一种喷涂装置及匀胶显影机的制作方法

1.本实用新型涉及光刻胶喷涂领域，尤其涉及一种喷涂装置及匀胶显影机。

背景技术：

2.光刻胶涂布是光刻工艺的一部分，是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，光刻胶涂布时，喷嘴将光刻胶溶液喷涂晶圆的表面，然后使晶圆转动，光刻胶随之旋转受到离心力，向着晶圆外围移动，直至覆盖晶圆的表面，形成了一定厚度的胶层。
3.现常用的光刻胶喷涂装置通常向晶圆的中心喷涂光刻胶，再通过晶圆的转动使得光刻胶向晶圆外围移动，光刻胶在向晶圆外围移动过程中也会慢慢固化，且越靠近晶圆的边缘光刻胶固化越快，使得固化后的光刻胶在晶圆边缘形成的胶层的厚度大于在晶圆中心胶层的厚度。

技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的是提出一种喷涂装置，旨在解决现有的喷涂装置对喷胶量准确度要求高喷涂光刻胶后形成的胶层不均匀的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提出的一种喷涂装置，其中所述喷涂装置包括：
6.承载结构，包括载台与设于载台上的转动部，所述转动部用以承载晶圆；以及，
7.喷涂结构，设于所述承载结构的上侧，所述喷涂结构包括分流阀与多个喷涂机构，所述分流阀的输入口连接有输入管道，用以供光刻胶的输入，所述分流阀的输出口与多个所述喷涂机构连接，多个喷涂机构用以对应所述晶圆的不同位置，以将所述光刻胶喷涂于所述晶圆上不同位置，其中，至少一个喷涂机构用以对应所述晶圆的中心，至少一个喷涂机构用以对应所述晶圆的边缘。
8.可选地，所述承载结构还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构包括第一电动机、皮带轮及皮带，所述第一电动机与所述转动部通过所述皮带轮与皮带连接，以驱动所述转动部横向转动。
9.可选地，所述转动部具有低速转动的第一状态与高速转动的第二状态，所述第一状态用以在喷涂所述光刻胶时，以将所述光刻胶喷涂于所述晶圆上不同位置，所述第二状态用以在喷涂所述光刻胶后，以使所述光刻胶均匀扩散至所述晶圆的表面。
10.可选地，所述喷涂装置包括第一喷涂机构，所述第一喷涂机构包括：
11.第一管道，沿上下方向延伸，与所述分流阀的输出口连接；以及，
12.第一喷嘴，设于所述第一管道下端，通过所述第一管道与所述分流阀连接，所述第一喷嘴位于所述转动部中心的上方。
13.可选地，所述喷涂装置包括第二喷涂机构，所述第二喷涂机构包括：
14.第二管道，沿上下方向延伸，与所述分流阀的输出口连接；
15.连接件，与所述第二管道转动连接；
16.第三管道，包括沿横向延伸的第一管段与沿纵向延伸的第二管段，所述第一管段
与所述第二管道通过所述连接件连通；以及，
17.第二喷嘴，设于所述第二管段的下端，所述第二喷嘴位于所述转动部边缘的上方。
18.可选地，所述第一喷嘴与所述第二喷嘴在水平方向上平齐。
19.可选地，所述第二喷涂机构还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构包括第二电动机与联轴器，所述第二电动机通过所述联轴器与所述连接件连接，以驱动所述连接件横向转动。
20.可选地，所述第一管段的长度小于所述第一管道与所述第二管道的横向间距。
21.可选地，所述分流阀为两位三通电磁阀。
22.此外，本实用新型还提出一种匀胶显影机，所述匀胶显影机包括由上文所述的喷涂装置所制得的。
23.本实用新型提供的喷涂装置，设置有多个喷涂机构，多个所述喷涂机构与分流阀连接，且多个所述喷涂机构分别对应于晶圆的不同位置，从而可分别对晶圆的不同位置喷涂光刻胶，喷涂后光刻胶覆盖晶圆的面积更大，在晶圆旋转时，光刻胶的流动性更好，能更快覆盖晶圆的表面，避免光刻胶固化于晶圆边缘，从而可使得晶圆固化后形成的胶层更为均匀。
24.本实用新型提供的匀胶显影机，通过应用上述喷涂装置，以使得喷涂后，光刻胶更快覆盖晶圆的表面，固化后形成的胶层更为均匀。
附图说明
25.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
26.图1为本实用新型提供的喷涂装置一实施例的整体示意图；
27.图2为图1中的喷涂装置的整体示意图；
28.图3为图1中的喷涂装置的连接件的剖面图。
29.附图标号说明：
30.标号名称标号名称100喷涂装置222第一喷嘴1承载结构23第二喷涂机构2喷涂结构231第二管道11载台232连接件12转动部233第三管道13第一驱动机构234第二喷嘴131第一电动机235第二驱动机构132皮带轮2351第二电动机133皮带2352联轴器21分流阀2331第一管段22第一喷涂机构2332第二管段
221第一管道
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31.本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
32.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
33.需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
34.另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“a和/或b”为例，包括a方案、或b方案、或a和b同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
35.目前，常用的喷涂装置通常向晶圆的中心喷涂光刻胶，再通过晶圆的转动使得光刻胶覆盖晶圆表面，此种喷涂方法对喷涂的光刻胶量精准度要求高，当喷涂的光刻胶量较多时，光刻胶会飞溅出去，且会使得固化的光刻胶在晶圆边缘胶层的厚度大于在晶圆中心胶层的厚度，当喷涂的光刻胶量较少时，会使得固化的光刻胶在晶圆边缘胶层的厚度小于在晶圆中心胶层的厚度，不够均匀。
36.为了解决上述问题，本实用新型提供一种喷涂装置100，图1至图3为本实用新型提供的喷涂装置100的具体实施例。
37.请参阅图1至图3，所述喷涂装置100包括承载结构1和喷涂结构2，所述承载结构1包括载台11与设于载台11上的转动部12，所述转动部12用以承载晶圆，所述喷涂结构2设于所述承载结构1的上侧，所述喷涂结构2包括分流阀21与多个喷涂机构，所述分流阀21的输入口连接有输入管道，用以供光刻胶的输入，所述分流阀21的输出口与多个所述喷涂机构连接，多个喷涂机构用以对应所述晶圆的不同位置，以将所述光刻胶喷涂于所述晶圆上不同位置，其中，至少一个喷涂机构用以对应所述晶圆的中心，至少一个喷涂机构用以对应所述晶圆的边缘。
38.本实用新型提供的喷涂装置，设置有多个喷涂机构，多个所述喷涂机构与分流阀21连接，且多个所述喷涂机构分别对应于晶圆的不同位置，从而可分别对晶圆的不同位置喷涂光刻胶，喷涂后光刻胶覆盖晶圆的面积更大，在晶圆旋转时，光刻胶的流动性更好，能更快覆盖晶圆的表面，避免光刻胶固化于晶圆边缘，从而可使得晶圆固化后形成的胶层更为均匀。
39.需要说明的是，在此不限制多个所述喷涂机构的数量，所述喷涂机构的数量至少
为2个，其中一个与所述晶圆的中心对应，另一个与所述晶圆的边缘对应。
40.所述承载结构1还包括第一驱动机构13，所述第一驱动机构13包括第一电动机131、皮带轮132及皮带133，所述第一电动机131与所述转动部12通过所述皮带轮132与皮带133连接，以驱动所述转动部12横向转动，所述转动部12通过真空吸取所述晶圆，以将所述晶圆固定，通过所述电动机驱动、所述皮带133及所述皮带轮132传动，使得所述转动部12旋转，从而带动所述晶圆旋转，使喷涂的光刻胶扩散至覆盖所述晶圆的表面。
41.进一步地，所述转动部12具有低速转动的第一状态与高速转动的第二状态，所述第一状态用以在喷涂所述光刻胶时，以将所述光刻胶喷涂于所述晶圆上不同位置，所述第二状态用以在喷涂所述光刻胶后，以使所述光刻胶均匀扩散至所述晶圆的表面，当向所述晶圆表面喷涂所述光刻胶时，通过所述第一电动机131驱动所述转动部12进行低速转动，带动所述晶圆低速转动，使得单个所述喷涂机构在其所处位置沿所述晶圆的圆周进行喷涂，当喷涂完后，通过所述第一电动机131驱动所述转动部12高速转动，带动所述晶圆高速转动，使得所述晶圆表面的光刻胶向所述晶圆的外围扩散。
42.作为一种优选的实施例，本实用新型的喷涂机构为2个，包括第一喷涂机构22与第二喷涂机构23，所述第一喷涂机构22包括第一管道221与第一喷嘴222，所述第一管道221沿上下方向延伸，与所述分流阀21的输出口连接，所述第一喷嘴222设于所述第一管道221下端，通过所述第一管道221与所述分流阀21连接，所述第一喷嘴222位于所述转动部12中心的上方，当需要向所述晶圆的中心喷胶时，所述分流阀21对应所述第一管道221的输出口打开，通过所述第一喷嘴222向所述晶圆的中心进行喷胶。
43.进一步地，所述第二喷涂机构23包括第二管道231、连接件232、第三管道233及第二喷嘴234，所述第二管道231沿上下方向延伸，与所述分流阀21的输出口连接，所述连接件232与所述第二管道231转动连接，所述第三管道233，包括沿横向延伸的第一管段2331与沿纵向延伸的第二管段2332，所述第一管段2331与所述第二管道231通过所述连接件232连通，所述第二喷嘴234，设于所述第二管段2332的下端，所述第二喷嘴234位于所述转动部12边缘的上方，所述第二喷嘴234通过所述第二管道231及所述第三管道233与所述分流阀21连接，当需要向所述晶圆的边缘位置喷胶时，所述分流阀21对应所述第二管道231的输出口打开，通过所述第二喷嘴234向所述晶圆的边缘位置进行喷胶。
44.所述第一喷嘴222与所述第二喷嘴234在水平方向上平齐，在所述第一喷嘴222及所述第二喷嘴234向所述晶圆表面喷涂所述光刻胶时，所述光刻胶会向周围滴溅，不同的所述第一喷嘴222或所述第二喷嘴234与所述晶圆表面在上下方向的距离，喷涂的光刻胶的溅射量与距离也不同，为了使所述第一喷嘴222以及所述第二喷嘴234喷涂至所述晶圆表面的所述光刻胶厚度保持一致，所述第一喷嘴222及所述第二喷嘴234与所述晶圆表面的距离需一致。
45.进一步地，所述第二喷涂机构23还包括第二驱动机构235，所述第二驱动机构235包括第二电动机2351与联轴器2352，所述第二电动机2351通过所述联轴器2352与所述连接件232连接，以驱动所述连接件232横向转动，通过所述第二电动机2351驱动，所述联轴器2352传动，可使得所述连接件232相对于所述第二管道231进行转动，所述连接件232转动可带动所述第三管道233进行旋转，从而可改变所述第二喷嘴234的位置，也可改变所述第二喷嘴234与所述第一喷嘴222之间的间距，同时，在所述第二喷嘴234向所述晶圆表面喷涂光
刻胶时，通过所述第一电动机131及所述第二电动机2351的驱动，可使得所述第一喷嘴222与所述晶圆同时转动，从而所述第二喷嘴234与所述第一喷嘴222的喷涂范围可覆盖所述晶圆的表面，使得在晶圆旋转时光刻胶的流动性更好，在实际使用过程中，也可根据需要选择所需要喷涂的位置。
46.所述第一管段2331的长度小于所述第一管道221与所述第二管道231的横向间距，在所述第二电动机2351驱动所述连接件232旋转过程中，所述第一管段2331也随之旋转，为避免所述第一喷嘴222与所述第二喷嘴234发生碰撞，所述第一管段2331的长度需小于所述第二管道231与所述第二管道231的横向间距。
47.进一步地，所述分流阀21为两位三通电磁阀，所述两位三通电池阀的输入口的输入口连接有输入管道，用以供光刻胶的输入，所述两位三通电池阀的输出口分别与所述第一喷涂机构22及所述第二喷涂机构23连接，当所述两位三通电磁阀处于第一位时，连接所述第一喷涂机构22的输出口打开，连接所述第二喷涂机构23的输出口关闭，此时仅通过所述第一喷嘴222喷涂光刻胶，当所述两位三通电磁阀处于第二位时，连接所述第一喷涂机构22的输出口关闭，连接所述第二喷涂机构23的输出口打开，此时仅通过所述第二喷嘴234喷涂光刻胶，所述第一喷嘴222的喷涂量可不同于所述第二喷嘴234的喷涂量，在实际使用时，可根据实际需要选择喷涂量，例如靠近晶圆中心位置可喷涂较多量的光刻胶，靠近晶圆边缘的位置可喷涂较少量的光刻胶，避免在晶圆旋转时，光刻胶从晶圆的边缘飞溅而出造成浪费。
48.此外，本实用新型还提出一种匀胶显影机，所述匀胶显影机包括喷涂装置100，所述喷涂装置100包括承载结构1和喷涂结构2。由于匀胶显影机的喷涂装置100采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
49.以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

技术特征：

1.一种喷涂装置，其特征在于，包括：承载结构，包括载台与设于载台上的转动部，所述转动部用以承载晶圆；以及，喷涂结构，设于所述承载结构的上侧，所述喷涂结构包括分流阀与多个喷涂机构，所述分流阀的输入口连接有输入管道，用以供光刻胶的输入，所述分流阀的输出口与多个所述喷涂机构连接，多个喷涂机构用以对应所述晶圆的不同位置，以将所述光刻胶喷涂于所述晶圆上不同位置，其中，至少一个喷涂机构用以对应所述晶圆的中心，至少一个喷涂机构用以对应所述晶圆的边缘。2.如权利要求1所述的喷涂装置，其特征在于，所述承载结构还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构包括第一电动机、皮带轮及皮带，所述第一电动机与所述转动部通过所述皮带轮与皮带连接，以驱动所述转动部横向转动。3.如权利要求2所述的喷涂装置，其特征在于，所述转动部具有低速转动的第一状态与高速转动的第二状态，所述第一状态用以在喷涂所述光刻胶时，以将所述光刻胶喷涂于所述晶圆上不同位置，所述第二状态用以在喷涂所述光刻胶后，以使所述光刻胶均匀扩散至所述晶圆的表面。4.如权利要求1所述的喷涂装置，其特征在于，所述喷涂装置包括第一喷涂机构，所述第一喷涂机构包括：第一管道，沿上下方向延伸，与所述分流阀的输出口连接；以及，第一喷嘴，设于所述第一管道下端，通过所述第一管道与所述分流阀连接，所述第一喷嘴位于所述转动部中心的上方。5.如权利要求4所述的喷涂装置，其特征在于，所述喷涂装置包括第二喷涂机构，所述第二喷涂机构包括：第二管道，沿上下方向延伸，与所述分流阀的输出口连接；连接件，与所述第二管道转动连接；第三管道，包括沿横向延伸的第一管段与沿纵向延伸的第二管段，所述第一管段与所述第二管道通过所述连接件连通；以及，第二喷嘴，设于所述第二管段的下端，所述第二喷嘴位于所述转动部边缘的上方。6.如权利要求5所述的喷涂装置，其特征在于，所述第一喷嘴与所述第二喷嘴在水平方向上平齐。7.如权利要求5所述的喷涂装置，其特征在于，所述第二喷涂机构还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构包括第二电动机与联轴器，所述第二电动机通过所述联轴器与所述连接件连接，以驱动所述连接件横向转动。8.如权利要求5所述的喷涂装置，其特征在于，所述第一管段的长度小于所述第一管道与所述第二管道的横向间距。9.如权利要求1所述的喷涂装置，其特征在于，所述分流阀为两位三通电磁阀。10.一种匀胶显影机，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的喷涂装置。

技术总结

本实用新型公开一种喷涂装置及匀胶显影机，所述喷涂装置包括承载结构和喷涂结构，所述承载结构包括载台与设于载台上的转动部，所述喷涂结构设于所述承载结构的上侧，所述喷涂结构包括分流阀与多个喷涂机构，所述分流阀的输出口与多个所述喷涂机构连接，其中，至少一个喷涂机构用以对应所述晶圆的中心，至少一个喷涂机构用以对应所述晶圆的边缘。本实用新型提供的喷涂装置，多个所述喷涂机构分别对应于晶圆的不同位置，从而可分别对晶圆的不同位置喷涂光刻胶，喷涂后光刻胶覆盖晶圆的面积更大，在晶圆旋转时，光刻胶的流动性更好，能更快覆盖晶圆的表面，避免光刻胶固化于晶圆边缘，从而可使得晶圆固化后形成的胶层更为均匀。从而可使得晶圆固化后形成的胶层更为均匀。从而可使得晶圆固化后形成的胶层更为均匀。