能够快速降温的磁控溅射镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及磁控溅射镀膜机技术领域，特别涉及能够快速降温的磁控溅射镀膜机。

背景技术：

2.磁溅射镀膜机是一种普适镀膜机，用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系，可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其他化学反应膜，亦可镀铁磁材料，主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层；
3.为此，公开号为cn201793725u的专利公开了一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室门、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的磁控溅射装置，磁控溅射装置包括与真空室体固定连接的磁控靶法兰、与磁控靶法兰固定连接并置于真空室中的铁轭、磁铁、磁控靶阴极板和靶材，还包括冷水套、进水道座和出水道座，进水道座和出水道座与磁控靶法兰固定连接，冷水套固设在进水道座和出水道座的里端，铁轭、磁铁、磁控靶阴极板、靶材依次固定在冷水套上，在冷水套和磁控靶阴极板之间构成冷却水通道。其有益的技术效果是：冷却水通道对靶材和磁铁进行冷却，具有冷却效果好的优点，进而保证镀膜质量；
4.上述中的磁控溅射镀膜机现有技术方案存在以下缺陷：
5.1、在进行镀膜时，需要镀膜的物体会出现移动的情况，不能较好的进行镀膜；
6.2、在对不同的物体进行镀膜时，需要更换不同的分子泵，更换较麻烦。

技术实现要素：

7.(一)要解决的技术问题
8.本实用新型的目的是提供能够快速降温的磁控溅射镀膜机，用以解决现有的磁控溅射镀膜机在进行镀膜时，需要镀膜的物体会出现移动的情况，不能较好的进行镀膜的缺陷。
9.(二)实用新型内容
10.为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：能够快速降温的磁控溅射镀膜机，包括放置框、放置板和导电法兰，所述放置框的底端设置有前级泵，所述放置框的内部设置有放置板，所述放置板的顶端设置有限位结构，所述限位结构包括第一限位板、第二限位板、螺杆、限位块、固定板以及转轴，所述第一限位板设置于放置板顶端的一侧，所述放置框的顶端设置有导电法兰，所述导电法兰的一侧设置有升降轴，所述导电法兰的底端设置有更换结构，所述更换结构的底端设置有分子泵，所述分子泵的表面设置有散热结构。
11.通过设置限位结构，在一定程度上方便了对物体进行限位，通过设置更换结构，在一定程度上方便了对分子泵进行更换，通过设置散热结构，在一定程度上对分子泵起到了
冷却的效果。
12.优选的，所述固定板设置于放置板顶端的另一侧，所述固定板一侧放置板的顶端设置有第二限位板，所述固定板的内部设置有螺杆，所述螺杆的一侧设置有转轴，所述螺杆另一侧第二限位板的内部设置有限位块。
13.优选的，所述第二限位板与放置板呈滑动结构设计，所述螺杆与第二限位板呈转动结构设计。
14.优选的，所述更换结构包括螺钉、安装板以及螺孔，所述安装板设置于放置框的顶部，所述安装板的内部设置有螺钉，所述螺孔设置于放置框内部的顶端。
15.优选的，所述螺钉与螺孔一一对应，所述螺钉与螺孔呈螺纹连接。
16.优选的，所述散热结构包括导热板、第一散热片以及第二散热片，所述第二散热片设置于分子泵的表面，所述第二散热片的表面设置有第一散热片，所述第一散热片的表面设置有导热板。
17.优选的，所述第二散热片设置有若干个，若干个所述第二散热片呈等间距分布。
18.(三)有益效果
19.本实用新型提供的能够快速降温的磁控溅射镀膜机，其优点在于：
20.通过设置有限位结构，在一定程度上对物体起到了限位的作用，有效的防止在对物体进行镀膜时，物体出现移动的情况，造成镀膜出现残次品的现象，出现了浪费；
21.通过设置有更换结构，在一定程度上方便了对分子泵进行更换，在对不同的物体进行镀膜时，需要使用不同的分子泵进行操作，在更换结构的作用下，可以更加方便了对分子泵进行更换；
22.通过设置有散热结构，在一定程度上对分子泵起到了冷却的效果，在进行镀膜时，分子泵的内部会产生一定的热量，在散热结构的作用下，可以对分子泵起到散热的效果，有效的增加镀膜时的效率。
附图说明
23.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
24.图1为本实用新型的立体结构示意图；
25.图2为本实用新型的正视结构示意图；
26.图3为本实用新型的限位结构正视剖面结构示意图；
27.图4为本实用新型的分子泵俯视结构示意图；
28.图5为本实用新型的分子泵正视剖面结构示意图。
29.图中的附图标记说明：1、放置框；2、前级泵；3、放置板；4、导电法兰；5、升降轴；6、限位结构；601、第一限位板；602、第二限位板；603、螺杆；604、限位块；605、固定板；606、转轴；7、分子泵；8、更换结构；801、螺钉；802、安装板；803、螺孔；9、散热结构；901、导热板；902、第一散热片；903、第二散热片。
具体实施方式
30.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
32.实施例一
33.请参阅图1-5，本实用新型提供的能够快速降温的磁控溅射镀膜机，包括放置框1、放置板3和导电法兰4，放置框1的底端设置有前级泵2，放置框1的内部设置有放置板3，放置板3的顶端设置有限位结构6，限位结构6包括第一限位板601、第二限位板602、螺杆603、限位块604、固定板605以及转轴606，第一限位板601设置于放置板3顶端的一侧，放置框1的顶端设置有导电法兰4，导电法兰4的一侧设置有升降轴5，导电法兰4的底端设置有更换结构8，更换结构8的底端设置有分子泵7，分子泵7的表面设置有散热结构9，固定板605设置于放置板3顶端的另一侧，固定板605一侧放置板3的顶端设置有第二限位板602，固定板605的内部设置有螺杆603，螺杆603的一侧设置有转轴606，螺杆603另一侧第二限位板602的内部设置有限位块604，第二限位板602与放置板3呈滑动结构设计，螺杆603与第二限位板602呈转动结构设计。
34.本实施例中，通过转动转轴606，可以带动螺杆603进行转动，在螺杆603进行转动时，可以带动限位块604在第二限位板602的内部进行转动，从而可以使第二限位板602在放置板3的上方进行移动，从而改变第一限位板601与第二限位板602之间的距离，方便对物体起到限位的作用。
35.实施例二
36.本实施例还包括：更换结构8包括螺钉801、安装板802以及螺孔803，安装板802设置于放置框1的顶部，安装板802的内部设置有螺钉801，螺孔803设置于放置框1内部的顶端，螺钉801与螺孔803一一对应，螺钉801与螺孔803呈螺纹连接。
37.本实施例中，在螺钉801的作用下，方便了对安装板802进行安装与拆卸，从而方便对分子泵7进行更换。
38.实施例三
39.本实施例还包括：散热结构9包括导热板901、第一散热片902以及第二散热片903，第二散热片903设置于分子泵7的表面，第二散热片903的表面设置有第一散热片902，第一散热片902的表面设置有导热板901，第二散热片903设置有若干个，若干个第二散热片903呈等间距分布。
40.本实施例中，在第一散热片902与第二散热片903的相互作用下，可以有效的对分子泵7的内部起到散热的效果，有效的防止分子泵7在使用时内部温度较高。
41.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
42.以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。
43.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

技术特征：

1.能够快速降温的磁控溅射镀膜机，包括放置框(1)、放置板(3)和导电法兰(4)，其特征在于：所述放置框(1)的底端设置有前级泵(2)；所述放置框(1)的内部设置有放置板(3)，所述放置板(3)的顶端设置有限位结构(6)，所述限位结构(6)包括第一限位板(601)、第二限位板(602)、螺杆(603)、限位块(604)、固定板(605)以及转轴(606)，所述第一限位板(601)设置于放置板(3)顶端的一侧，所述放置框(1)的顶端设置有导电法兰(4)，所述导电法兰(4)的一侧设置有升降轴(5)；所述导电法兰(4)的底端设置有更换结构(8)，所述更换结构(8)的底端设置有分子泵(7)，所述分子泵(7)的表面设置有散热结构(9)。2.根据权利要求1所述的能够快速降温的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述固定板(605)设置于放置板(3)顶端的另一侧，所述固定板(605)一侧放置板(3)的顶端设置有第二限位板(602)，所述固定板(605)的内部设置有螺杆(603)，所述螺杆(603)的一侧设置有转轴(606)，所述螺杆(603)另一侧第二限位板(602)的内部设置有限位块(604)。3.根据权利要求1所述的能够快速降温的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述第二限位板(602)与放置板(3)呈滑动结构设计，所述螺杆(603)与第二限位板(602)呈转动结构设计。4.根据权利要求1所述的能够快速降温的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述更换结构(8)包括螺钉(801)、安装板(802)以及螺孔(803)，所述安装板(802)设置于放置框(1)的顶部，所述安装板(802)的内部设置有螺钉(801)，所述螺孔(803)设置于放置框(1)内部的顶端。5.根据权利要求4所述的能够快速降温的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述螺钉(801)与螺孔(803)一一对应，所述螺钉(801)与螺孔(803)呈螺纹连接。6.根据权利要求1所述的能够快速降温的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述散热结构(9)包括导热板(901)、第一散热片(902)以及第二散热片(903)，所述第二散热片(903)设置于分子泵(7)的表面，所述第二散热片(903)的表面设置有第一散热片(902)，所述第一散热片(902)的表面设置有导热板(901)。7.根据权利要求6所述的能够快速降温的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述第二散热片(903)设置有若干个，若干个所述第二散热片(903)呈等间距分布。

技术总结

本实用新型涉及磁控溅射镀膜机技术领域，提供能够快速降温的磁控溅射镀膜机，包括放置框、放置板和导电法兰，放置框的底端设置有前级泵，放置框的内部设置有放置板，放置板的顶端设置有限位结构，限位结构包括第一限位板、第二限位板、螺杆、限位块、固定板以及转轴，第一限位板设置于放置板顶端的一侧，放置框的顶端设置有导电法兰，导电法兰的一侧设置有升降轴，导电法兰的底端设置有更换结构，更换结构的底端设置有分子泵，分子泵的表面设置有散热结构。本实用新型通过设置有限位结构，在一定程度上对物体起到了限位的作用，有效的防止在对物体进行镀膜时，物体出现移动的情况，造成镀膜出现残次品的现象，出现了浪费。出现了浪费。出现了浪费。