一种太阳能电池生产用硅片清洗装置

本发明涉及一种太阳能电池生产用清洗装置，尤其涉及一种太阳能电池生产用硅 片清洗装置。

太阳能电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”，是一种利用太阳光直接发电的光电 半导体薄片。它只要被满足一定照度条件的光照到，瞬间就可输出电压及在有回路的情况 下产生电流。在物理学上称为太阳能光伏，简称光伏。

硅片是太阳能电池的重要组成部分，将硅片生产成太阳能电池之前需要对硅片进 行清洗将硅片上的颗粒污染和大多数粘在片子上的薄膜除去，提高光电转换效率，目前一 般是采用人工刷洗或擦洗的方式去除硅片上的颗粒污染和大多数粘在片子上的薄膜，如此 工人的劳动强度大、清洗效率低、而现有的硅片清洗机操作繁琐，因此亟需研发一种能够降 低劳动强度、能够提高清洗效率、操作简单、使用方便的太阳能电池生产用硅片清洗装置。

（1）要解决的技术问题

本发明为了克服采用人工刷洗或擦洗的方式对硅片进行清洗工人的劳动强度大、清洗 效率低、而现有的硅片清洗机操作繁琐的缺点，本发明要解决的技术问题是提供一种能够 降低劳动强度、能够提高清洗效率、操作简单、使用方便的太阳能电池生产用硅片清洗装 置。

（2）技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了这样一种太阳能电池生产用硅片清洗装置，包 括有底板、支杆、清洗箱、第一出液管、第一阀门、旋转装置、放置板、第一竖杆、顶板和清洗 装置，底板顶部的左右两侧均通过螺栓竖直连接有支杆，两个支杆的顶部之间通过螺栓连 接有清洗箱，清洗箱的顶部为敞口式设置，清洗箱的左侧下部连接有第一出液管，第一出液 管上设有第一阀门，底板的底部中间设有旋转装置，旋转装置的旋转部件位于清洗箱内，旋 转装置的旋转部件上连接有放置板，放置板的顶部沿轴向均匀间隔的开有多个放置槽，清 洗箱的顶部右侧通过螺栓连接有第一竖杆，第一竖杆的顶部通过螺栓水平连接有顶板，顶 板的底部左侧设有清洗装置。

优选地，旋转装置包括有第一轴承座、第二轴承座、第一转轴、第一齿轮、第一电机 和第二齿轮，第一轴承座通过螺栓安装在底板的顶部中间，清洗箱的底部中间嵌入式的安 装有第二轴承座，第一轴承座和第二轴承座之间连接有第一转轴，第一转轴通过过盈连接 的方式与第一轴承座和第二轴承座的轴承连接，放置板的底部通过螺栓与第一转轴的顶端 连接，第一转轴的下部外围通过平键连接的方式连接有第一齿轮，第一轴承座右侧的底板 顶部通过螺栓安装有第一电机，第一电机的输出轴通过联轴器连接有第二齿轮。

优选地，清洗装置包括有第二电机、安装板、气缸和毛刷，第二电机通过螺栓安装 在顶板的底部左侧，第二电机的输出轴通过联轴器连接有安装板，安装板的底部通过螺栓 安装有气缸，气缸的伸缩杆上连接有毛刷。

优选地，还包括有喷洗装置，清洗箱右侧的底板顶部设有喷洗装置，喷洗装置包括 有第三轴承座、第二转轴、第一皮带轮、第二皮带轮、平皮带、储液箱、圆盘、连接杆、第一活 塞、进液管、第一单向阀、第二出液管、第二单向阀、第二阀门、第二竖杆和第一喷头，第三轴 承座通过螺栓安装在清洗箱右侧的底板顶部，第三轴承座上的轴承通过过盈连接的方式连 接有第二转轴，第二转轴的上部外围通过平键连接的方式连接有第一皮带轮，第一齿轮上 方的第一转轴外围通过平键连接的方式连接有第二皮带轮，第一皮带轮和第二皮带轮之间 连接有平皮带，底板的右侧面通过螺栓连接有储液箱，储液箱的左侧面中部开有第一导孔， 第一皮带轮的上侧连接有圆盘，圆盘顶部的偏心位置上通过铰接部件铰接连接有连接杆， 连接杆的右端穿过第一导孔，并通过铰接部件铰接连接有第一活塞，储液箱的右侧上部连 接有进液管，进液管上设有第一单向阀，储液箱的右侧下部连接有第二出液管，第二出液管 上设有第二单向阀和第二阀门，第二电机右侧的顶板顶部通过螺栓连接有第二竖杆，第二 竖杆的底端安装有第一喷头，第二出液管的末端与第一喷头连接。

优选地，还包括有干燥装置，底板的底部左侧设有干燥装置，干燥装置包括有缸 体、第一弹簧、推板、推杆、第二活塞、凸轮、进气管、第三单向阀、出气管、第四单向阀、导套 和第二喷头，缸体的底部通过螺栓与底板的底部左侧连接，缸体位于左侧支杆和第一转轴 之间，缸体的右侧面中部开有第二导孔，第二导孔上下两侧的缸体右侧面连接有第一弹簧， 两个第一弹簧的右端之间连接有推板，推板的左侧面中部通过螺栓水平连接有推杆，推杆 的左端穿过第二导孔，并连接有第二活塞，第一齿轮和第二皮带轮之间的第一转轴外围通 过平键连接的方式连接有凸轮，凸轮位于推板的左侧，缸体的左侧上部连接有进气管，进气 管上设有第三单向阀，缸体的左侧下部连接有出气管，出气管上设有第四单向阀，清洗箱的 顶部左侧通过螺栓连接有导套，第四单向阀的末端穿过导套并连接有第二喷头。

优选地，还包括有第二弹簧和压块，导套内的左右两侧均连接有第二弹簧，第二弹 簧的末端连接有压块。

优选地，还包括有第一加强筋和第二加强筋，顶板的底部右侧与第一竖杆的左侧 面下部之间通过螺栓连接有第一加强筋，第一加强筋的右侧面中部与第一加强筋右侧的顶 板底部之间通过螺栓连接有第一加强筋。

优选地，还包括有吸盘，放置槽内的放置板上设有吸盘。

优选地，还包括有叶片，清洗箱内的第一转轴上连接有两个叶片，两个叶片左右对 称。

工作原理：人工将硅片放入放置槽内，再将超纯水倒入清洗箱内，然后启动清洗装 置对硅片进行清洗，在启动清洗装置时并启动旋转装置，旋转装置能够使放置板旋转，从而 使硅片转动，进而使清洗装置能够对全部的硅片进行清洗，硅片清洗完成后，同时关闭旋转 装置和清洗装置。随后人工在第一出液管的下方放置一个容器，然后再人工打开第一阀门 将清洗箱内的超纯水全部排出，随后再将第一阀门关闭，最后将硅片取出即可。如此本发明 通过清洗装置能够对硅片进行清洗，并通过旋转装置使硅片转动从而使清洗装置能够对全 部的硅片进行清洗，因此本发明能够降低劳动强度、能够提高清洗效率、操作简单、使用方 便。

因为旋转装置包括有第一轴承座、第二轴承座、第一转轴、第一齿轮、第一电机和 第二齿轮，第一轴承座通过螺栓安装在底板的顶部中间，清洗箱的底部中间嵌入式的安装 有第二轴承座，第一轴承座和第二轴承座之间连接有第一转轴，第一转轴通过过盈连接的 方式与第一轴承座和第二轴承座的轴承连接，放置板的底部通过螺栓与第一转轴的顶端连 接，第一转轴的下部外围通过平键连接的方式连接有第一齿轮，第一轴承座右侧的底板顶 部通过螺栓安装有第一电机，第一电机的输出轴通过联轴器连接有第二齿轮。所以人工启 动第一电机使第二齿轮转动，第二齿轮转动使第一齿轮转动，第一齿轮转动第一转轴随之 转动，如此能够使放置板转动，从而能够使硅片转动，进而使清洗装置能够对全部的硅片进 行清洗，硅片清洗完成后，关闭第一电机即可。

因为清洗装置包括有第二电机、安装板、气缸和毛刷，第二电机通过螺栓安装在顶 板的底部左侧，第二电机的输出轴通过联轴器连接有安装板，安装板的底部通过螺栓安装 有气缸，气缸的伸缩杆上连接有毛刷。所以人工启动气缸使毛刷向下移动，当毛刷与硅片接 触时关闭气缸，再人工启动第二电机使安装板转动，安装板转动气缸和毛刷随之转动，毛刷 转动能够对硅片进行刷洗，在超纯水作用下能够将硅片清洗干净，当硅片全部清洗完成后 关闭第二电机，然后启动气缸使毛刷向上移动复位，毛刷复位后关闭气缸即可。

因为还包括有喷洗装置，清洗箱右侧的底板顶部设有喷洗装置，喷洗装置包括有 第三轴承座、第二转轴、第一皮带轮、第二皮带轮、平皮带、储液箱、圆盘、连接杆、第一活塞、 进液管、第一单向阀、第二出液管、第二单向阀、第二阀门、第二竖杆和第一喷头，第三轴承 座通过螺栓安装在清洗箱右侧的底板顶部，第三轴承座上的轴承通过过盈连接的方式连接 有第二转轴，第二转轴的上部外围通过平键连接的方式连接有第一皮带轮，第一齿轮上方 的第一转轴外围通过平键连接的方式连接有第二皮带轮，第一皮带轮和第二皮带轮之间连 接有平皮带，底板的右侧面通过螺栓连接有储液箱，储液箱的左侧面中部开有第一导孔，第 一皮带轮的上侧连接有圆盘，圆盘顶部的偏心位置上通过铰接部件铰接连接有连接杆，连 接杆的右端穿过第一导孔，并通过铰接部件铰接连接有第一活塞，储液箱的右侧上部连接 有进液管，进液管上设有第一单向阀，储液箱的右侧下部连接有第二出液管，第二出液管上 设有第二单向阀和第二阀门，第二电机右侧的顶板顶部通过螺栓连接有第二竖杆，第二竖 杆的底端安装有第一喷头，第二出液管的末端与第一喷头连接。所以人工将超纯水经进液 管注入储液箱内，再人工打开第二阀门。然后人工启动第一电机从而使第一转轴转动，第一 转轴转动第二皮带轮随之转动，第二皮带轮随之转动通过平皮带使第二皮带轮转动。第二 皮带轮转动圆盘随之转动，圆盘转动通过连接杆能够使第一活塞不断的左右移动，第一活 塞不断的左右移动能够将储液箱内的超纯水推入第二出液管内，超纯水随后经第二出液管 从第一喷头喷出，并喷向硅片。如此能够对硅片进行喷洗，从而能够进一步的提高清洗效 率，能够提高清洗效果。当硅片清洗完成后关闭第一电机，然后将第二阀门关闭即可。

因为还包括有干燥装置，底板的底部左侧设有干燥装置，干燥装置包括有缸体、第 一弹簧、推板、推杆、第二活塞、凸轮、进气管、第三单向阀、出气管、第四单向阀、导套和第二 喷头，缸体的底部通过螺栓与底板的底部左侧连接，缸体位于左侧支杆和第一转轴之间，缸 体的右侧面中部开有第二导孔，第二导孔上下两侧的缸体右侧面连接有第一弹簧，两个第 一弹簧的右端之间连接有推板，推板的左侧面中部通过螺栓水平连接有推杆，推杆的左端 穿过第二导孔，并连接有第二活塞，第一齿轮和第二皮带轮之间的第一转轴外围通过平键 连接的方式连接有凸轮，凸轮位于推板的左侧，缸体的左侧上部连接有进气管，进气管上设 有第三单向阀，缸体的左侧下部连接有出气管，出气管上设有第四单向阀，清洗箱的顶部左 侧通过螺栓连接有导套，第四单向阀的末端穿过导套并连接有第二喷头。当将清洗箱内的 超纯水全部排出后，人工启动第一电机从而使第一转轴转动，第一转轴转动凸轮随之转动， 凸轮转动不断的击打推板使推板不断的左右移动，第一弹簧随之伸缩。推板不断的左右移 动通过推杆能够使第二活塞不断的左右移动，第二活塞向右移动能够将外界的空气经进气 管抽入缸体内，第二活塞向左移动能够将缸体内的空气经推入出气管内，空气再经出气管 从第二喷头喷出，如此能够将硅片上的水吹干，从而能够使硅片快速干燥，硅片干燥完成后 关闭第一电机即可。

因为还包括有第二弹簧和压块，导套内的左右两侧均连接有第二弹簧，第二弹簧 的末端连接有压块。第二弹簧能够使压块一直与出气管接触，如此能够将出气管夹住固定， 从而能够防止第二喷头进入清洗箱内。

因为还包括有第一加强筋和第二加强筋，顶板的底部右侧与第一竖杆的左侧面下 部之间通过螺栓连接有第一加强筋，第一加强筋的右侧面中部与第一加强筋右侧的顶板底 部之间通过螺栓连接有第一加强筋。第一加强筋和第二加强筋起支撑作用，能够使顶板的 位置更加稳固，提高安全性。

因为还包括有吸盘，放置槽内的放置板上设有吸盘。将硅片放置在吸盘上，吸盘能 够将硅片吸住固定，如此能够防止硅片转动时从放置槽内移出。

因为还包括有叶片，清洗箱内的第一转轴上连接有两个叶片，两个叶片左右对称。 第一转轴转动叶片随之转动，叶片转动能够对清洗箱内的超纯水进行搅拌使超纯水转动， 超纯水转动能够对硅片进行冲洗，如此能够再进一步的提高清洗效率、能够进一步的提高 清洗效果。

（3）有益效果

本发明清洗装置能够对硅片进行清洗，并通过旋转装置使硅片转动从而使清洗装置能 够对全部的硅片进行清洗，从而达到了能够降低劳动强度、能够提高清洗效率、操作简单、 使用方便的效果。

图1为本发明的第一种主视结构示意图。

图2为本发明旋转装置的主视结构示意图。

图3为本发明放置板的俯视结构示意图。

图4为本发明清洗装置的主视结构示意图。

图5为本发明的第二种主视结构示意图。

图6为本发明喷洗装置的主视结构示意图。

图7为本发明的第三种主视结构示意图。

图8为本发明干燥装置的主视结构示意图。

图9为本发明导套的右视结构示意图。

图10为本发明的第四种主视结构示意图。

附图中的标记为：1-底板，2-支杆，3-清洗箱，4-第一出液管，5-第一阀门，6-旋转 装置，7-放置板，8-放置槽，9-第一竖杆，10-顶板，11-清洗装置，601-第一轴承座，602-第二 轴承座，603-第一转轴，604-第一齿轮，605-第一电机，606-第二齿轮，111-第二电机，112- 安装板，113-气缸，114-毛刷，12-喷洗装置，121-第三轴承座，122-第二转轴，123-第一皮带 轮，124-第二皮带轮，125-平皮带，126-储液箱，127-第一导孔，128-圆盘，129-连接杆， 1210-第一活塞，1211-进液管，1212-第一单向阀，1213-第二出液管，1214-第二单向阀， 1215-第二阀门，1216-第二竖杆，1217-第一喷头，13-干燥装置，131-缸体，132-第二导孔， 133-第一弹簧，134-推板，135-推杆，136-第二活塞，137-凸轮，138-进气管，139-第三单向 阀，1310-出气管，1311-第四单向阀，1312-导套，1313-第二喷头，14-第二弹簧，15-压块， 16-第一加强筋，17-第二加强筋，18-吸盘，19-叶片。

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。

实施例1

一种太阳能电池生产用硅片清洗装置，如图1-10所示，包括有底板1、支杆2、清洗箱3、 第一出液管4、第一阀门5、旋转装置6、放置板7、第一竖杆9、顶板10和清洗装置11，底板1顶 部的左右两侧均通过螺栓竖直连接有支杆2，两个支杆2的顶部之间通过螺栓连接有清洗箱 3，清洗箱3的顶部为敞口式设置，清洗箱3的左侧下部连接有第一出液管4，第一出液管4上 设有第一阀门5，底板1的底部中间设有旋转装置6，旋转装置6的旋转部件位于清洗箱3内， 旋转装置6的旋转部件上连接有放置板7，放置板7的顶部沿轴向均匀间隔的开有多个放置 槽8，清洗箱3的顶部右侧通过螺栓连接有第一竖杆9，第一竖杆9的顶部通过螺栓水平连接 有顶板10，顶板10的底部左侧设有清洗装置11。

实施例2

一种太阳能电池生产用硅片清洗装置，如图1-10所示，包括有底板1、支杆2、清洗箱3、 第一出液管4、第一阀门5、旋转装置6、放置板7、第一竖杆9、顶板10和清洗装置11，底板1顶 部的左右两侧均通过螺栓竖直连接有支杆2，两个支杆2的顶部之间通过螺栓连接有清洗箱 3，清洗箱3的顶部为敞口式设置，清洗箱3的左侧下部连接有第一出液管4，第一出液管4上 设有第一阀门5，底板1的底部中间设有旋转装置6，旋转装置6的旋转部件位于清洗箱3内， 旋转装置6的旋转部件上连接有放置板7，放置板7的顶部沿轴向均匀间隔的开有多个放置 槽8，清洗箱3的顶部右侧通过螺栓连接有第一竖杆9，第一竖杆9的顶部通过螺栓水平连接 有顶板10，顶板10的底部左侧设有清洗装置11。

旋转装置6包括有第一轴承座601、第二轴承座602、第一转轴603、第一齿轮604、第 一电机605和第二齿轮606，第一轴承座601通过螺栓安装在底板1的顶部中间，清洗箱3的底 部中间嵌入式的安装有第二轴承座602，第一轴承座601和第二轴承座602之间连接有第一 转轴603，第一转轴603通过过盈连接的方式与第一轴承座601和第二轴承座602的轴承连 接，放置板7的底部通过螺栓与第一转轴603的顶端连接，第一转轴603的下部外围通过平键 连接的方式连接有第一齿轮604，第一轴承座601右侧的底板1顶部通过螺栓安装有第一电 机605，第一电机605的输出轴通过联轴器连接有第二齿轮606。

实施例3

一种太阳能电池生产用硅片清洗装置，如图1-10所示，包括有底板1、支杆2、清洗箱3、 第一出液管4、第一阀门5、旋转装置6、放置板7、第一竖杆9、顶板10和清洗装置11，底板1顶 部的左右两侧均通过螺栓竖直连接有支杆2，两个支杆2的顶部之间通过螺栓连接有清洗箱 3，清洗箱3的顶部为敞口式设置，清洗箱3的左侧下部连接有第一出液管4，第一出液管4上 设有第一阀门5，底板1的底部中间设有旋转装置6，旋转装置6的旋转部件位于清洗箱3内， 旋转装置6的旋转部件上连接有放置板7，放置板7的顶部沿轴向均匀间隔的开有多个放置 槽8，清洗箱3的顶部右侧通过螺栓连接有第一竖杆9，第一竖杆9的顶部通过螺栓水平连接 有顶板10，顶板10的底部左侧设有清洗装置11。

旋转装置6包括有第一轴承座601、第二轴承座602、第一转轴603、第一齿轮604、第 一电机605和第二齿轮606，第一轴承座601通过螺栓安装在底板1的顶部中间，清洗箱3的底 部中间嵌入式的安装有第二轴承座602，第一轴承座601和第二轴承座602之间连接有第一 转轴603，第一转轴603通过过盈连接的方式与第一轴承座601和第二轴承座602的轴承连 接，放置板7的底部通过螺栓与第一转轴603的顶端连接，第一转轴603的下部外围通过平键 连接的方式连接有第一齿轮604，第一轴承座601右侧的底板1顶部通过螺栓安装有第一电 机605，第一电机605的输出轴通过联轴器连接有第二齿轮606。

清洗装置11包括有第二电机111、安装板112、气缸113和毛刷114，第二电机111通 过螺栓安装在顶板10的底部左侧，第二电机111的输出轴通过联轴器连接有安装板112，安 装板112的底部通过螺栓安装有气缸113，气缸113的伸缩杆上连接有毛刷114。

实施例4

一种太阳能电池生产用硅片清洗装置，如图1-10所示，包括有底板1、支杆2、清洗箱3、 第一出液管4、第一阀门5、旋转装置6、放置板7、第一竖杆9、顶板10和清洗装置11，底板1顶 部的左右两侧均通过螺栓竖直连接有支杆2，两个支杆2的顶部之间通过螺栓连接有清洗箱 3，清洗箱3的顶部为敞口式设置，清洗箱3的左侧下部连接有第一出液管4，第一出液管4上 设有第一阀门5，底板1的底部中间设有旋转装置6，旋转装置6的旋转部件位于清洗箱3内， 旋转装置6的旋转部件上连接有放置板7，放置板7的顶部沿轴向均匀间隔的开有多个放置 槽8，清洗箱3的顶部右侧通过螺栓连接有第一竖杆9，第一竖杆9的顶部通过螺栓水平连接 有顶板10，顶板10的底部左侧设有清洗装置11。

旋转装置6包括有第一轴承座601、第二轴承座602、第一转轴603、第一齿轮604、第 一电机605和第二齿轮606，第一轴承座601通过螺栓安装在底板1的顶部中间，清洗箱3的底 部中间嵌入式的安装有第二轴承座602，第一轴承座601和第二轴承座602之间连接有第一 转轴603，第一转轴603通过过盈连接的方式与第一轴承座601和第二轴承座602的轴承连 接，放置板7的底部通过螺栓与第一转轴603的顶端连接，第一转轴603的下部外围通过平键 连接的方式连接有第一齿轮604，第一轴承座601右侧的底板1顶部通过螺栓安装有第一电 机605，第一电机605的输出轴通过联轴器连接有第二齿轮606。

清洗装置11包括有第二电机111、安装板112、气缸113和毛刷114，第二电机111通 过螺栓安装在顶板10的底部左侧，第二电机111的输出轴通过联轴器连接有安装板112，安 装板112的底部通过螺栓安装有气缸113，气缸113的伸缩杆上连接有毛刷114。

还包括有喷洗装置12，清洗箱3右侧的底板1顶部设有喷洗装置12，喷洗装置12包 括有第三轴承座121、第二转轴122、第一皮带轮123、第二皮带轮124、平皮带125、储液箱 126、圆盘128、连接杆129、第一活塞1210、进液管1211、第一单向阀1212、第二出液管1213、 第二单向阀1214、第二阀门1215、第二竖杆1216和第一喷头1217，第三轴承座121通过螺栓 安装在清洗箱3右侧的底板1顶部，第三轴承座121上的轴承通过过盈连接的方式连接有第 二转轴122，第二转轴122的上部外围通过平键连接的方式连接有第一皮带轮123，第一齿轮 604上方的第一转轴603外围通过平键连接的方式连接有第二皮带轮124，第一皮带轮123和 第二皮带轮124之间连接有平皮带125，底板1的右侧面通过螺栓连接有储液箱126，储液箱 126的左侧面中部开有第一导孔127，第一皮带轮123的上侧连接有圆盘128，圆盘128顶部的 偏心位置上通过铰接部件铰接连接有连接杆129，连接杆129的右端穿过第一导孔127，并通 过铰接部件铰接连接有第一活塞1210，储液箱126的右侧上部连接有进液管1211，进液管 1211上设有第一单向阀1212，储液箱126的右侧下部连接有第二出液管1213，第二出液管 1213上设有第二单向阀1214和第二阀门1215，第二电机111右侧的顶板10顶部通过螺栓连 接有第二竖杆1216，第二竖杆1216的底端安装有第一喷头1217，第二出液管1213的末端与 第一喷头1217连接。

还包括有干燥装置13，底板1的底部左侧设有干燥装置13，干燥装置13包括有缸体 131、第一弹簧133、推板134、推杆135、第二活塞136、凸轮137、进气管138、第三单向阀139、 出气管1310、第四单向阀1311、导套1312和第二喷头1313，缸体131的底部通过螺栓与底板1 的底部左侧连接，缸体131位于左侧支杆2和第一转轴603之间，缸体131的右侧面中部开有 第二导孔132，第二导孔132上下两侧的缸体131右侧面连接有第一弹簧133，两个第一弹簧 133的右端之间连接有推板134，推板134的左侧面中部通过螺栓水平连接有推杆135，推杆 135的左端穿过第二导孔132，并连接有第二活塞136，第一齿轮604和第二皮带轮124之间的 第一转轴603外围通过平键连接的方式连接有凸轮137，凸轮137位于推板134的左侧，缸体 131的左侧上部连接有进气管138，进气管138上设有第三单向阀139，缸体131的左侧下部连 接有出气管1310，出气管1310上设有第四单向阀1311，清洗箱3的顶部左侧通过螺栓连接有 导套1312，第四单向阀1311的末端穿过导套1312并连接有第二喷头1313。

还包括有第二弹簧14和压块15，导套1312内的左右两侧均连接有第二弹簧14，第 二弹簧14的末端连接有压块15。

还包括有第一加强筋16和第二加强筋17，顶板10的底部右侧与第一竖杆9的左侧 面下部之间通过螺栓连接有第一加强筋16，第一加强筋16的右侧面中部与第一加强筋16右 侧的顶板10底部之间通过螺栓连接有第一加强筋16。

还包括有吸盘18，放置槽8内的放置板7上设有吸盘18。

还包括有叶片19，清洗箱3内的第一转轴603上连接有两个叶片19，两个叶片19左 右对称。

工作原理：人工将硅片放入放置槽8内，再将超纯水倒入清洗箱3内，然后启动清洗 装置11对硅片进行清洗，在启动清洗装置11时并启动旋转装置6，旋转装置6能够使放置板7 旋转，从而使硅片转动，进而使清洗装置11能够对全部的硅片进行清洗，硅片清洗完成后， 同时关闭旋转装置6和清洗装置11。随后人工在第一出液管4的下方放置一个容器，然后再 人工打开第一阀门5将清洗箱3内的超纯水全部排出，随后再将第一阀门5关闭，最后将硅片 取出即可。如此本发明通过清洗装置11能够对硅片进行清洗，并通过旋转装置6使硅片转动 从而使清洗装置11能够对全部的硅片进行清洗，因此本发明能够降低劳动强度、能够提高 清洗效率、操作简单、使用方便。

因为旋转装置6包括有第一轴承座601、第二轴承座602、第一转轴603、第一齿轮 604、第一电机605和第二齿轮606，第一轴承座601通过螺栓安装在底板1的顶部中间，清洗 箱3的底部中间嵌入式的安装有第二轴承座602，第一轴承座601和第二轴承座602之间连接 有第一转轴603，第一转轴603通过过盈连接的方式与第一轴承座601和第二轴承座602的轴 承连接，放置板7的底部通过螺栓与第一转轴603的顶端连接，第一转轴603的下部外围通过 平键连接的方式连接有第一齿轮604，第一轴承座601右侧的底板1顶部通过螺栓安装有第 一电机605，第一电机605的输出轴通过联轴器连接有第二齿轮606。所以人工启动第一电机 605使第二齿轮606转动，第二齿轮606转动使第一齿轮604转动，第一齿轮604转动第一转轴 603随之转动，如此能够使放置板7转动，从而能够使硅片转动，进而使清洗装置11能够对全 部的硅片进行清洗，硅片清洗完成后，关闭第一电机605即可。

因为清洗装置11包括有第二电机111、安装板112、气缸113和毛刷114，第二电机 111通过螺栓安装在顶板10的底部左侧，第二电机111的输出轴通过联轴器连接有安装板 112，安装板112的底部通过螺栓安装有气缸113，气缸113的伸缩杆上连接有毛刷114。所以 人工启动气缸113使毛刷114向下移动，当毛刷114与硅片接触时关闭气缸113，再人工启动 第二电机111使安装板112转动，安装板112转动气缸113和毛刷114随之转动，毛刷114转动 能够对硅片进行刷洗，在超纯水作用下能够将硅片清洗干净，当硅片全部清洗完成后关闭 第二电机111，然后启动气缸113使毛刷114向上移动复位，毛刷114复位后关闭气缸113即 可。

因为还包括有喷洗装置12，清洗箱3右侧的底板1顶部设有喷洗装置12，喷洗装置 12包括有第三轴承座121、第二转轴122、第一皮带轮123、第二皮带轮124、平皮带125、储液 箱126、圆盘128、连接杆129、第一活塞1210、进液管1211、第一单向阀1212、第二出液管 1213、第二单向阀1214、第二阀门1215、第二竖杆1216和第一喷头1217，第三轴承座121通过 螺栓安装在清洗箱3右侧的底板1顶部，第三轴承座121上的轴承通过过盈连接的方式连接 有第二转轴122，第二转轴122的上部外围通过平键连接的方式连接有第一皮带轮123，第一 齿轮604上方的第一转轴603外围通过平键连接的方式连接有第二皮带轮124，第一皮带轮 123和第二皮带轮124之间连接有平皮带125，底板1的右侧面通过螺栓连接有储液箱126，储 液箱126的左侧面中部开有第一导孔127，第一皮带轮123的上侧连接有圆盘128，圆盘128顶 部的偏心位置上通过铰接部件铰接连接有连接杆129，连接杆129的右端穿过第一导孔127， 并通过铰接部件铰接连接有第一活塞1210，储液箱126的右侧上部连接有进液管1211，进液 管1211上设有第一单向阀1212，储液箱126的右侧下部连接有第二出液管1213，第二出液管 1213上设有第二单向阀1214和第二阀门1215，第二电机111右侧的顶板10顶部通过螺栓连 接有第二竖杆1216，第二竖杆1216的底端安装有第一喷头1217，第二出液管1213的末端与 第一喷头1217连接。所以人工将超纯水经进液管1211注入储液箱126内，再人工打开第二阀 门1215。然后人工启动第一电机605从而使第一转轴603转动，第一转轴603转动第二皮带轮 124随之转动，第二皮带轮124随之转动通过平皮带125使第二皮带轮124转动。第二皮带轮 124转动圆盘128随之转动，圆盘128转动通过连接杆129能够使第一活塞1210不断的左右移 动，第一活塞1210不断的左右移动能够将储液箱126内的超纯水推入第二出液管1213内，超 纯水随后经第二出液管1213从第一喷头1217喷出，并喷向硅片。如此能够对硅片进行喷洗， 从而能够进一步的提高清洗效率，能够提高清洗效果。当硅片清洗完成后关闭第一电机 605，然后将第二阀门1215关闭即可。

因为还包括有干燥装置13，底板1的底部左侧设有干燥装置13，干燥装置13包括有 缸体131、第一弹簧133、推板134、推杆135、第二活塞136、凸轮137、进气管138、第三单向阀 139、出气管1310、第四单向阀1311、导套1312和第二喷头1313，缸体131的底部通过螺栓与 底板1的底部左侧连接，缸体131位于左侧支杆2和第一转轴603之间，缸体131的右侧面中部 开有第二导孔132，第二导孔132上下两侧的缸体131右侧面连接有第一弹簧133，两个第一 弹簧133的右端之间连接有推板134，推板134的左侧面中部通过螺栓水平连接有推杆135， 推杆135的左端穿过第二导孔132，并连接有第二活塞136，第一齿轮604和第二皮带轮124之 间的第一转轴603外围通过平键连接的方式连接有凸轮137，凸轮137位于推板134的左侧， 缸体131的左侧上部连接有进气管138，进气管138上设有第三单向阀139，缸体131的左侧下 部连接有出气管1310，出气管1310上设有第四单向阀1311，清洗箱3的顶部左侧通过螺栓连 接有导套1312，第四单向阀1311的末端穿过导套1312并连接有第二喷头1313。当将清洗箱3 内的超纯水全部排出后，人工启动第一电机605从而使第一转轴603转动，第一转轴603转动 凸轮137随之转动，凸轮137转动不断的击打推板134使推板134不断的左右移动，第一弹簧 133随之伸缩。推板134不断的左右移动通过推杆135能够使第二活塞136不断的左右移动， 第二活塞136向右移动能够将外界的空气经进气管138抽入缸体131内，第二活塞136向左移 动能够将缸体131内的空气经推入出气管1310内，空气再经出气管1310从第二喷头1313喷 出，如此能够将硅片上的水吹干，从而能够使硅片快速干燥，硅片干燥完成后关闭第一电机 605即可。

因为还包括有第二弹簧14和压块15，导套1312内的左右两侧均连接有第二弹簧 14，第二弹簧14的末端连接有压块15。第二弹簧14能够使压块15一直与出气管1310接触，如 此能够将出气管1310夹住固定，从而能够防止第二喷头1313进入清洗箱3内。

因为还包括有第一加强筋16和第二加强筋17，顶板10的底部右侧与第一竖杆9的 左侧面下部之间通过螺栓连接有第一加强筋16，第一加强筋16的右侧面中部与第一加强筋 16右侧的顶板10底部之间通过螺栓连接有第一加强筋16。第一加强筋16和第二加强筋17起 支撑作用，能够使顶板10的位置更加稳固，提高安全性。

因为还包括有吸盘18，放置槽8内的放置板7上设有吸盘18。将硅片放置在吸盘18 上，吸盘18能够将硅片吸住固定，如此能够防止硅片转动时从放置槽8内移出。

因为还包括有叶片19，清洗箱3内的第一转轴603上连接有两个叶片19，两个叶片 19左右对称。第一转轴603转动叶片19随之转动，叶片19转动能够对清洗箱3内的超纯水进 行搅拌使超纯水转动，超纯水转动能够对硅片进行冲洗，如此能够再进一步的提高清洗效 率、能够进一步的提高清洗效果。

以上所述实施例仅表达了本发明的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并 不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员 来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形、改进及替代，这些都属于本发 明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。