场底固毡(3),所述炉底盘(1)上固定设有固定杆(21),所述热场底固毡(3)内转动插设有套筒(32),所述固定杆(21)活动插设在套筒(32)内,所述炉底盘(1)内开设有安装槽(101),所述安装槽(101)内安装设有压环(12),所述压环(12)下固定设有收集筒(11),所述炉底盘(1)内开设有收集槽(102),所述收集筒(11)安装设在收集槽(102)内。2.如权利要求1所述的一种定位热场的炉底盘,其特征在于,所述套筒(32)内开设有固定槽(322),所述固定杆(21)活动插设在固定槽(322)内,所述固定杆(21)上固定设有限位杆(22),所述套筒(32)内开设有限位槽(321),所述限位杆(22)活动插设在限位槽(321)内。3.如权利要求1所述的一种定位热场的炉底盘,其特征在于,所述固定杆(21)外表面固定设有滑块(23),所述套筒(32)内壁开设有l形滑槽(323),所述滑块(23)滑动设在l形滑槽(323)内。4.如权利要求3所述的一种定位热场的炉底盘,其特征在于,所述滑块(23)一侧固定设有第一磁铁(24),所述l形滑槽(323)一侧内壁固定设有第二磁铁(34)。5.如权利要求1所述的一种定位热场的炉底盘,其特征在于,所述热场底固毡(3)上固定设有套环(31),所述套筒(32)外表面固定设有固定环(33),所述固定环(33)转动设在套环(31)内。6.如权利要求1所述的一种定位热场的炉底盘,其特征在于,所述炉底盘(1)上固定设有定位环(2),所述套筒(32)下端外表面固定设有弹片(35),所述弹片(35)贴合设在定位环(2)内。7.如权利要求1所述的一种定位热场的炉底盘,其特征在于,所述压环(12)内开设有通槽(121),所述炉底盘(1)内开设有螺纹槽(103),所述压环(12)内螺纹连接有螺栓(13),所述螺栓(13)螺纹连接在螺纹槽(103)内。

技术总结


本实用新型公开了一种定位热场的炉底盘,涉及热场炉底盘的技术领域;而本实用新型包括;一种定位热场的炉底盘,包括炉底盘,所述炉底盘上安装设有热场底固毡,所述炉底盘上固定设有固定杆,所述热场底固毡内转动插设有套筒,所述固定杆活动插设在套筒内,所述炉底盘内开设有安装槽,所述安装槽内安装设有压环,所述压环下固定设有收集筒,所述炉底盘内开设有收集槽,通过炉底盘上的定位环,使套筒下的弹片贴合在定位环内壁,对其进行挤压固定,从而能够使在对热场底固毡安装长时间使用时,也能够使炉底盘和热场底固毡进行定位,使热场对中,无需作业人员使用测量工具即可快速完成对热场的对中,作业效率大幅提高。作业效率大幅提高。作业效率大幅提高。


技术研发人员:

赵丽丽

受保护的技术使用者:

哈尔滨鹏谦科技有限公司

技术研发日:

2022.12.07

技术公布日:

2023/3/28

本文发布于:2024-09-21 15:35:00,感谢您对本站的认可!

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