首页 > 专利信息

衬底处理装置的制作方法

1.本发明涉及一种处理衬底的衬底处理装置。衬底例如可例举半导体衬底、fpd(flat panel display，平板显示器)用衬底、光罩用玻璃衬底、光碟用衬底、磁碟用衬底、陶瓷衬底、太阳电池用衬底等。fpd例如可例举液晶显示装置、有机el(electroluminescence，电致发光)显示装置等。

背景技术：

2.以往的衬底处理装置具备处理槽、外槽及循环管线(例如参照专利文献1)。处理槽贮存磷酸溶液。衬底通过浸渍在处理槽内的磷酸溶液中而被处理。外槽设置在处理槽的外周，接收从处理槽溢出的磷酸溶液。循环管线构成为使从外槽排出的磷酸溶液返回到处理槽。循环管线设有循环泵及调温器。
3.另外，衬底处理装置具备预调温单元。预调温单元具备贮存磷酸溶液(处理液)的容器。对该容器从药液供给源供给磷酸(磷酸溶液)，或供给纯水。供给到容器内的磷酸溶液一边循环，一边被进行温度调节。之后，进行了温度调节的磷酸溶液经由外槽及循环管线被供给到处理槽。
4.且说，例如存在一种3d-nand(three dimensional not-and，三维与非)器件作为非易失性存储器。在该器件的制造工序中，在衬底上形成氮化矽膜与氧化矽膜交替地积层而得的构造。然后，使用磷酸溶液来选择性地蚀刻氮化矽膜。
5.通过向磷酸溶液中添加硅，相比氧化矽膜来说，可提高磷酸溶液对氮化矽膜的蚀刻速率。换句话说，在磷酸溶液的硅浓度处于适当范围内的情况下，磷酸溶液对氧化矽膜的蚀刻速率被确保充分低于氮化矽膜的蚀刻速率。结果为，衬底上的氮化矽膜被选择性地蚀刻(例如参照专利文献2、3)。
6.[背景技术文献]
[0007]
[专利文献]
[0008]
[专利文献1]
[0009]
日本专利特开2018-050001号公报
[0010]
[专利文献2]
[0011]
日本专利特开2020-088003号公报
[0012]
[专利文献3]
[0013]
日本专利特开2015-177139号公报

技术实现要素：

[0014]
[发明要解决的问题]
[0015]
但是，以往的衬底处理装置存在以下问题。从预调温单元供给的磷酸溶液的硅浓度被假设为0(零)ppm或接近0ppm的浓度。但是，发明者确认到从预调温单元供给的磷酸溶液的硅浓度超过假设，为高浓度。衬底处理装置是基于磷酸溶液的硅浓度为0ppm或接近
0ppm的浓度这一前提将磷酸溶液供给到处理部(例如处理槽)的。尽管如此，当实际上硅浓度较高时，例如会从预调温单元持续供给比假设量更多的磷酸溶液等，从而对处理产生影响。
[0016]
本发明是鉴于所述情况而完成的，目的在于提供一种能够防止供给到处理部的磷酸溶液的硅浓度为高浓度的衬底处理装置。
[0017]
[解决问题的技术手段]
[0018]
为了解决所述问题，发明者努力研究后获得如下见解：硅从加热器的石英零件溶出是导致硅浓度上升的原因。
[0019]
基于所述见解得到的本发明采用如下构成。即，本发明的衬底处理装置的特征在于具备：处理部，具有贮存磷酸溶液以浸渍衬底的处理槽；槽，贮存所述磷酸溶液；供给流路，用来将所述槽内的所述磷酸溶液输送到所述处理部；循环流路，两端连接在所述槽，用来使从所述槽内流入的所述磷酸溶液返回到所述槽；泵，设置在所述循环流路；石英加热器，设置在作为所述循环流路的一部分的浓缩用流路，具有由石英形成且用来供所述磷酸溶液通过的石英管；迂回流路，两端连接在所述浓缩用流路的上游端及下游端；非石英加热器，设置在所述迂回流路，具有并非由石英形成且用来供所述磷酸溶液通过的非石英管；以及控制部；所述控制部在将所述槽内的所述磷酸溶液浓缩时，一边对所述浓缩用流路输送所述磷酸溶液，一边使用所述石英加热器将通过所述浓缩用流路的所述磷酸溶液加热；所述控制部在所述槽内的所述磷酸溶液的浓缩完成时，一边将所述磷酸溶液输送到所述迂回流路，一边使用所述非石英加热器将通过所述迂回流路的所述磷酸溶液加热，由此维持所述槽内的所述磷酸溶液的温度。
[0020]
根据本发明的衬底处理装置，在作为循环流路的一部分的浓缩用流路，设有石英加热器，在使石英加热器迂回的迂回流路，设有非石英加热器。在将槽内的磷酸溶液浓缩时，使用石英加热器将通过浓缩用流路的磷酸溶液加热。在槽内的磷酸溶液的浓缩完成，而维持槽内的磷酸溶液的温度时，使用非石英加热器将通过迂回流路的磷酸溶液加热。在使用非石英加热器的情况下，能防止硅溶出到磷酸溶液中，整体上来看，硅向磷酸溶液中的溶出变少。因此，能够防止供给到处理部的磷酸溶液的硅浓度为高浓度。
[0021]
另外，在所述衬底处理装置中，优选还具备测定所述槽内的所述磷酸溶液的浓度的磷酸浓度传感器，所述控制部在利用所述磷酸浓度传感器测得的浓度值小于预先设定的阈值时，将所述槽内的所述磷酸溶液浓缩，所述控制部在利用所述磷酸浓度传感器测得的浓度值为所述阈值以上时，判断所述槽内的所述磷酸溶液的浓缩完成，而维持所述槽内的所述磷酸溶液的温度。由此，能够基于利用磷酸浓度传感器测得的浓度值，在石英加热器的加热与非石英加热器的加热之间切换。
[0022]
另外，在所述衬底处理装置中，优选所述控制部在将所述槽内的所述磷酸溶液浓缩时，以所述槽内的所述磷酸溶液的温度成为预先设定的第1温度的方式，使用所述石英加热器将通过所述浓缩用流路的所述磷酸溶液加热；所述控制部在维持所述槽内的所述磷酸溶液的温度时，以所述槽内的所述磷酸溶液的温度成为比所述第1温度低的第2温度的方式，使用所述非石英加热器将通过所述迂回流路的所述磷酸溶液加热。由此，能够抑制非石英加热器的输出。因此，能够防止非石英管受到损害。
[0023]
另外，在所述衬底处理装置中，优选所述第1温度为所述磷酸溶液的沸点以上。如
果第1温度为磷酸溶液的沸点以上，则能够进一步促进浓缩。
[0024]
另外，在所述衬底处理装置中，优选所述第2温度为100℃以上，且小于所述磷酸溶液的沸点。当磷酸溶液的温度小于100℃时，磷酸溶液会吸收水分。通过使磷酸溶液的温度为100℃以上，而防止磷酸溶液吸收水分。
[0025]
另外，在所述衬底处理装置中，优选具备供给流路用加热器，该供给流路用加热器设置在所述供给流路，将通过所述供给流路的所述磷酸溶液加热。在通过供给路径供给到处理部的磷酸溶液的温度低于处理部的处理槽内的磷酸溶液的温度的情况下，能够抑制温度差。
[0026]
另外，在所述衬底处理装置中，优选还具备气泡供给部，所述气泡供给部配置在所述槽内的底壁侧，且具有多个孔，构成为从所述多个孔对所述槽内供给气泡。由此，能够促进磷酸溶液的浓缩。
[0027]
另外，在所述衬底处理装置中，优选在进行使衬底浸渍于所述处理槽的衬底处理时，所述控制部通过所述供给流路对所述处理部供给所述磷酸溶液。由此，缓缓地进行处理槽的磷酸溶液的更换，因而能够抑制处理槽等内的磷酸溶液的硅浓度的上升。
[0028]
另外，在所述衬底处理装置中，优选在进行使衬底浸渍于所述处理槽的衬底处理时，所述控制部一边将所述处理槽内的所述磷酸溶液的一部分排出，一边通过所述供给流路将所述磷酸溶液供给到所述处理部。由此，处理槽内的磷酸溶液局部被替换，因而能够使磷酸溶液的硅浓度值相对大幅地下降。
[0029]
另外，在所述衬底处理装置中，所述非石英管的一例是由氟系树脂形成的氟系树脂管。能够防止硅从加热器零件溶出到磷酸溶液中。
[0030]
另外，在所述衬底处理装置中，优选具备：第2槽，介置在用来从所述槽向所述处理部输送磷酸溶液的供给流路，贮存从所述槽输送来的所述磷酸溶液；第2循环流路，两端连接在所述第2槽，用来使从所述第2槽内流入的所述磷酸溶液返回到所述第2槽；第2泵，设置在所述第2循环流路；第2石英加热器，设置在作为所述第2循环流路的一部分的第2浓缩用流路，具有由石英形成且用来供所述磷酸溶液通过的第2石英管；第2迂回流路，两端连接在所述第2浓缩用流路的上游端及下游端；以及第2非石英加热器，设置在所述第2迂回流路，具有并非由石英形成且用来供所述磷酸溶液通过的第2非石英管；且所述控制部在将所述第2槽内的所述磷酸溶液浓缩时，一边将所述磷酸溶液输送到所述第2浓缩用流路，一边使用所述第2石英加热器将通过所述第2浓缩用流路的所述磷酸溶液加热；所述控制部在所述第2槽内的所述磷酸溶液的浓缩完成时，一边将所述磷酸溶液输送到所述第2迂回流路，一边使用所述第2非石英加热器将通过所述第2迂回流路的所述磷酸溶液加热，由此维持所述第2槽内的所述磷酸溶液的温度。
[0031]
在第2槽内的磷酸溶液的浓缩完成，而维持第2槽内的磷酸溶液的温度时，使用第2非石英加热器将通过第2迂回流路的磷酸溶液加热。在使用第2非石英加热器的情况下，能防止硅溶出到磷酸溶液中，整体上来看，硅向磷酸溶液中的溶出变少。因此，能够防止供给到处理部的磷酸溶液的硅浓度成为高浓度。
[0032]
另外，在所述衬底处理装置中，优选具备：第2槽，介置在用来从所述槽向所述处理部输送磷酸溶液的供给流路，贮存从所述槽输送来的所述磷酸溶液；第2循环流路，两端连接在所述第2槽，用来使从所述第2槽内流入的磷酸溶液返回到所述第2槽；第2泵，设置在所
述第2循环流路；以及第2石英加热器，设置在所述第2循环流路，具有由石英形成且用来供所述磷酸溶液通过的第2石英管；且所述控制部在将所述槽内的所述磷酸溶液浓缩时，以所述槽内的所述磷酸溶液的温度成为预先设定的第1温度的方式，使用所述石英加热器将通过所述浓缩用流路的所述磷酸溶液加热；所述控制部为了维持所述磷酸溶液的浓度，以所述第2槽内的所述磷酸溶液的温度成为比所述第1温度低的第2温度的方式，使用所述第2石英加热器将通过所述第2循环流路的所述磷酸溶液加热，由此维持所述第2槽内的所述磷酸溶液的温度。
[0033]
另外，在所述衬底处理装置中，优选具备：第2槽，介置在用来从所述槽向所述处理部输送磷酸溶液的供给流路，贮存从所述槽输送来的所述磷酸溶液；第2循环流路，两端连接在所述第2槽，用来使从所述第2槽内流入的磷酸溶液返回到所述第2槽；第2泵，设置在所述第2循环流路；以及第2石英加热器，设置在所述第2循环流路，具有由石英形成且用来供所述磷酸溶液通过的第2石英管；且所述控制部在将所述第2槽内的所述磷酸溶液浓缩时，以所述第2槽内的所述磷酸溶液的温度成为预先设定的第1温度的方式，使用所述第2石英加热器将通过所述第2循环流路的所述磷酸溶液加热；所述控制部在所述第2槽内的所述磷酸溶液的浓缩完成时，以所述第2槽内的所述磷酸溶液的温度成为比所述第1温度低的第2温度的方式，使用所述第2石英加热器将通过所述第2循环流路的所述磷酸溶液加热。
[0034]
在磷酸溶液的浓缩完成后，以比磷酸溶液浓缩时所设定的第1温度低的第2温度维持磷酸溶液的温度。通过使第2石英加热器的加热温度下降，能够抑制硅从第2石英加热器的第2石英管溶出。因此，整体上来看，硅向磷酸溶液中的溶出变少。因此，能够防止供给到处理部的磷酸溶液的硅浓度变为高浓度。
[0035]
另外，本发明的衬底处理装置的特征在于具备：处理部，具有贮存磷酸溶液以浸渍衬底的处理槽；槽，贮存所述磷酸溶液；供给流路，用来将所述槽内的所述磷酸溶液输送到所述处理部；循环流路，两端连接在所述槽，用来使从所述槽内流入的所述磷酸溶液返回到所述槽；泵，设置在所述循环流路；石英加热器，设置在所述循环流路，具有由石英形成且供所述磷酸溶液通过的石英管；以及控制部；且所述控制部在将所述槽内的所述磷酸溶液浓缩时，以所述槽内的所述磷酸溶液的温度成为预先设定的第1温度的方式，使用所述石英加热器将通过所述循环流路的所述磷酸溶液加热；所述控制部在所述槽内的所述磷酸溶液的浓缩完成时，以所述槽内的所述磷酸溶液的温度成为比所述第1温度低的第2温度的方式，使用所述石英加热器将通过所述循环流路的所述磷酸溶液加热。
[0036]
根据本发明的衬底处理装置，在将槽内的磷酸溶液浓缩时，以槽内的磷酸溶液的温度成为第1温度的方式，使用石英加热器将通过循环流路的磷酸溶液加热。在槽内的磷酸溶液的浓缩完成而维持槽内的磷酸溶液的温度时，以槽内的磷酸溶液的温度成为比第1温度低的第2温度的方式，使用石英加热器将通过循环流路的磷酸溶液加热。虽然使用了石英加热器，但通过升温到比第1温度低的第2温度，相比第1温度而言在第2温度下硅向磷酸溶液的溶出变少。因此，能够防止供给到处理部的磷酸溶液的硅浓度成为高浓度。
[0037]
[发明的效果]
[0038]
根据本发明的衬底处理装置，能够防止供给到处理部的磷酸溶液的硅浓度为高浓度。
附图说明
[0039]
图1是表示实施例1、2的衬底处理装置的图。
[0040]
图2是表示处理部的图。
[0041]
图3(a)是表示石英加热器的图，图3(b)是表示非石英加热器的图。
[0042]
图4是用来说明实施例1的预调温单元的动作的流程图。
[0043]
图5是用来说明实施例2的预调温单元的动作的流程图。
[0044]
图6是表示实施例3的衬底处理装置的图。
[0045]
图7是用来说明实施例3的预调温单元的动作的流程图。
[0046]
图8是表示预期硅浓度与调温时间的关系的图。
[0047]
图9是表示实施例4的衬底处理装置的图。
[0048]
图10是用来说明实施例4的预调温单元的动作的流程图。
[0049]
图11是表示实施例5的衬底处理装置的图。
[0050]
图12是用来说明实施例5的预调温单元的动作的流程图。
具体实施方式
[0051]
[实施例1]
[0052]
以下，参照附图对本发明的实施例1进行说明。图1是表示衬底处理装置1的图。图2是表示处理部2a(2b/2c)的图。
[0053]
(1)衬底处理装置1的构成
[0054]
参照图1。衬底处理装置1是总括地对多个(例如50片)衬底w进行处理的分批式装置。衬底处理装置1具备3个处理部2a、2b、2c、及预调温单元4。此外，处理部的个数不限于3个。
[0055]
对处理部2a的构成进行说明。2个处理部2b、2c分别以与处理部2a相同的方式构成。参照图2。处理部2a具备处理槽6、外槽7、槽用加热器8、处理部循环流路9及升降器(衬底保持部)11。
[0056]
处理槽6是贮存磷酸溶液的容器。磷酸溶液是包含磷酸与纯水的溶液。外槽7设置在处理槽6的周围。外槽7是接收从处理槽6溢出的磷酸溶液的容器。外槽7连接着排出管14。当外槽7内的磷酸溶液的水面高度达到排出管14的入口14a的高度以上时，外槽7内的磷酸溶液会流出到排出管14。
[0057]
槽用加热器8设置在处理槽6及外槽7的外壁。槽用加热器8从处理槽6及外槽7的外侧对处理槽6及外槽7内的磷酸溶液进行加热。槽用加热器8及下述加热器19以处理槽6内的磷酸溶液的温度达到预先设定的温度(例如160℃)的方式，对磷酸溶液进行加热。
[0058]
处理部循环流路9例如包含配管。处理部循环流路9将外槽7与处理槽6连接。具体来说，处理部循环流路9将外槽7的底部与设置在处理槽6的底部的喷出管15连接。喷出管15具有喷出磷酸溶液的喷出口。处理部循环流路9使从外槽7流入的磷酸溶液经由喷出管15返回到处理槽6。另外，在处理部循环流路9，从外槽7侧依序设有泵17、加热器19、过滤器21及硅浓度传感器23。
[0059]
泵17输送处理部循环流路9内的磷酸溶液。加热器19对通过处理部循环流路9的磷酸溶液进行加热。过滤器21从返回到处理槽6的磷酸溶液中去除颗粒。硅浓度传感器23对通
过处理部循环流路9的磷酸溶液的硅浓度进行测定。
[0060]
升降器11将作为处理对象的多个衬底w等间隔地保持为立起姿势。升降器11具备背板11a、及固定在背板11a的下部的多个(3根)支撑部11b。支撑部11b构成为相互平行，且沿水平方向延伸。支撑部11b保持多个衬底w。
[0061]
另外，处理部2a具备多个气泡供给管25、气体供给源27、供给配管28及开闭阀v21。各气泡供给管25设置在处理槽6的底部或其附近。各气泡供给管25具有多个孔，从这多个孔向磷酸溶液中供给气泡。由此，气泡进入2片衬底w间，促进2片衬底w间的磷酸溶液的置换。来自气体供给源27的气体(氮气等惰性气体)通过供给配管28被输送到多个气泡供给管25。开闭阀v21执行气体的供给及其停止。
[0062]
另外，处理槽6的底部连接着排出管30。排出管30设有开闭阀v22。排出管30供排出处理槽6内的磷酸溶液。开闭阀v22执行磷酸溶液的排出及其停止。
[0063]
处理部2a具备对处理槽6内的磷酸溶液的温度进行测定的温度传感器ts11。处理部2a控制槽用加热器8及加热器19，以使利用温度传感器ts11测得的温度成为预先设定的温度(160℃)。此外，也可构成为对处理槽6直接供给未经浓缩的磷酸溶液及纯水(diw：deionized water)的至少一者。另外，处理部2a也可具备磷酸浓度传感器，该磷酸浓度传感器测定处理槽6、外槽7或处理部循环流路9内磷酸溶液中的磷酸浓度。
[0064]
(1-1)预调温单元4的构成
[0065]
返回到图1。预调温单元4对各处理部2a、2b、2c供给磷酸溶液。预调温单元4具备预循环部分31及主循环部分33。通常，市面上流通的磷酸溶液在室温下磷酸浓度为85％。预循环部分31对磷酸浓度为85％的磷酸溶液进行加热。由此，磷酸溶液的水分被吹散，磷酸浓度被浓缩为88～89％。主循环部分33使磷酸浓度及磷酸溶液的温度稳定。首先，对预循环部分31的构成进行说明。
[0066]
预循环部分31具备第1槽t1、第1循环配管35、第1迂回配管36及第1供给配管37。此外，第1循环配管35相当于本发明的循环流路。第1迂回配管36相当于本发明的迂回流路。
[0067]
第1槽t1是贮存磷酸溶液的容器。此外，第1槽t1及下述第2槽t2构成为可脱气。第1槽t1具备出口ol1及入口il1。出口ol1设置在第1槽t1的底部，入口il1设置在第1槽t1的顶壁。
[0068]
第1循环配管35的两端35a、35b连接在第1槽t1。具体来说，第1循环配管35的第1端35a连接在第1槽t1的出口ol1，第1循环配管35的第2端35b连接在第1槽t1的入口il1。第1循环配管35是用来使从第1槽t1内流入的磷酸溶液返回到第1槽t1的配管。
[0069]
浓缩用配管39是第1循环配管35的一部分。浓缩用配管39设有串联配置的2个石英加热器41(41a、41b)。出口ol1与石英加热器41a之间的第1循环配管35设有第1泵43。第1泵43输送磷酸溶液。
[0070]
第1迂回配管36使2个石英加热器41迂回。第1迂回配管36的第1端36a连接在第1泵43与石英加热器41a之间的第1循环配管35。另外，第1迂回配管36的第2端36b连接在石英加热器41b与下述分支管35c之间的第1循环配管35。第1端36a与第2端36b之间的第1循环配管35为浓缩用配管39。因此，第1迂回配管36的两端36a、36b连接在浓缩用配管39的上游端及下游端。
[0071]
第1迂回配管36设有非石英加热器45。此处，参照图3(a)、图3(b)，对石英加热器41
与非石英加热器45的构成进行说明。图3(a)是表示石英加热器41的图。石英加热器41具备石英管47及加热器主体49。石英管47配置在浓缩用配管39的中途。石英管47供磷酸溶液通过。石英管47由石英形成。在石英管47的外周，设有中空筒状的加热器主体49。加热器主体49及下述加热器主体53例如由具有镍铬合金线的电热器构成。石英加热器41将通过浓缩用配管39(具体为石英管47)的磷酸溶液加热。
[0072]
图3(b)是表示非石英加热器45的图。非石英加热器45具备非石英管51及加热器主体53。非石英管51配置在第1迂回配管36的中途。非石英管51供磷酸溶液通过。非石英管51并非由石英形成。即，非石英管51例如由pfa(全氟烷氧基烷烃：perfluoroalkoxyalkane)或、ptfe(聚四氟乙烯：polytetrafluoroethylene)等氟系树脂形成。因此，非石英管51为氟系树脂管。由此，能够防止硅从加热器零件溶出到磷酸溶液中。在非石英管51的外周，设有中空筒状的加热器主体53。非石英加热器45将通过第1迂回配管36(具体为非石英管51)的磷酸溶液加热。
[0073]
此外，浓缩用配管39相当于本发明的浓缩用流路。石英加热器41相当于本发明的石英加热器。石英管47相当于本发明的石英管。非石英加热器45相当于本发明的非石英加热器。非石英管51相当于本发明的非石英加热器。
[0074]
返回到图1。石英加热器41b与入口il1之间的第1循环配管35设有分支管35c。第1供给配管37是用来将磷酸溶液从第1槽t1输送到主循环部分33的第2槽t2的配管。第1供给配管37的第1端连接在分支管35c。第1供给配管37的第2端插入到第2槽t2中，且配置在第2槽t2内的底壁附近。
[0075]
另外，预调温单元4具备磷酸供给源55、配管56、泵57及开闭阀v1。磷酸供给源55例如由容器构成。配管56的第1端连接在磷酸供给源55。配管56的第2端插入到第1槽t1，且配置在第1槽t1的底壁附近。将在室温下磷酸浓度为85％的硫酸溶液从磷酸供给源55供给到第1槽t1。配管56设有输送磷酸溶液的泵57、及开闭阀v1。开闭阀v1执行磷酸溶液的供给及其停止。
[0076]
另外，预调温单元4具备纯水供给源59、2根配管61、62、泵64及2个开闭阀v2、v3。纯水供给源59例如由容器构成。配管61的第1端连接在纯水供给源59。配管61的第2端插入到第1槽t1中，且配置在第1槽t1的底壁附近。配管61设有输送纯水(diw；deionized water)的泵64、及开闭阀v2。泵64与开闭阀v2之间的配管61设有分支管65。配管62的第1端连接在分支管65。配管62的第2端插入到第2槽t2中，且配置在第2槽t2的底壁附近。在配管62设有开闭阀v3。开闭阀v2执行对第1槽t1的纯水的供给及其停止。开闭阀v3执行对第2槽t2的纯水的供给及其停止。
[0077]
另外，预循环部分31具备4个开闭阀v4、v5、v6、v7。开闭阀v4设置在第1迂回配管36的第1端36a与石英加热器41a之间的浓缩用配管39。开闭阀v5设置在第1端36a与非石英加热器45之间的第1迂回配管36。开闭阀v6设置在分支管35c与入口il1之间的第1循环配管35。开闭阀v7设置在第1供给配管37。
[0078]
预循环部分31使开闭阀v4、v6为打开状态，且使开闭阀v5、v7为关闭状态，并且使第1泵43驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol1、第1泵43、“2个石英加热器41”、分支管35c、入口il1的顺序循环。另外，预循环部分31使开闭阀v5、v6为打开状态，且使开闭阀v4、v7为关闭状态，并且使第1泵43驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol1、第1泵43、“非石英加热器45”、
分支管35c、入口il1的顺序循环。预循环部分31使开闭阀v5、v7为打开状态，且使开闭阀v4、v6为关闭状态，并且驱动第1泵43。由此，使磷酸溶液按照出口ol1、第1泵43、非石英加热器45、分支管35c、第1供给配管37、“第2槽t2”的顺序流动。
[0079]
此外，在对第2槽t2供给磷酸溶液的情况下，也可使磷酸溶液通过设有2个石英加热器41的浓缩用配管39。即，预循环部分31也可使开闭阀v4、v7为打开状态，且使开闭阀v5、v6为关闭状态，并且使第1泵43驱动。
[0080]
另外，预循环部分31具备气泡供给部67、气体供给源69、供给配管71及开闭阀v8。气泡供给部67例如由多个管构成。气泡供给部67具有向第1槽t1内的磷酸溶液中供给气泡的多个孔。气泡供给部67配置在第1槽t1内的底壁侧。气体供给源69例如由容器构成。从气体供给源69供给的气体(例如氮气等惰性气体)经由供给配管71而输送到气泡供给部67。开闭阀v8执行来自气泡供给部67的气泡的供给及其停止。
[0081]
另外，预循环部分31具备温度传感器ts1、磷酸浓度传感器ps1、液面传感器ls1。温度传感器ts1测定第1槽t1内的磷酸溶液的温度。磷酸浓度传感器ps1测定第1槽t1内的磷酸溶液的磷酸浓度。磷酸浓度传感器ps1具备检测管74及压力传感器75。压力传感器75对被供给一定流量的惰性气体(例如氮气)的检测管74内的惰性气体的压力进行测定。磷酸浓度传感器ps1基于压力与比重的相关关系及比重与浓度的相关关系，根据测量出的压力而算出磷酸浓度。液面传感器ls1检测第1槽t1内的磷酸溶液的液面高度。
[0082]
其次，对主循环部分33进行说明。主循环部分33具备第2槽t2、第2循环配管77、第2迂回配管78及3根第2供给配管80、81、82。第2槽t2是贮存磷酸溶液的容器。第2槽t2介置在用来从第1槽t1向例如处理部2a输送磷酸溶液的第1供给配管37与例如第2供给配管80，贮存从第1槽t1输送的磷酸溶液。第2槽t2具备出口ol2及入口il2。出口ol2设置在第2槽t2的底部，入口il2设置在第2槽t2的顶壁。
[0083]
第2循环配管77的两端77a、77b连接在第2槽t2。具体来说，第2循环配管77的第1端77a连接在第2槽t2的出口ol2，第2循环配管77的第2端77b连接在第2槽t2的入口il2。第2循环配管77是用来使从第2槽t2内流入的磷酸溶液返回到第2槽t2的配管。
[0084]
浓缩用配管85是第2循环配管77的一部分。浓缩用配管85设有石英加热器87。石英加热器87以与图3(a)所示的石英加热器41相同的方式构成。在出口ol2与石英加热器87之间的第2循环配管77，设有第2泵89。
[0085]
第2迂回配管78使石英加热器87迂回。第2迂回配管78的第1端78a连接在第2泵89与石英加热器87之间的第2循环配管77。另外，第2迂回配管78的第2端78b连接在石英加热器87与下述分支管77c之间的第2循环配管77。第1端78a与第2端78b之间的第2循环配管77为浓缩用配管85。因此，第2迂回配管78的两端78a、78b连接在浓缩用配管85的上游端及下游端。在第2迂回配管78设有非石英加热器91。非石英加热器91以与图3(b)所示的非石英加热器45相同的方式构成。
[0086]
此外，第2循环配管77相当于本发明的第2循环流路。第2迂回配管78相当于本发明的第2迂回流路。浓缩用配管85相当于本发明的第2浓缩用流路。石英加热器87相当于本发明的第2石英加热器。石英加热器87所具有的石英管47(参照图3(a))是本发明的第2石英管。非石英加热器91相当于本发明的第2非石英加热器。非石英加热器91所具有的非石英管51(参照图3(b))是本发明的第2非石英管。
[0087]
3个分支管77c、77d、77e设置在石英加热器87与入口il2之间的第2循环配管77。3根第2供给配管80、81、82分别为用来将磷酸溶液从第2槽t2输送到3个处理部2a、2b、2c的配管。第2供给配管80的第1端连接在分支管77c。第2供给配管80的第2端80b配置在处理部2a的处理槽6的例如上方，以便对处理部2a的处理槽6供给磷酸溶液。
[0088]
同样，第2供给配管81的第1端连接在分支管77d。第2供给配管81的第2端81b配置在处理部2b的处理槽6的例如上方，以便对处理部2b的处理槽6供给磷酸溶液。第2供给配管82的第1端连接在分支管77e。第2供给配管82的第2端82b配置在处理部2c的处理槽6的例如上方。
[0089]
此外，第1供给配管37及第2供给配管80～82分别相当于本发明的供给流路。本发明的供给流路是用来将第1槽t1内的磷酸溶液选择性地输送到处理部2a、2b、2c的流路。
[0090]
主循环部分33具备6个开闭阀v9、v10、v11、v12、v13、v14。开闭阀v9设置在第2泵89与石英加热器87之间的浓缩用配管85。开闭阀v10设置在第2泵89与非石英加热器91之间的第2迂回配管78。开闭阀v11设置在分支管77e与入口il2之间的第2循环配管77。开闭阀v12设置在第2供给配管80。开闭阀v13设置在第2供给配管81。开闭阀v14设置在第2供给配管82。
[0091]
主循环部分33使开闭阀v9、v11为打开状态，且使开闭阀v10、v12～v14为关闭状态，并且使第2泵89驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol2、第2泵89、“石英加热器87”、入口il2的顺序循环。另外，主循环部分33使开闭阀v10、v11为打开状态，且使开闭阀v9、v12～v14为关闭状态，并且使第2泵89驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol2、第2泵89、“非石英加热器91”、入口il2的顺序循环。
[0092]
主循环部分33例如使开闭阀v10、v12为打开状态，且使开闭阀v9、v11、v13、v14为关闭状态，并且使第2泵89驱动。由此，按照出口ol2、第2泵89、非石英加热器91、第2供给流路80、处理部2a的处理槽6的顺序输送磷酸溶液。此外，在向处理部2b输送磷酸溶液的情况下，将开闭阀v10、v13打开，并且将开闭阀v9、v11、v12、v14关闭。另外，在向处理部2c输送磷酸溶液的情况下，将开闭阀v10、v14打开，并且将开闭阀v9、v11～v13关闭。
[0093]
此外，在向各处理部2a、2b、2c供给磷酸溶液的情况下，也可使磷酸溶液通过设有石英加热器87的浓缩用配管85。即，主循环部分33例如也可使开闭阀v9、v12为打开状态，且使开闭阀v10、v11、v13、v14为关闭状态，并且使第2泵89驱动。
[0094]
另外，主循环部分33具备温度传感器ts2、磷酸浓度传感器ps2、液面传感器ls2。温度传感器ts2测定第2槽t2内的磷酸溶液的温度。磷酸浓度传感器ps2以与磷酸浓度传感器ps1相同的方式构成，测定第2槽t2内的磷酸溶液的磷酸浓度。液面传感器ls2测定第2槽t2内的磷酸溶液的液面高度。
[0095]
衬底处理装置1具备控制部93及记忆部(未图示)。控制部93控制衬底处理装置1的各构成。控制部93例如具备中央运算处理装置(cpu)等1个或多个处理器。另外，记忆部具备rom(read-only memory，只读存储器)、ram(random-access memory，随机存取存储器)及硬盘中的至少一个。记忆部记忆用来使衬底处理装置1动作的计算机程序。
[0096]
(2)衬底处理装置1的动作
[0097]
参照图4，对衬底处理装置1的动作、主要是预调温单元4的动作进行说明。
[0098]
[步骤s01]向第1槽t1供给磷酸溶液(磷酸)
[0099]
开闭阀v1成为打开状态。由此，将磷酸溶液从磷酸供给源55通过配管56供给到第1槽t1。磷酸溶液的供给是基于利用液面传感器ls1检测出的液面高度而进行的。所供给的磷酸溶液是磷酸浓度为85％(室温)的磷酸溶液。当对第1槽t1供给特定量的磷酸溶液时，开闭阀v1成为关闭状态，停止向第1槽t1供给磷酸溶液。
[0100]
[步骤s02]升温、浓缩
[0101]
当从磷酸供给源55供给磷酸溶液时，预循环部分31一边使第1槽t1内的磷酸溶液升温，一边使磷酸溶液浓缩。以下将具体地进行说明。
[0102]
预循环部分31在利用磷酸浓度传感器ps1测得的浓度值小于预先设定的阈值(例如88％)时，将第1槽t1内的磷酸溶液浓缩。首先，在将第1槽t1内的磷酸溶液浓缩时，预循环部分31使开闭阀v4、v6为打开状态，且使开闭阀v5、v7为关闭状态，并且使第1泵43驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol1、第1泵43、2个石英加热器41(浓缩用配管39)、分支管35c、入口il1的顺序循环。
[0103]
进而，预循环部分31一边将磷酸溶液输送到浓缩用配管39，一边使用2个石英加热器41将通过浓缩用配管39的磷酸溶液加热。此外，通过2个石英加热器41的磷酸溶液也可被加热到下述第1温度(例如160℃)以上。
[0104]
温度传感器ts1测定第1槽t1内的磷酸溶液的温度。预循环部分31使用2个石英加热器41将磷酸溶液加热，以使利用温度传感器ts1测得的温度达到预先设定的第1温度(例如160℃)。2个石英加热器41例如具有1个石英加热器87的2倍的升温能力，为高输出。因此，能够相对快速地进行升温、浓缩作业。另外，在将第1槽t1内的磷酸溶液浓缩时，使开闭阀v8为打开状态，由此，气泡供给部67对第1槽t1的磷酸溶液内供给气泡。由此，能够促进磷酸溶液的浓缩。
[0105]
此外，第1温度被预先设定为160℃。该方面，第1温度例如也可为150℃以上。即，第1温度是小于磷酸溶液的沸点且处于沸点附近的温度，或者为磷酸溶液的沸点以上。通过将磷酸溶液加热而执行浓缩作业。如果第1温度小于磷酸溶液的沸点且为沸点附近的温度，则浓缩将会相对快速地进行。若第1温度为磷酸溶液的沸点以上，则能够进一步促进浓缩。此外，室温下磷酸浓度为85％的磷酸溶液的沸点为157℃～158℃。
[0106]
此外，在该步骤s02中，未被用于磷酸溶液的加热的非石英加热器45停止加热，或以近似于加热停止的状态被加热。
[0107]
[步骤s03]维持调温状态
[0108]
将磷酸溶液的磷酸浓度从85％浓缩到例如88％～89％后，为了确保磷酸浓度，预循环部分31将磷酸溶液的温度维持在160℃。以下将具体地进行说明。
[0109]
预循环部分31在利用磷酸浓度传感器ps1测得的浓度值为阈值(88％)以上时，判断第1槽t1内的磷酸溶液的浓缩完成，从而维持第1槽t1内的磷酸溶液的温度(160℃)。由此，能够基于利用磷酸浓度传感器ps1测得的浓度值，在石英加热器41的加热与非石英加热器45的加热之间进行切换。
[0110]
首先，预循环部分31在第1槽t1内的磷酸溶液的浓缩完成时，切换循环路线。预循环部分31使开闭阀v5、v6为打开状态，且使开闭阀v4、v7为关闭状态，并且使第1泵43驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol1、第1泵43、非石英加热器45(第1迂回配管36)、分支管35c、入口il1的顺序循环。
[0111]
进而，预循环部分31一边将磷酸溶液输送到第1迂回配管36，一边使用非石英加热器45将通过第1迂回配管36的磷酸溶液加热。由此，维持第1槽t1内的磷酸溶液的温度(160℃)。另外，在浓缩完成后，使开闭阀v8为关闭状态，由此，气泡供给部67停止气泡的供给。
[0112]
调温维持状态的第1槽t1内的磷酸溶液在出现向第2槽t2的供给指示之前处于等待状态。此外，该说明中，磷酸溶液的浓缩阈值被设定为88％。关于此点，阈值也可为大于从磷酸供给源55供给的磷酸溶液的磷酸浓度(85％)的值。另外，也可设定磷酸浓度小于100％的上限阈值。在超过上限阈值的情况下，从纯水供给源59对第1槽t1供给纯水。在该情况下，返回到步骤s02。
[0113]
此外，在该步骤s03中，未被用于磷酸溶液的加热的石英加热器41停止加热，或以近似于加热停止的状态进行加热。
[0114]
[步骤s04]向第2槽t2供给磷酸溶液
[0115]
预循环部分31从第1槽t1向第2槽t2供给磷酸溶液。预循环部分31使开闭阀v5、v7为打开状态，使开闭阀v4、v6为关闭状态，并且使第1泵43驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol1、第1泵43、非石英加热器45、分支管35c、第1供给配管37、第2槽t2的顺序流动。
[0116]
此外，当将磷酸溶液从第1槽t1输送到第2槽t2时，液面传感器ls1检测出第1槽t1内的磷酸溶液的液面下降。因此，需要从磷酸供给源55对第1槽t1供给磷酸溶液的动作。在该情况下，进入下一步骤s05，并且返回到步骤s01。
[0117]
[步骤s05]升温、浓缩
[0118]
当对第2槽t2供给磷酸溶液时，主循环部分33为了使磷酸浓度及磷酸溶液的温度稳定，而进行与所述步骤s02、s03的作业相同的作业。因此，主循环部分33一边使第2槽t2内的磷酸溶液升温，一边使磷酸溶液浓缩。以下将具体地进行说明。
[0119]
主循环部分33在利用磷酸浓度传感器ps2测得的浓度值小于预先设定的阈值(例如88％)时，将第2槽t2内的磷酸溶液浓缩。首先，在将第2槽t2内的磷酸溶液浓缩时，主循环部分33使开闭阀v9、v11为打开状态，且使开闭阀v10、v12～v14为关闭状态，并且使第2泵89驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol2、第2泵89、石英加热器87(浓缩用配管85)、入口il2的顺序循环。
[0120]
进而，主循环部分33使用石英加热器87将通过浓缩用配管85的磷酸溶液加热。温度传感器ts2测定第2槽t2内的磷酸溶液的温度。主循环部分33以利用温度传感器ts2测得的温度成为预先设定的第1温度(例如160℃)的方式，使用石英加热器87将磷酸溶液加热。
[0121]
此外，在该步骤s05中，未被用于磷酸溶液的加热的非石英加热器91停止加热，或以近似于加热停止的状态进行加热。
[0122]
[步骤s06]维持调温状态
[0123]
在将磷酸溶液的磷酸浓度浓缩为例如88％～89％后，主循环部分33将磷酸溶液的温度维持在160℃，以确保磷酸浓度。以下将具体地进行说明。
[0124]
主循环部分33在利用磷酸浓度传感器ps2测得的浓度值为阈值(88％)以上时，判断第2槽t2内的磷酸溶液的浓缩已完成，并维持第2槽t2内的磷酸溶液的温度(160℃)。
[0125]
即，主循环部分33在第2槽t2内的磷酸溶液的浓缩完成时，首先，切换循环路线。主循环部分33使开闭阀v10、v11为打开状态，且使开闭阀v9、v12～v14为关闭状态，并且使第2泵89驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol2、第2泵89、非石英加热器91(第2迂回配管78)、入
口il2的顺序循环。
[0126]
进而，主循环部分33一边将磷酸溶液输送到第2迂回配管78，一边使用非石英加热器91将通过第2迂回配管78的磷酸溶液加热。由此，维持第2槽t2内的磷酸溶液的温度(160℃)。
[0127]
调温维持状态的第2槽t2内的磷酸溶液在出现向各处理部2a、2b、2c的供给指示之前处于等待状态。此外，在该步骤s06的说明中，磷酸溶液的浓缩阈值被设定为88％。关于此点，阈值也可为大于从磷酸供给源55供给的磷酸溶液的磷酸浓度(85％)的值。另外，也可设定磷酸浓度小于100％的上限阈值。在超过上限阈值的情况下，从纯水供给源59对第2槽t2供给纯水。在该情况下，返回到步骤s05。
[0128]
此外，该步骤s06中，未被用于磷酸溶液的加热的石英加热器87停止加热，或以近似于加热停止的状态进行加热。
[0129]
[步骤s07]向处理部2a(2b、2c)供给磷酸溶液
[0130]
主循环部分33从第2槽t2向各处理部2a、2b、2c供给磷酸溶液。主循环部分33使开闭阀v10、v12为打开状态，且使开闭阀v9、v11、v13、v14为关闭状态，并且使第2泵89驱动。由此，将磷酸溶液按照出口ol2、第2泵89、非石英加热器91、第2供给配管80、处理部2a的处理槽6的顺序输送。对处理部2a的处理槽6，供给硅浓度较低的磷酸溶液。
[0131]
此外，在对处理部2b输送磷酸溶液的情况下，使开闭阀v10、v13为打开状态，并且使开闭阀v11、v12、v14为关闭状态。另外，在对处理部2c输送磷酸溶液的情况下，使开闭阀v10、v14为打开状态，并且使开闭阀v11、v12～v14为关闭状态。
[0132]
此处，对两种供给方法进行说明。两种供给方法是指不断补充与局部液体更换。参照图2。首先，对不断补充进行说明。此外，在该说明中，对处理部2a供给磷酸溶液。在对处理部2b、2c的任一个供给磷酸溶液时也同样进行。
[0133]
所谓不断补充是指，在进行使由升降器11保持的多个衬底w浸渍在处理部2a的处理槽6中的衬底处理时，利用预调温单元4将磷酸溶液持续供给到处理部2a的处理槽6中。由此，缓缓地进行处理槽6的磷酸溶液的更换，因而能够抑制处理槽6内的磷酸溶液的硅浓度的上升。
[0134]
浸渍在处理槽6中的各衬底w具有氮化矽膜与氧化矽膜交替地积层而得的构造。衬底处理是指使用磷酸溶液，选择性地对氮化矽膜进行蚀刻。另外，处理部2a的多余磷酸溶液从连接在外槽7的排出管14自然地排出。此外，当衬底处理结束时，停止从预调温单元4供给磷酸溶液。
[0135]
其次，对局部液体更换进行说明。所谓局部液体更换，是指在进行使衬底w浸渍于处理部2a的处理槽6中的衬底处理时，利用预调温单元4将处理槽6内的磷酸溶液的一部分排出，并且通过第2供给配管80对处理部2a的处理槽6供给磷酸溶液。
[0136]
硅浓度传感器23(参照图2)设置在处理部2a的处理部循环流路9。衬底处理装置1在利用硅浓度传感器23测得的硅浓度值大于预先设定的阈值时，使开闭阀v22为打开状态，并且利用预调温单元4从第2槽t2对处理部2a的处理槽6供给磷酸溶液。使开闭阀v22为打开状态，由此，使得处理部2a的处理槽6内的磷酸溶液通过排出管30而排出。在排出的同时，利用预调温单元4对处理部2a的处理槽6供给磷酸溶液。由此，处理槽6内的磷酸溶液局部被替换，因此能够使磷酸溶液的硅浓度值相对大幅地下降。
[0137]
此外，也可在不断补充的作业中，中断局部液体更换的作业。另外，向各处理部2a、2b、2c的磷酸溶液的供给方法是任意的，不限于所述两种供给方法。
[0138]
当从第2槽t2向各处理部2a、2b、2c输送磷酸溶液时，液面传感器ls2检测出第2槽t2内的磷酸溶液的液面下降。因此，需要从第1槽t1向第2槽t2供给磷酸溶液的动作。在该情况下，返回到步骤s04。
[0139]
根据本实施例，在作为第1循环配管35的一部分的第1浓缩用配管39，设有石英加热器41，在使石英加热器41迂回的第1迂回配管36，设有非石英加热器45。在将第1槽t1内的磷酸溶液浓缩时，使用石英加热器41将通过浓缩用配管39的磷酸溶液加热。另外，在第1槽t1内的磷酸溶液的浓缩完成，而维持第1槽t1内的磷酸溶液的温度时，使用非石英加热器41将通过第1迂回配管36的磷酸溶液加热。在使用非石英加热器45的情况下，能防止硅溶出到磷酸溶液中，整体上来看，硅向磷酸溶液中的溶出变少。因此，例如能够防止供给到处理部2a的磷酸溶液的硅浓度成为高浓度。
[0140]
另外，在作为第2循环配管77的一部分的第2浓缩用配管85，设有石英加热器87，在使石英加热器87迂回的第2迂回配管78，设有非石英加热器91。在将第2槽t2内的磷酸溶液浓缩时，使用石英加热器87将通过浓缩用配管85的磷酸溶液加热。另外，在第2槽t2内的磷酸溶液的浓缩完成，而维持第2槽t2内的磷酸溶液的温度时，使用第2非石英加热器91将通过第2迂回配管78的磷酸溶液加热。在使用第2非石英加热器91的情况下，能防止硅溶出到磷酸溶液中，整体上来看，硅向磷酸溶液中的溶出变少。因此，例如能够防止供给到处理部2a的磷酸溶液的硅浓度成为高浓度。
[0141]
[实施例2]
[0142]
其次，参照附图来说明本发明的实施例2。此外，省略与实施例1重复的说明。
[0143]
实施例1中，在2个步骤s03、s06中，将磷酸溶液的温度维持在160℃。关于此点，在实施例2中，将磷酸溶液的温度维持在120℃。
[0144]
实施例2的预调温单元4具有与图1所示的实施例1的预调温单元4相同的构造上的特征。即，在实施例2的预调温单元4中，预循环部分31具备第1迂回配管36及非石英加热器45。另外，主循环部分33具备第2迂回配管78及非石英加热器91。
[0145]
其次，参照图5对预调温单元4的动作进行说明。此外，图5所示的步骤s11、s12、s14、s15、s17分别与图4所示的步骤s01、s02、s04、s05、s07动作相同。步骤s12中，预循环部分31以第1槽t1内的磷酸溶液的温度成为预先设定的第1温度(160℃)的方式，使用2个石英加热器41将通过浓缩用配管39的磷酸溶液加热，而使得磷酸溶液浓缩。
[0146]
[步骤s13]维持调温状态
[0147]
将磷酸溶液的磷酸浓度从85％浓缩到例如88％～89％后，预循环部分31将磷酸溶液的温度维持在120℃。以下将具体地进行说明。
[0148]
预循环部分31在利用磷酸浓度传感器ps1测得的浓度值为阈值(88％)以上时，判断第1槽t1内的磷酸溶液的浓缩完成，而维持第1槽t1内的磷酸溶液的温度(120℃)。
[0149]
即，预循环部分31在第1槽t1内的磷酸溶液的浓缩完成时，首先，切换循环路线。预循环部分31使开闭阀v5、v6为打开状态，且使开闭阀v4、v7为关闭状态，并且使第1泵43驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol1、第1泵43、非石英加热器45(第1迂回配管36)、分支管35c、入口il1的顺序循环。进而，预循环部分31一边将磷酸溶液输送到第1迂回配管36，一边
使用非石英加热器45将通过第1迂回配管36的磷酸溶液加热。
[0150]
此时，预循环部分31以第1槽t1内的磷酸溶液的温度成为第2温度(120℃)的方式，使用非石英加热器45进行加热。第2温度(120℃)设定得比第1温度(160℃)低。在该说明中，第2温度设定为120℃。关于此点，第2温度例如也可设定为100℃以上且小于磷酸溶液的沸点。当磷酸溶液的温度小于100℃时，磷酸溶液会吸收水分。因此，磷酸溶液的磷酸浓度会降低。通过使磷酸溶液的温度为100℃以上，能够防止磷酸溶液吸收水分。
[0151]
磷酸溶液被从第1槽t1输送到第2槽t2(步骤s14)。主循环部分33以第2槽t2内的磷酸溶液的温度成为预先设定的第1温度(160℃)的方式，使用石英加热器87将通过浓缩用配管85的磷酸溶液加热(步骤s15)，而使得磷酸溶液浓缩。
[0152]
[步骤s16]维持调温状态
[0153]
将磷酸溶液的磷酸浓度浓缩到例如88％～89％后，主循环部分33将磷酸溶液的温度维持在120℃。以下将具体地进行说明。
[0154]
主循环部分33在利用磷酸浓度传感器ps2测得的浓度值为阈值(88％)以上时，判断第2槽t2内的磷酸溶液的浓缩完成，而维持第2槽t2内的磷酸溶液的温度(120℃)。
[0155]
即，主循环部分33在第2槽t2内的磷酸溶液的浓缩完成时，首先，切换循环路线。主循环部分33使开闭阀v10、v11为打开状态，且使开闭阀v9、v12～v14为关闭状态，并且使第2泵89驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol2、第2泵89、非石英加热器91(第2迂回配管78)、入口il2的顺序循环。进而，主循环部分33一边将磷酸溶液输送到第2迂回配管78，一边使用非石英加热器91将通过第2迂回配管78的磷酸溶液加热。
[0156]
此时，主循环部分33以第2槽t2内的磷酸溶液的温度成为比第1温度(160℃)低的第2温度(120℃)的方式，使用非石英加热器91进行加热。
[0157]
之后，在步骤s17中，利用预调温单元4对处理槽6供给120℃的磷酸溶液。因对处理槽6内的160℃的磷酸溶液中供给120℃的磷酸溶液，所以担心处理过程会产生问题。但是，来自预调温单元4的磷酸溶液的磷酸浓度是与处理槽6内的磷酸溶液相同的磷酸浓度。因此，不会发生沸腾等不稳定的行为。另外，认为只要处理槽6的2个加热器8、19的升温能力足够，则能迅速地加热到160℃，因此处理过程不存在问题。
[0158]
根据本实施例，除实施例1的效果以外，还具有以下效果。即，能够抑制非石英加热器45的输出。因此，能够防止非石英管受到损害。例如加热可能会引起非石英管熔解。本实施例能够防止所述情况。另外，能增加非石英加热器的选项。
[0159]
[实施例3]
[0160]
其次，参照附图来说明本发明的实施例3。此外，省略与实施例1、2重复的说明。
[0161]
图6是表示实施例3的衬底处理装置1的构成的图。实施例3中，主循环部分33不具备图1所示的第2迂回配管78、非石英加热器91及2个开闭阀v9、v10。另外，在第2循环配管77中，未将浓缩用配管85加以区分。其它构成与图1所示的构成相同。
[0162]
其次，参照图7对预调温单元4的动作进行说明。图7所示的步骤s21～s24的动作分别与图4所示的步骤s01～s04的动作相同。
[0163]
步骤s24中，从第1槽t1对第2槽t2供给磷酸溶液。第1槽t1内的磷酸溶液是维持在160℃，且被浓缩到88％～89％的磷酸溶液。进入步骤s26。
[0164]
[步骤s26]维持调温状态
[0165]
首先，主循环部分33使第2槽t2内的磷酸溶液循环。具体来说，主循环部分33使开闭阀v11为打开状态，且使开闭阀v12～v14为关闭状态，并且使第2泵89驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol2、第2泵89、石英加热器87、开闭阀v11、入口il2的顺序循环。
[0166]
主循环部分33不使磷酸溶液升温到第1温度(160℃)。即，主循环部分33以第2槽t2内的磷酸溶液的温度成为第2温度(120℃)的方式，使用石英加热器87将通过第2循环配管77的磷酸溶液加热。由此，将第2槽t2内的磷酸溶液的温度维持在120℃。第2槽t2内的磷酸溶液的温度是利用温度传感器ts2来测定的。
[0167]
此外，第2温度设定得比第1温度低。在该说明中，第2温度设定为120℃。关于此点，第2温度例如也可设定为100℃以上140℃以下的范围。这是因为，当磷酸溶液的温度小于100℃时，磷酸溶液会吸收水分。另外，认为与使用石英加热器87(41)令磷酸溶液升温到160℃时相比，在使用石英加热器87(41)令磷酸溶液升温到140℃时，能够将硅(si)的溶出量抑制为约1/2。
[0168]
另外，第2温度优选设定为100℃以上120℃以下的范围。这是因为，认为与使用石英加热器87(41)令磷酸溶液升温到160℃时相比，使用石英加热器87(41)令磷酸溶液升温到120℃时，能够将硅(si)的溶出量抑制为约1/10。
[0169]
图8是表示预调温单元4的调温时间与预期硅浓度的关系的曲线图。图8中，调温时间表示的是越往右，则时间经过得越久。另外，预期硅浓度表示的是越往上，硅浓度越高。预期硅浓度是使用3个石英加热器41a、41b、87令磷酸溶液分别升温到160℃、120℃时的算出结果。图8示出120℃的预期硅浓度为160℃的预期硅浓度的约1/10。另外，姑且预测140℃的预期硅浓度为160℃的浓度与120℃的浓度之间的浓度，即为160℃的浓度的约1/2。
[0170]
根据本实施例，在磷酸溶液的浓缩完成后，将磷酸溶液的温度维持在比磷酸溶液浓缩时所设定的第1温度低的第2温度。通过降低第2石英加热器87的加热温度，能够抑制硅从第2石英加热器87的第2石英管47(参照图3(a))溶出。因此，整体上来看，硅向磷酸溶液中的溶出变少。因此，例如能够防止供给到处理部2a的磷酸溶液的硅浓度成为高浓度。
[0171]
此外，在图7所示的步骤s23中，将第1槽t1内的磷酸溶液维持为第1温度(160℃)。关于此点，也可像图5的步骤s13那样，使用非石英加热器45将第1槽t1内的磷酸溶液加热到比第1温度低的第2温度(120℃)。
[0172]
另外，主循环部分33具备石英加热器87。也可代替石英加热器87，将如图3(b)所示的非石英加热器45(91)设置在第1循环配管35。另外，主循环部分33也可为在使用石英加热器87将磷酸溶液浓缩时，将第2槽t2内的磷酸溶液加热到160℃，在维持调温状态时，将第2槽t2内的磷酸溶液加热到120℃。
[0173]
[实施例4]
[0174]
其次，参照附图来说明本发明的实施例4。此外，说明与实施例1～3重复的说明。图9是表示实施例4的预调温单元4的构成的图。
[0175]
实施例1中，预循环部分31具备非石英加热器45，主循环部分33具备非石英加热器91。关于此点，实施例4的预调温单元4不具备2个非石英加热器45、91。
[0176]
参照图9。在预循环部分31，第1循环配管35的两端35a、35b分别连接在第1槽t1的出口ol1及入口il1。在第1循环配管35，从出口ol1侧起依序设有第1泵43、石英加热器41a、石英加热器41b、分支管35c、开闭阀v6。
[0177]
在主循环部分33，第2循环配管77的两端77a、77b分别连接在第2槽t2的出口ol2及入口il2。在第2循环配管77，从出口ol2起依序设有第2泵89、石英加热器87、分支管77c、分支管77d、分支管77e、开闭阀v11。
[0178]
其次，参照图10对预调温单元4的动作进行说明。从磷酸供给源55对第1槽t1供给磷酸溶液(步骤s31)。
[0179]
[步骤s32]升温、浓缩
[0180]
预循环部分31在利用磷酸浓度传感器ps1测得的浓度值小于预先设定的阈值(例如88％)时，将第1槽t1内的磷酸溶液浓缩。在将磷酸溶液浓缩时，首先，预循环部分31使开闭阀v6为打开状态，且使开闭阀v7为关闭状态，并且使第1泵43驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol1、第1泵43、2个石英加热器41、开闭阀v6、入口il1的顺序，通过第1循环配管35而循环。
[0181]
进而，预循环部分31使用2个石英加热器41将通过第1循环配管35的磷酸溶液加热。另外，预循环部分31以利用温度传感器ts1测得的温度成为预先设定的第1温度(例如160℃)的方式，将磷酸溶液加热。
[0182]
[步骤s33]维持调温状态
[0183]
持续执行磷酸溶液的循环。预循环部分31在利用磷酸浓度传感器ps1测得的浓度值为阈值(88％)以上时，判断第1槽t1内的磷酸溶液的浓缩完成，而维持第1槽t1内的磷酸溶液的温度(120℃)。即，预循环部分31在第1槽t1内的磷酸溶液的浓缩完成时，一边将磷酸溶液输送到第1循环配管35，一边使用2个石英加热器41的至少一者将通过第1循环配管35的磷酸溶液加热。
[0184]
此时，预循环部分31以第1槽t1内的磷酸溶液的温度成为第2温度(120℃)的方式，将通过第1循环配管35的磷酸溶液加热。第2温度设定得比第1温度低。
[0185]
[步骤s34]向第2槽t2供给磷酸溶液
[0186]
预循环部分31从第1槽t1向第2槽t2供给磷酸溶液。预循环部分31使开闭阀v7为打开状态，使开闭阀v6为关闭状态，并且使第1泵43驱动。
[0187]
[步骤s35]升温、浓缩
[0188]
首先，主循环部分33使开闭阀v11为打开状态，且使开闭阀v12、v13、v14为关闭状态，并且使第2泵89驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol2、第2泵89、石英加热器87、开闭阀v11、入口il2的顺序，通过第2循环配管77而循环。
[0189]
该状态下，主循环部分33在利用磷酸浓度传感器ps2测得的浓度值小于预先设定的阈值(例如88％)时，将第2槽t2内的磷酸溶液浓缩。此时，主循环部分33使用石英加热器87将通过第2循环配管77的磷酸溶液加热。另外，主循环部分33以利用温度传感器ts2测得的温度成为预先设定的第1温度(例如160℃)的方式，将磷酸溶液加热。
[0190]
[步骤s36]维持调温状态
[0191]
在将磷酸溶液的磷酸浓度浓缩到例如88％～89％后，主循环部分33维持磷酸溶液的温度(120℃)。以下将具体地进行说明。
[0192]
持续执行磷酸溶液的循环。主循环部分33在利用磷酸浓度传感器ps2测得的浓度值为阈值(88％)以上时，判断第2槽t2内的磷酸溶液的浓缩完成，将第2槽t2内的磷酸溶液的温度维持在预先设定的温度(120℃)。即，主循环部分33在第2槽t2内的磷酸溶液的浓缩
完成时，一边将磷酸溶液输送到第2循环配管77，一边使用石英加热器87将通过第2循环配管77的磷酸溶液加热。
[0193]
此时，主循环部分33以第2槽t2内的磷酸溶液的温度成为比第1温度(160℃)低的第2温度(120℃)的方式，使用石英加热器87进行加热。
[0194]
[步骤s37]向处理部2a(2b、2c)供给磷酸溶液
[0195]
主循环部分33将第2槽t2内的磷酸溶液供给到例如处理部2a。具体来说，主循环部分33使开闭阀v12为打开状态，且使开闭阀v11、v13、v14为关闭状态，并且使第2泵89驱动。由此，通过第2供给配管80，对处理部2a的处理槽6供给磷酸溶液。
[0196]
根据本实施例，在将第1槽t1内的磷酸溶液浓缩时，以第1槽t1内的磷酸溶液的温度成为第1温度的方式，使用2个石英加热器41将通过第1循环流路35的磷酸溶液加热。在第1槽t1内的磷酸溶液的浓缩完成而维持第1槽t1内的磷酸溶液的温度时，以第1槽t1内的磷酸溶液的温度成为比第1温度低的第2温度的方式，使用石英加热器41将通过第1循环流路35的磷酸溶液加热。虽然使用了石英加热器41，但由于升温到比第1温度低的第2温度，所以相比第1温度而言在第2温度下硅向磷酸溶液的溶出变少。因此，例如能够防止供给到处理部2a的磷酸溶液的硅浓度成为高浓度。
[0197]
另外，在图9所示的预调温单元4中，也可将图9所示的主循环部分33置换为图1所示的主循环部分33。
[0198]
[实施例5]
[0199]
其次，参照附图来说明本发明的实施例5。此外，省略与实施例1～4重复的说明。
[0200]
实施例1中，预调温单元4具备2个循环部分31、33，以2个阶段准备供给到各处理部2a、2b、2c的磷酸溶液。关于此点，预调温单元4也可以1个阶段准备磷酸溶液。
[0201]
参照图11。预调温单元4具备与图1所示的预循环部分31相似的构成。即，预调温单元4具备第1槽t1、第1循环配管35、第1迂回配管36及3根供给配管(供给流路)101、102、103。在第1迂回配管36的第2端36b与入口il1之间的第1循环配管35，设有3个分支管35d、35e、35f。
[0202]
3个分支管35d、35e、35f分别连接着供给配管101、102、103。供给配管101是用来对处理部2a的处理槽6直接供给磷酸溶液的配管。2根供给配管102、103分别为用来对处理部2b、2c的2个处理槽6直接供给磷酸溶液的配管。
[0203]
本实施例5的预调温单元4具备6个开闭阀v4、v5、v6、v16、v17、v18。开闭阀v6设置在分支管35f与入口il1之间的第1循环配管35。开闭阀v16设置在供给配管101。开闭阀v17设置在供给配管102。开闭阀v18设置在供给配管103。
[0204]
其次，参照图12对本实施例的预调温单元4的动作进行说明。从磷酸供给源55对第1槽t1供给室温下浓度为85％的磷酸溶液(步骤s41)。
[0205]
[步骤s42]升温、浓缩
[0206]
预调温单元4一边使第1槽t1内的磷酸溶液升温，一边使磷酸溶液浓缩。以下将具体地进行说明。
[0207]
预调温单元4在利用磷酸浓度传感器ps1测得的浓度值小于预先设定的阈值(例如88％)时，将第1槽t1内的磷酸溶液浓缩。在将磷酸溶液浓缩时，首先，预调温单元4使开闭阀v4、v6为打开状态，且使开闭阀v5、v16～v18为关闭状态，并且使第1泵43驱动。由此，使磷酸
溶液按照出口ol1、第1泵43、2个石英加热器41(浓缩用配管39)、开闭阀v6、入口il1的顺序循环。
[0208]
进而，预调温单元4一边输送浓缩用配管39的磷酸溶液，一边使用2个石英加热器41将通过浓缩用配管39的磷酸溶液加热。另外，2个石英加热器41的加热是以利用温度传感器ts1测得的温度成为预先设定的第1温度(160℃)的方式进行的。此外，温度传感器ts1测定第1槽t1内的磷酸溶液的温度。浓缩作业是在利用磷酸浓度传感器ps1测得的浓度值达到预先设定的阈值(例如88％)时完成的。
[0209]
[步骤s43]维持调温状态
[0210]
预调温单元4在浓缩完成后，将磷酸溶液的温度维持在160℃，以确保磷酸浓度。以下将具体地进行说明。
[0211]
预调温单元4在利用磷酸浓度传感器ps1测得的浓度值为阈值(88％)以上时，判断第1槽t1内的磷酸溶液的浓缩完成，而维持第1槽t1内的磷酸溶液的温度(160℃)。即，预调温单元4在第1槽t1内的磷酸溶液的浓缩完成时，切换循环路线。预调温单元4使开闭阀v5、v6为打开状态，且将开闭阀v4、v16～v18设为关闭状态，并且使第1泵43驱动。由此，使磷酸溶液按照出口ol1、第1泵43、非石英加热器45(第1迂回配管36)、开闭阀v6、入口il1的顺序循环。
[0212]
预调温单元4一边将磷酸溶液输送到第1迂回配管36，一边使用非石英加热器45将通过第1迂回配管36的磷酸溶液加热。由此，维持第1槽t1内的磷酸溶液的温度(160℃)。调温维持状态的第1槽t1内的磷酸溶液在出现向3个处理部2a、2b、2c的任一个的供给指示之前处于等待状态。
[0213]
[步骤s44]向处理部2a(2b、2c)供给磷酸溶液
[0214]
预调温单元4例如将第1槽t1内的磷酸溶液输送到处理部2a。预调温单元4使开闭阀v5、v16为打开状态，且使开闭阀v4、v6、v17、v18为关闭状态，并且使第1泵43驱动。由此，按照出口ol1、第1泵43、非石英加热器45、分支管35d、供给配管101、处理部2a的处理槽6的顺序，供给第1槽t1内的磷酸溶液。
[0215]
当从第1槽t1对3个处理部2a、2b、2c的任一个供给磷酸溶液时，液面传感器ls1检测出第1槽t1内的磷酸溶液的水面高度降低。在该情况下，需要从磷酸供给源55对第1槽t1补充磷酸溶液。因此，返回到步骤s41。
[0216]
根据本实施例，像实施例1那样，整体上来看，硅向磷酸溶液中的溶出变少。因此，例如能够防止供给到处理部2a的磷酸溶液的硅浓度成为高浓度。
[0217]
本发明不限于所述实施方式，能以如下方式变化而实施。
[0218]
(1)在所述实施例5中，浓缩作业时，利用石英加热器41将磷酸溶液加热，维持调温状态时，利用非石英加热器45将磷酸溶液加热。关于此点，也可如实施例4所记载，不设置非石英加热器45，而在浓缩作业时利用石英加热器41将磷酸溶液加热到第1温度(160℃)，在维持调温状态时利用石英加热器41将磷酸溶液加热到第2温度(120℃)。
[0219]
换句话说，图9所示的实施例4的预调温单元4具备2个循环部分31、33，以2个阶段准备供给到各处理部2a、2b、2c的磷酸溶液。关于此点，预调温单元4也可为以1个阶段准备磷酸溶液之类的构成。
[0220]
(2)在所述各实施例及变化例(1)中，预调温单元4例如在对处理部2a供给磷酸溶
液时，将磷酸溶液直接供给到处理槽6。关于此点，预调温单元4也可将磷酸溶液直接供给到外槽7，并经由外槽7及处理部循环流路9间接地供给到处理槽6。
[0221]
(3)在所述各实施例2～4及各变化例中，在浓缩作业时将磷酸溶液加热到第1温度(160℃)，在维持调温状态时，加热到第2温度(120℃)。然后，将维持在第2温度(120℃)的磷酸溶液供给到贮存被加热到160℃的磷酸溶液的处理槽6。关于此点，例如在图9中，也可将双点划线所示的加热器105、106、107设置在3根供给配管80～82的每一个。例如，加热器105将通过第2供给配管80的磷酸溶液加热。2个加热器106、107分别将2根供给配管81、82加热。
[0222]
例如在通过第2供给配管80而供给到处理部2a的磷酸溶液的温度低于处理部2a的处理槽6内的磷酸溶液的温度时，能够抑制温度差。此外，各加热器105～107相当于本发明的供给流路用加热器。各加热器105～107优选包含非石英加热器。
[0223]
(4)在所述各实施例2～4及各变化例中，预循环部分31及主循环部分33都将浓缩时的磷酸溶液的第1温度设定为160℃，将维持调温状态时的磷酸溶液的第2温度设定为160℃或120℃。关于此点，在预循环部分31设定的第1温度也可与在主循环部分33设定的第1温度不同。同样，在预循环部分31设定的第2温度也可与在主循环部分33设定的第2温度不同。
[0224]
(5)在所述各实施例1～4及各变化例中，气泡供给部67仅设置在第1槽t1内。关于此点，气泡供给部67也可设置在第2槽t2内。
[0225]
(6)在所述各实施例及各变化例中，第1供给配管37的第1端经由分支管35c连接在第1循环配管35，另外，例如第2供给配管80的第1端经由分支管77c连接在第2循环配管77。关于此点，第1供给配管37的第1端也可直接连接在第1槽t1。另外，第2供给配管80的第1端也可直接连接在第2槽t2。
[0226]
[符号的说明]
[0227]1ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
衬底处理装置
[0228]
2a、2b、2c
ꢀꢀꢀꢀ
处理部
[0229]4ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
预调温单元
[0230]6ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
处理槽
[0231]
31
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
预循环部分
[0232]
33
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
主循环部分
[0233]
t1
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
第1槽
[0234]
35
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
第1循环配管
[0235]
36
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
第1迂回配管
[0236]
37
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
第1供给配管
[0237]
39
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
浓缩用配管
[0238]
41
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
石英加热器
[0239]
43
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
第1泵
[0240]
45
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
非石英加热器
[0241]
47
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
石英管
[0242]
51
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
非石英管
[0243]
67
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
气泡供给部
[0244]
t2
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
第2槽
[0245]
77
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
第2循环配管
[0246]
78
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
第2迂回配管
[0247]
80、81、82
ꢀꢀꢀꢀ
第2供给配管
[0248]
101、102、103 第2供给配管
[0249]
85
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
浓缩用配管
[0250]
87
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
石英加热器
[0251]
89
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
第2泵
[0252]
91
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
非石英加热器
[0253]
93
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
控制部。

技术特征：

1.一种衬底处理装置，其特征在于具备：处理部，具有贮存磷酸溶液以浸渍衬底的处理槽；槽，贮存所述磷酸溶液；供给流路，用来将所述槽内的所述磷酸溶液输送到所述处理部；循环流路，两端连接在所述槽，用来使从所述槽内流入的所述磷酸溶液返回到所述槽；泵，设置在所述循环流路；石英加热器，设置在作为所述循环流路的一部分的浓缩用流路，具有由石英形成且用来供所述磷酸溶液通过的石英管；迂回流路，两端连接在所述浓缩用流路的上游端及下游端；非石英加热器，设置在所述迂回流路，具有并非由石英形成且用来供所述磷酸溶液通过的非石英管；以及控制部；且所述控制部在将所述槽内的所述磷酸溶液浓缩时，一边对所述浓缩用流路输送所述磷酸溶液，一边使用所述石英加热器将通过所述浓缩用流路的所述磷酸溶液加热；所述控制部在所述槽内的所述磷酸溶液的浓缩完成时，一边将所述磷酸溶液输送到所述迂回流路，一边使用所述非石英加热器将通过所述迂回流路的所述磷酸溶液加热，由此维持所述槽内的所述磷酸溶液的温度。2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，还具备测定所述槽内的所述磷酸溶液的浓度的磷酸浓度传感器，所述控制部在利用所述磷酸浓度传感器测得的浓度值小于预先设定的阈值时，将所述槽内的所述磷酸溶液浓缩，所述控制部在利用所述磷酸浓度传感器测得的浓度值为所述阈值以上时，判断所述槽内的所述磷酸溶液的浓缩完成，而维持所述槽内的所述磷酸溶液的温度。3.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，所述控制部在将所述槽内的所述磷酸溶液浓缩时，以所述槽内的所述磷酸溶液的温度成为预先设定的第1温度的方式，使用所述石英加热器将通过所述浓缩用流路的所述磷酸溶液加热；所述控制部在维持所述槽内的所述磷酸溶液的温度时，以所述槽内的所述磷酸溶液的温度成为比所述第1温度低的第2温度的方式，使用所述非石英加热器将通过所述迂回流路的所述磷酸溶液加热。4.根据权利要求3所述的衬底处理装置，其特征在于，所述第1温度为所述磷酸溶液的沸点以上。5.根据权利要求3所述的衬底处理装置，其特征在于，所述第2温度为100℃以上，且小于所述磷酸溶液的沸点。6.根据权利要求3所述的衬底处理装置，其特征在于，具备供给流路用加热器，该供给流路用加热器设置在所述供给流路，将通过所述供给流路的所述磷酸溶液加热。7.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，还具备气泡供给部，所述气泡供给部配置在所述槽内的底壁侧，且具有多个孔，构成为
从所述多个孔对所述槽内供给气泡。8.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，在进行使衬底浸渍于所述处理槽的衬底处理时，所述控制部通过所述供给流路对所述处理部供给所述磷酸溶液。9.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，在进行使衬底浸渍于所述处理槽的衬底处理时，所述控制部一边将所述处理槽内的所述磷酸溶液的一部分排出，一面通过所述供给流路将所述磷酸溶液供给到所述处理部。10.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其特征在于，所述非石英管是由氟系树脂形成的氟系树脂管。11.根据权利要求1至10中任一项所述的衬底处理装置，其特征在于具备：第2槽，介置在用来从所述槽向所述处理部输送磷酸溶液的供给流路，贮存从所述槽输送来的所述磷酸溶液；第2循环流路，两端连接在所述第2槽，用来使从所述第2槽内流入的所述磷酸溶液返回到所述第2槽；第2泵，设置在所述第2循环流路；第2石英加热器，设置在作为所述第2循环流路的一部分的第2浓缩用流路，具有由石英形成且用来供所述磷酸溶液通过的第2石英管；第2迂回流路，两端连接在所述第2浓缩用流路的上游端及下游端；以及第2非石英加热器，设置在所述第2迂回流路，具有并非由石英形成且用来供所述磷酸溶液通过的第2非石英管；所述控制部在将所述第2槽内的所述磷酸溶液浓缩时，一边将所述磷酸溶液输送到所述第2浓缩用流路，一边使用所述第2石英加热器将通过所述第2浓缩用流路的所述磷酸溶液加热；所述控制部在所述第2槽内的所述磷酸溶液的浓缩完成时，一边将所述磷酸溶液输送到所述第2迂回流路，一边使用所述第2非石英加热器将通过所述第2迂回流路的所述磷酸溶液加热，由此维持所述第2槽内的所述磷酸溶液的温度。12.根据权利要求1至10中任一项所述的衬底处理装置，其特征在于具备：第2槽，介置在用来从所述槽向所述处理部输送磷酸溶液的供给流路，贮存从所述槽输送来的所述磷酸溶液；第2循环流路，两端连接在所述第2槽，用来使从所述第2槽内流入的磷酸溶液返回到所述第2槽；第2泵，设置在所述第2循环流路；以及第2石英加热器，设置在所述第2循环流路，具有由石英形成且用来供所述磷酸溶液通过的第2石英管；且所述控制部在将所述槽内的所述磷酸溶液浓缩时，以所述槽内的所述磷酸溶液的温度成为预先设定的第1温度的方式，使用所述石英加热器将通过所述浓缩用流路的所述磷酸溶液加热；所述控制部为了维持所述磷酸溶液的浓度，以所述第2槽内的所述磷酸溶液的温度成为比所述第1温度低的第2温度的方式，使用所述第2石英加热器将通过所述第2循环流路的
所述磷酸溶液加热，由此维持所述第2槽内的所述磷酸溶液的温度。13.根据权利要求1至10中任一项所述的衬底处理装置，其特征在于具备：第2槽，介置在用来从所述槽向所述处理部输送磷酸溶液的供给流路，贮存从所述槽输送来的所述磷酸溶液；第2循环流路，两端连接在所述第2槽，用来使从所述第2槽内流入的磷酸溶液返回到所述第2槽；第2泵，设置在所述第2循环流路；以及第2石英加热器，设置在所述第2循环流路，具有由石英形成且用来供所述磷酸溶液通过的第2石英管；且所述控制部在将所述第2槽内的所述磷酸溶液浓缩时，以所述第2槽内的所述磷酸溶液的温度成为预先设定的第1温度的方式，使用所述第2石英加热器将通过所述第2循环流路的所述磷酸溶液加热；所述控制部在所述第2槽内的所述磷酸溶液的浓缩完成时，以所述第2槽内的所述磷酸溶液的温度成为比所述第1温度低的第2温度的方式，使用所述第2石英加热器将通过所述第2循环流路的所述磷酸溶液加热。14.一种衬底处理装置，其特征在于具备：处理部，具有贮存磷酸溶液以浸渍衬底的处理槽；槽，贮存所述磷酸溶液；供给流路，用来将所述槽内的所述磷酸溶液输送到所述处理部；循环流路，两端连接在所述槽，用来使从所述槽内流入的所述磷酸溶液返回到所述槽；泵，设置在所述循环流路；石英加热器，设置在所述循环流路，具有由石英形成且供所述磷酸溶液通过的石英管；以及控制部；所述控制部在将所述槽内的所述磷酸溶液浓缩时，以所述槽内的所述磷酸溶液的温度成为预先设定的第1温度的方式，使用所述石英加热器将通过所述循环流路的所述磷酸溶液加热；所述控制部在所述槽内的所述磷酸溶液的浓缩完成时，以所述槽内的所述磷酸溶液的温度成为比所述第1温度低的第2温度的方式，使用所述石英加热器将通过所述循环流路的所述磷酸溶液加热。

技术总结

本发明涉及一种衬底处理装置。在作为第1循环配管(35)的一部分的浓缩用配管(39)，设有具有石英管(47)的石英加热器(41)。第1迂回配管(36)的两端(36A)、(36B)连接在浓缩用配管(39)的上游端及下游端。在第1迂回配管(36)，设有具有非石英管(51)的非石英加热器(45)。控制部(93)在将第1槽(T1)内的磷酸溶液浓缩时，一边将磷酸溶液输送到浓缩用配管(39)，一边使用石英加热器(41)将通过浓缩用配管(39)的磷酸溶液加热。控制部(93)在第1槽(T1)内的磷酸溶液的浓缩完成时，一边将磷酸溶液输送到第1迂回配管(36)，一边使用非石英加热器(45)将通过第1迂回配管(36)的磷酸溶液加热。第1迂回配管(36)的磷酸溶液加热。第1迂回配管(36)的磷酸溶液加热。