反应腔用冷却模组的制作方法

1.本实用新型涉及冷却设备技术领域，特别涉及一种反应腔用冷却模组。

背景技术：

2.在工业生产中，真空加工是一种常见的加工工艺，也就是说，在真空环境中进行加工，同时，由于许多真空加工都是在加热环境中进行的，例如，镀膜、蚀刻及表面改性等加工工艺，在加工过程中，需要进行散热，冷却模组可以用于对真空加工设备的反应腔进行散热，从而达到加快真空加工设备降温速度的效果。
3.然而，由于在真空环境下，热导率会下降，也就是说，真空环境下，热导率不如正常大气环境下，现有的反应腔用冷却模组结构存在结构复杂，散热效率低的问题，因此，需要提供一种结构简单且散热效率好的反应腔用冷却模组。

技术实现要素：

4.基于此，有必要提供一种反应腔用冷却模组。
5.本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种反应腔用冷却模组，包括：
6.连接板，所述连接板的外侧表面开设有进水孔及出水孔，所述连接板的中部开设有连通通道，所述进水孔及所述出水孔相互间隔设置，所述连通通道的两端分别与所述进水孔及所述出水孔连通，所述连接板的外侧表面开设有至少两个第一导通孔及至少两个第二导通孔，每一所述第一导通孔与一所述第二导通孔相互间隔设置，各所述第一导通孔及各所述第二导通孔分别与所述连通通道连通；及
7.至少两个冷却板，各所述冷却板分别与所述连接板连接，各所述冷却板环绕设置于所述连接板的外侧，每一所述冷却板的中部开设有一冷却水通道，每一所述冷却板的外侧表面设置有导入孔及导出孔，每一所述导入孔及每一所述导出孔分别与一所述冷却水通道的两端连通，每一所述导入孔与一所述第一导通孔连通，每一所述导出孔与一所述第二导通孔连通。
8.在一个实施例中，每一所述冷却板的外侧表面设置有一凸出块，各所述凸出块分别与所述连接板连接。
9.在一个实施例中，还包括至少两个进水管及至少两个出水管，每一所述进水管与一所述导入孔的内侧壁连接且与所述导入孔连通，每一所述出水管与一所述导出孔的内侧壁连接且与所述导出孔连通，每一所述进水管设置于一所述第一导通孔内且与所述第一导通孔连通，每一所述出水管设置于一所述第二导通孔内且与所述第二导通孔连通。
10.在一个实施例中，所述冷却板设置为两个，两个所述冷却板以所述连接板的对称中线呈镜面对称分布或以对称中线上中点位置的平面法线呈中心对称设置。
11.在一个实施例中，所述冷却水通道为环形状。
12.在一个实施例中，所述冷却板为铝冷却板。
13.在一个实施例中，所述连接板为铝连接板。
14.在一个实施例中，所述冷却板为黄铜冷却板。
15.在一个实施例中，所述连接板为黄铜连接板。
16.在一个实施例中，每一所述冷却板开设有一凹槽。
17.与现有技术相比，本实用新型至少具有以下优点：
18.本实用新型通过设置有连接板及多个冷却板，连接板可以用于连接各冷却板，冷却板环绕设置于连接板的外侧，且分别与连接板连接，连接板通过设置有进水孔及出水孔，可以用于与外部冷却水供水装置连通，同时，通过设置有连通通道，可以导通进水孔及出水孔，冷却板通过设置有冷却水通道，且冷却水通道分别与连通通道连通，如此，通过外部冷却水供应装置向进水孔导入冷却水，并通过连通通道导入各冷却板的冷却通道中，对各冷却板进行冷却，从而可以对安装于各冷却板上的真空加工设备进行冷却，且冷却水可以通过冷却通道回流导出至出水孔并排出至外部的回收装置进行回收利用，可以保证冷却水通道内的冷却水的冷却效果，散热效果好，且通过设置有多个冷却板，可以同时对多个真空加工设备进行冷却，各冷却水通道统一通过进水孔及出水孔导入及导出，避免分别设置多个进水孔及出水孔，结构简单紧凑，散热效率高。
附图说明
19.图1为一个实施例的反应腔用冷却模组的结构示意图；
20.图2为一个实施例的反应腔用冷却模组的立体分解结构示意图；
21.图3为一个实施例的反应腔用冷却模组的另一视角的立体分解结构示意图；
22.图4为一个实施例的反应腔用冷却模组的连接板的剖视结构示意图；
23.图5为一个实施例的反应腔用冷却模组的冷却板的剖视结构示意图。
具体实施方式
24.需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。以下将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型的技术方案做进一步描述，本实用新型不仅限于以下具体实施方式。
25.需要理解的是，实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件。在本实用新型的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
26.请参阅图1、图3、图4及图5，一个实施例中，提供反应腔用冷却模组10，包括连接板100及至少两个冷却板200。所述连接板100的外侧表面开设有进水孔110及出水孔120，所述连接板100的中部开设有连通通道130，所述进水孔110及所述出水孔120相互间隔设置，所述连通通道130的两端分别与所述进水孔110及所述出水孔120连通，所述连接板100的外侧表面开设有至少两个第一导通孔140及至少两个第二导通孔150，每一所述第一导通孔140与一所述第二导通孔150相互间隔设置，各所述第一导通孔140及各所述第二导通孔150分别与所述连通通道130连通。各所述冷却板200分别与所述连接板100连接，各所述冷却板
200环绕设置于所述连接板100的外侧，每一所述冷却板200的中部开设有一冷却水通道210，每一所述冷却板200的外侧表面设置有导入孔240及导出孔250，每一所述导入孔240及每一所述导出孔250分别与一所述冷却水通道210的两端连通，每一所述导入孔240与一所述第一导通孔140连通，每一所述导出孔250与一所述第二导通孔150连通。
27.需要说明的是，连接板100及各冷却板200均为平板状结构，各冷却板200环绕设置于连接板100的外侧，也就是说，连接板100设置于中部，连接板100可以用于连接各冷却板200，连接板100通过设置有进水孔110及出水孔120，可以分别用于与外部冷却水供水装置及回收装置连通，具体地，通过外部供水装置向进水孔110内导入冷却水，通过出水孔120将冷却水导出至外部回收装置，对冷却后的冷却水进行回收利用，同时，通过设置有连通通道130，连通通道130的两端分别与进水孔110及出水孔120连通，可以导通进水孔110及出水孔120，本实施例中，连通通道130开设于连接板100的中部，且沿着连接板100的周沿设置，如此，便于连通通道130更好地与各冷却水通道210连通，本实施例中，所述冷却水通道210为环形状。冷却板200的中部设置有冷却水通道210，且冷却通道为具有缺口的环形状，如此，可以冷却通道可以沿着冷却板200的周沿设置，可以将冷却水均匀导入冷却板200内，可以更加均匀地对冷却板200上的真空加工装置进行冷却，具体地，冷却水通道210分别与连通通道130连通，第一导通孔140的孔轴线及第二导通孔150的孔轴线垂直于连通通道设置，第一导通孔140及第二导通孔150延伸至连通通道且与连通通道130连通，同样地，导入孔240的孔轴线及导出孔250的孔轴线垂直于冷却水通道210设置，导入孔240及导出孔250延伸至冷却水通道210且与冷却水通道210连通，通过第一导通孔与导入孔240连通，第二导通孔与导出孔250连通，从而实现连通通道130与冷却水通道210的连通，如此，通过外部冷却水供应装置向进水孔110导入冷却水，并通过连通通道130导入各冷却板200的冷却通道中，对各冷却板200进行冷却，从而可以对安装于各冷却板200上的真空加工设备进行冷却，且冷却水可以通过冷却通道回流导出至出水孔120并排出至外部的回收装置进行回收利用，可以保证冷却水通道210内的冷却水的冷却效果，散热效果好，且通过设置有多个冷却板200，可以同时对多个真空加工设备进行冷却，各冷却水通道210统一通过进水孔110及出水孔120导入及导出，避免分别设置多个进水孔110及出水孔120，结构简单紧凑，散热效率高。
28.请参阅图1及图2，在一个实施例中，每一所述冷却板200的的外侧表面设置有一凸出块220，各所述凸出块220分别与所述连接板100连接。可以理解的，通过设置有凸出块220，凸出块220凸出于连接板100的侧壁设置，如此，可以用于与连接板100连接，避免冷却板200直接与连接板100连接，从而保证冷却板200用于与真空加工设备完全贴合，保证冷却板200的冷却面积，避免冷却水的冷却能量浪费，有利于提高冷却效果。
29.请参阅图2及图3，在一个实施例中，还包括至少两个进水管300及至少两个出水管400，每一所述进水管300与一所述导入孔240的内侧壁连接且与所述导入孔240连通，每一所述出水管400与一所述导出孔250的内侧壁连接且与所述导出孔250连通，各所述进水管300及各所述出水管400至少部分凸出于各所述凸出块220的侧面设置，每一所述进水管300设置于一所述第一导通孔内且与所述第一导通孔连通，每一所述出水管400设置于一所述第二导通孔内且与所述第二导通孔连通。可以理解的，通过在各凸出块220分别设置有一进水管300及出水管400，且进水管300及出水管400分别凸出于凸出块220设置，本实施例中，凸出块220通过开设有两个导通通道，进水管300及出水管400分别插设于两个导通通道内，
两个导通通道分别与冷却水通道210的两端相互连通，从而实现进水管300及出水管400分别与冷却水通道210的两端连通，进水管300及出水管400分别垂直于凸出块220设置，如此，可以在凸出块220上形成凸起结构，进水管300及出水管400不仅可以实现连通通道130与冷却水通道210之间的导通，还可以与连接板100的卡槽对应卡合，可以起到定位安装作用，从而将各冷却板200定位安装于连接板100上，防止各冷却板200随意移动，从而有利于冷却操作的正常进行。
30.在一个实施例中，所述冷却板200设置为两个，两个所述冷却板200以所述连接板100的对称中线呈镜面对称分布或以对称中线上中点位置的平面法线呈中心对称设置。可以理解的，本实施例中，冷却板200设置有两个，两个冷却板200左右对称安装于连接板100的左右两侧，具体地，两个冷却板200可以左右呈镜面对称设置，也可以左右呈中心对称设置，进水孔110及出水孔120左右相互间隔设置，如此，冷却水通过进水孔110导入后，可以依次通过连通通道130导入至左侧的冷却板200的冷却水通道210后导流至右侧的冷却板200的冷却水通道210，并回流至出水孔120，并通过出水孔120导出至冷却水回收装置进行回收，冷却板200数量适中，可以保证各冷却水通道210中的冷却水的温度相同，避免出现温度差值较大的情况，可以对安装于两个冷却板200上的真空加工设备进行同步冷却，实用性好。
31.在一个实施例中，所述冷却板200为铝冷却板。所述连接板100为铝连接板。可以理解的，冷却板200及连接板100均采用铝制备得到，铝具有优良的热传导效率，大大提高了冷却效率，且铝硬度较小，易于加工成型成任意形状，适用于工业化生产。在另一个实施例中，所述冷却板200为黄铜冷却板。所述连接板100为黄铜连接板。同样地，黄铜也为热传导效率良好的金属材料，有利于保证冷却效率，且材质较软，易于加工成型成任意形状，适用于工业化生产。
32.请参阅图1及图2，在一个实施例中，每一所述冷却板200开设有一凹槽230。可以理解的，冷却板200通过开设有凹槽230，可以大大增加冷却板200的表面积，具体地，凹槽230可以根据真空加工设备的形状进行设置，如此，可以使得真空加工设备部分容置于凹槽230内，可以更好地与冷却板200贴合，从而有利于冷却水的冷却能更加快速地传导至真空加工设备，大大提高了冷却效率。
33.在一个实施例中，每一所述冷却板200的横截面积由靠近所述凹槽230的一面向远离所述凹槽230的一面逐渐增大。可以理解的，通过将冷却板200设置为梯形状，不仅可以增大冷却板200的冷却面积，且可以增加冷却板200与具体工作平面的接触面积，有利于冷却板200更好地放置于具体的工作平面上，保证冷却操作的正常进行。
34.与现有技术相比，本实用新型至少具有以下优点：
35.本实用新型通过设置有连接板及多个冷却板，连接板可以用于连接各冷却板，冷却板环绕设置于连接板的外侧，且分别与连接板连接，连接板通过设置有进水孔及出水孔，可以用于与外部冷却水供水装置连通，同时，通过设置有连通通道，可以导通进水孔及出水孔，冷却板通过设置有冷却水通道，且冷却水通道分别与连通通道连通，如此，通过外部冷却水供应装置向进水孔导入冷却水，并通过连通通道导入各冷却板的冷却通道中，对各冷却板进行冷却，从而可以对安装于各冷却板上的真空加工设备进行冷却，且冷却水可以通过冷却通道回流导出至出水孔并排出至外部的回收装置进行回收利用，可以保证冷却水通
道内的冷却水的冷却效果，散热效果好，且通过设置有多个冷却板，可以同时对多个真空加工设备进行冷却，各冷却水通道统一通过进水孔及出水孔导入及导出，避免分别设置多个进水孔及出水孔，结构简单紧凑，散热效率高。
36.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

技术特征：

1.一种反应腔用冷却模组，其特征在于，包括：连接板，所述连接板的外侧表面开设有进水孔及出水孔，所述连接板的中部开设有连通通道，所述进水孔及所述出水孔相互间隔设置，所述连通通道的两端分别与所述进水孔及所述出水孔连通，所述连接板的外侧表面开设有至少两个第一导通孔及至少两个第二导通孔，每一所述第一导通孔与一所述第二导通孔相互间隔设置，各所述第一导通孔及各所述第二导通孔分别与所述连通通道连通；及至少两个冷却板，各所述冷却板分别与所述连接板连接，各所述冷却板环绕设置于所述连接板的外侧，每一所述冷却板的中部开设有一冷却水通道，每一所述冷却板的外侧表面设置有导入孔及导出孔，每一所述导入孔及每一所述导出孔分别与一所述冷却水通道的两端连通，每一所述导入孔与一所述第一导通孔连通，每一所述导出孔与一所述第二导通孔连通。2.根据权利要求1所述的反应腔用冷却模组，其特征在于，每一所述冷却板的外侧表面设置有一凸出块，各所述凸出块分别与所述连接板连接。3.根据权利要求2所述的反应腔用冷却模组，其特征在于，还包括至少两个进水管及至少两个出水管，每一所述进水管与一所述导入孔的内侧壁连接且与所述导入孔连通，每一所述出水管与一所述导出孔的内侧壁连接且与所述导出孔连通，每一所述进水管设置于一所述第一导通孔内且与所述第一导通孔连通，每一所述出水管设置于一所述第二导通孔内且与所述第二导通孔连通。4.根据权利要求1所述的反应腔用冷却模组，其特征在于，所述冷却板设置为两个，两个所述冷却板以所述连接板的对称中线呈镜面对称分布或以对称中线上中点位置的平面法线呈中心对称设置。5.根据权利要求1所述的反应腔用冷却模组，其特征在于，所述冷却水通道为环形状。6.根据权利要求1-5任一项中所述的反应腔用冷却模组，其特征在于，所述冷却板为铝冷却板。7.根据权利要求1-5任一项中所述的反应腔用冷却模组，其特征在于，所述连接板为铝连接板。8.根据权利要求1-5任一项中所述的反应腔用冷却模组，其特征在于，所述冷却板为黄铜冷却板。9.根据权利要求1-5任一项中所述的反应腔用冷却模组，其特征在于，所述连接板为黄铜连接板。10.根据权利要求1-5任一项中所述的反应腔用冷却模组，其特征在于，每一所述冷却板开设有一凹槽。

技术总结

一种反应腔用冷却模组，包括：连接板及至少两个冷却板，连接板的一面开设有进水孔及出水孔，连接板的中部开设有连通通道，进水孔及出水孔相互间隔设置，连通通道的两端分别与进水孔及出水孔连通，各冷却板分别与连接板连接，各冷却板环绕设置于连接板的外侧，每一冷却板开设有一冷却水通道，冷却水通道的两端分别与连通通道连通。向进水孔导入冷却水，通过连通通道导入各冷却板的冷却通道中，对各冷却板进行冷却，对安装于各冷却板上的反应腔进行冷却，且冷却水通过出水孔并排出，保证冷却水通道内的冷却水的冷却效果，散热效果好，同时对多个真空加工设备进行冷却，各冷却水通道统一通过进水孔及出水孔导入及导出，结构简单紧凑，散热效率高。散热效率高。散热效率高。