一种晶圆盒注塑原料干燥装置的制作方法



1.本实用新型涉及晶圆片运输盒制造技术领域,具体涉及到一种晶圆盒注塑原料干燥装置。


背景技术:



2.晶圆片在清洗、存储以及转运等过程中都需要用到晶圆盒进行包装,晶圆盒通常是使用pp料注塑制成,在注塑前需要对pp料进行干燥,现有技术中通常是将pp料投放到干燥桶内进行加热烘干,但是由于pp料堆集在干燥桶内,温度是从pp料堆的外侧逐渐向内侧扩散,位于pp料堆内部区域的部分干燥缓慢,因此完全干燥需要等待的时间较长,工作效率低。


技术实现要素:



3.为了解决上述现有技术中的不足之处,本实用新型提出一种晶圆盒注塑原料干燥装置。
4.为了实现上述技术效果,本实用新型采用如下方案:
5.一种晶圆盒注塑原料干燥装置,包括卧式干燥箱所述卧式干燥箱的截面呈水平放置的圆柱形,所述卧式干燥箱内水平设置有一根搅拌轴,所述搅拌轴的两端分别与卧式干燥箱两端内壁转动连接,所述搅拌轴的一端穿透卧式干燥箱的内壁连接旋转电机,所述搅拌轴上沿着搅拌轴的长度均匀分布有若干搅拌板,所述搅拌板的一端与搅拌轴固定连接,所述搅拌板的另一端贴近卧式干燥箱的内壁设置,所述卧式干燥箱的外侧设有投料斗,所述投料斗的下端设有投料口,所述投料口连接下料管的上端,所述下料管倾斜设置,所述下料管的下端与卧式干燥箱的一端连接并与卧式干燥箱的内部连通,所述卧式干燥箱侧壁的上端设有若干贯穿卧式干燥箱侧壁的通风口,若干通风口沿着卧式干燥箱的长度方向均匀分布,所述卧式干燥箱侧壁的上端固定设有罩住若干通风口设置的通风罩,所述通风罩的上端连接有进风管,所述进风管连接加热箱,所述加热箱内设有若干电热管,所述加热箱连接风箱,所述风箱内设有风扇组件,所述风箱连接空气除尘器,所述空气除尘器连接引风管,所述卧式干燥箱上设有出气口,所述卧式干燥箱侧壁的下端设有贯穿卧式干燥箱侧壁的下料口,所述下料口呈条形状,所述下料口的长度沿着卧式干燥箱的长度设置,所述卧式干燥箱侧壁的下端铰接设有盖住下料口的挡板,所述挡板的形状与卧式干燥箱的侧壁相匹配,所述挡板的长度沿着下料口的长度设置,所述挡板的一侧边与卧式干燥箱铰接,所述挡板的另一侧边与气缸的伸缩杆相铰接,所述气缸位于挡板的下方并且倾斜设置。
6.优选的技术方案,所述搅拌板的平面垂直于搅拌方向设置,所述搅拌板的一侧面凹陷设有圆弧槽,所述圆弧槽的长度方向沿着搅拌板的长度方向设置,所述圆弧槽位于搅拌板朝向搅拌方向的一侧面上。
7.优选的技术方案,所述通风罩内设有圆弧罩,所述圆弧罩的截面呈圆弧形,所述圆弧罩朝上拱起,所述圆弧罩固定罩设在卧式干燥箱的侧壁上,若干通风口均位于圆弧罩内,
所述圆弧罩的中心与进风管相对应,所述圆弧罩上设有若干调节孔,所述调节孔贯穿圆弧罩设置,若干调节孔由圆弧罩的中心朝向四周逐渐密集分布。
8.优选的技术方案,所述投料口通过竖直设置的预热管与下料管的上端连接,所述预热管的直径大于投料口的直径,所述进风管通过连通管与预热管连通。
9.优选的技术方案,所述空气除尘器包括除尘盒,所述除尘盒的一端与风箱连接,所述除尘盒的另一端与引风管连接,所述除尘盒内沿着空气的流动方向依次设有若干防尘网。
10.优选的技术方案,所述挡板与卧式干燥箱相贴的一侧面固定设有橡胶层。
11.与现有技术相比,有益效果为:
12.本实用新型结构简单,使用方便,将pp料通过投料斗投入到干燥箱内,风扇组件带动空气流动,通过加热箱加热后吹入到干燥箱内对干燥箱内的pp料进行加热烘干,为了使pp料受热均匀夹块烘干的速度,在烘干的过程中搅拌轴带动搅拌板对pp料进行搅拌,使其均匀受热,通过此方式大大加快了烘干的速度,提升了工作效率。
附图说明
13.图1是本实用新型结构示意图;
14.图2是本实用新型中卧式干燥箱侧面示意图;
15.图3是本实用新型中搅拌板截面示意图。
16.附图标记:1、卧式干燥箱;2、搅拌轴;3、搅拌板;4、旋转电机;5、投料斗;6、投料口;7、预热管;8、下料管;9、通风罩;10、圆弧罩;11、调节孔;12、通风孔;13、出气口;14、进风管;15、加热箱;16、风箱;17、风扇组件;18、除尘盒;19、防尘网;20、引风管;21、连通管;22、下料口; 23、挡板;24、气缸;25、圆弧槽。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
18.一种晶圆盒注塑原料干燥装置,包括卧式干燥箱1,所述卧式干燥箱1的截面呈水平放置的圆柱形,所述卧式干燥箱1内水平设置有一根搅拌轴2,所述搅拌轴2的两端分别与卧式干燥箱1两端内壁转动连接,所述搅拌轴2的一端穿透卧式干燥箱1的内壁连接旋转电机4,通过旋转电机4带动搅拌轴2转动,所述搅拌轴2上沿着搅拌轴2的长度均匀分布有若干搅拌板3,搅拌板3用于翻动卧式干燥箱1内的pp料,所述搅拌板3的一端与搅拌轴2固定连接,所述搅拌板3的另一端贴近卧式干燥箱1的内壁设置,使搅拌板3的搅拌范围较大,所述卧式干燥箱1的外侧设有投料斗5,所述投料斗5的下端设有投料口6,所述投料口6连接下料管8的上端,所述下料管8倾斜设置,所述下料管8的下端与卧式干燥箱1的一端连接并与卧式干燥箱1的内部连通,将pp料投入到投料斗5内,并顺着投料口6以及下料管8进入到卧式干燥箱1内,所述卧式干燥箱1侧壁的上端设有若干贯穿卧式干燥箱1侧壁的通风口12,若干通风口12沿着卧式干燥箱1的长度方向均匀分布,所述卧式干燥箱1侧壁的上端固定设有罩住若干通风口12设置的通风罩9,所述通风罩9的上端连接进风管14的一端,所述进风管14
的另一端连接加热箱15的一端,所述加热箱15内设有若干电热管,通过电热管通过加热箱15的空气进行加热,所述加热箱15的另一端连接风箱16的一端,所述风箱16内设有风扇组件17,通过风扇组件17带动空气流动,所述风箱16的另一端连接空气除尘器,所述空气除尘器连接引风管20,空气通过引风管20进入到空气除尘器内进行除尘,然后通过风箱16后进入到加热箱15内进行加热,再经过进风管14进入到通风罩9内并经过通风口12吹入到卧式干燥箱1内对pp料进行烘干,所述卧式干燥箱1上设有出气口13,所述卧式干燥箱1侧壁的下端设有贯穿卧式干燥箱1侧壁的下料口22,所述下料口 22呈条形状,所述下料口22的长度沿着卧式干燥箱1的长度设置,所述卧式干燥箱1侧壁的下端铰接设有盖住下料口22的挡板23,所述挡板23的形状与卧式干燥箱1的侧壁相匹配,所述挡板23的长度沿着下料口22的长度设置,所述挡板23的一侧边与卧式干燥箱1铰接,所述挡板23的另一侧边与气缸24的伸缩杆相铰接,所述气缸24位于挡板23的下方并且倾斜设置,在卧式干燥箱1 内有pp料时,气缸24推动挡板23盖在卧式干燥箱1上封闭下料口22,当烘干完成后,气缸24驱动挡板23转动打开下料口22,卧式干燥箱1内的pp料从下料口22排出。
19.优选的技术方案,所述搅拌板3的平面垂直于搅拌方向设置,所述搅拌板3 的一侧面凹陷设有圆弧槽25,所述圆弧槽25的长度方向沿着搅拌板3的长度方向设置,所述圆弧槽25位于搅拌板3朝向搅拌方向的一侧面上。
20.pp料堆集在卧式干燥箱1的底部,搅拌板3经过进行搅动时,pp料由于重力惯性从搅拌板3上滑落,依然位于料堆中,因此搅拌的效果有限,通过本方案,利用圆弧槽25,在搅拌板3经过pp料堆时,能将pp料铲起,当搅拌板3 转动至料堆上方逐渐竖起时,圆弧槽25内的pp料朝下洒落回到料堆内,在洒落的过程中,增大了pp料与热空气的接触面积,大大加快了烘干的速率。
21.优选的技术方案,所述通风罩9内设有圆弧罩10,所述圆弧罩10的截面呈圆弧形,所述圆弧罩10朝上拱起,所述圆弧罩10固定罩设在卧式干燥箱1的侧壁上,若干通风口12均位于圆弧罩10内,所述圆弧罩10上设有若干调节孔 11,所述调节孔11贯穿圆弧罩10设置,若干调节孔11由圆弧罩10的中心朝向四周逐渐密集分布,进风管14与圆弧罩10的中心相对应。
22.从进风管14吹入的热风都集中在一条线上,通过通风口12进入到卧式干燥箱1内后分布不均匀,本方案通过圆弧罩10进行调节,热风吹在圆弧罩10 上,会沿着圆弧罩10朝向四周扩散,然后通过调节孔11后经过通风口12进入到卧式干燥箱1内,使卧式干燥箱1内的热风均匀分布,并且由于热风罩的中心直接接受进风管14吹进的热风,因此热风罩中心的风量较大,然后朝向四周逐渐减小,通过有热风罩中心朝向四周逐渐密集设置的调节孔11,进一步的将热风量逐渐向四周分散,进一步将进入到卧式干燥箱1内的热风调节均匀。
23.优选的技术方案,所述投料口6通过竖直设置的预热管7与下料管8的上端连接,所述预热管7的直径大于投料口6的直径,所述进风管14通过连通管 21与预热管7连通,投料口6处的pp料通过预热管7掉落到下料管8内,通过连通管21将进风管14内的热风导向预热管7内,对预热管7内掉落的下料管8 进行初步烘干,提高烘干效率。
24.优选的技术方案,所述空气除尘器包括除尘盒18,所述除尘盒18的一端与风箱16连接,所述除尘盒18的另一端与引风管20连接,所述除尘盒18内沿着空气的流动方向依次设有若干防尘网19,空气从引风管20经过除尘盒18进入风箱16时,空气依次通过若干防尘
网19,通过若干防尘网19将空气中的灰尘过滤掉。
25.优选的技术方案,所述挡板23与卧式干燥箱1相贴的一侧面固定设有橡胶层,通过橡胶层能提高挡板关闭下料口22的效果。
26.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
27.此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
28.基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

技术特征:


1.一种晶圆盒注塑原料干燥装置,其特征在于,包括卧式干燥箱,所述卧式干燥箱的截面呈水平放置的圆柱形,所述卧式干燥箱内水平设置有一根搅拌轴,所述搅拌轴的两端分别与卧式干燥箱两端内壁转动连接,所述搅拌轴的一端穿透卧式干燥箱的内壁连接旋转电机,所述搅拌轴上沿着搅拌轴的长度均匀分布有若干搅拌板,所述搅拌板的一端与搅拌轴固定连接,所述搅拌板的另一端贴近卧式干燥箱的内壁设置,所述卧式干燥箱的外侧设有投料斗,所述投料斗的下端设有投料口,所述投料口连接下料管的上端,所述下料管倾斜设置,所述下料管的下端与卧式干燥箱的一端连接并与卧式干燥箱的内部连通,所述卧式干燥箱侧壁的上端设有若干贯穿卧式干燥箱侧壁的通风口,若干通风口沿着卧式干燥箱的长度方向均匀分布,所述卧式干燥箱侧壁的上端固定设有罩住若干通风口设置的通风罩,所述通风罩的上端连接有进风管,所述进风管连接加热箱,所述加热箱内设有若干电热管,所述加热箱连接风箱,所述风箱内设有风扇组件,所述风箱连接空气除尘器,所述空气除尘器连接引风管,所述卧式干燥箱上设有出气口,所述卧式干燥箱侧壁的下端设有贯穿卧式干燥箱侧壁的下料口,所述下料口呈条形状,所述下料口的长度沿着卧式干燥箱的长度设置,所述卧式干燥箱侧壁的下端铰接设有盖住下料口的挡板,所述挡板的形状与卧式干燥箱的侧壁相匹配,所述挡板的长度沿着下料口的长度设置,所述挡板的一侧边与卧式干燥箱铰接,所述挡板的另一侧边与气缸的伸缩杆相铰接,所述气缸位于挡板的下方并且倾斜设置。2.如权利要求1所述的晶圆盒注塑原料干燥装置,其特征在于,所述搅拌板的平面垂直于搅拌方向设置,所述搅拌板的一侧面凹陷设有圆弧槽,所述圆弧槽的长度方向沿着搅拌板的长度方向设置,所述圆弧槽位于搅拌板朝向搅拌方向的一侧面上。3.如权利要求1所述的晶圆盒注塑原料干燥装置,其特征在于,所述通风罩内设有圆弧罩,所述圆弧罩的截面呈圆弧形,所述圆弧罩朝上拱起,所述圆弧罩固定罩设在卧式干燥箱的侧壁上,若干通风口均位于圆弧罩内,所述圆弧罩的中心与进风管相对应,所述圆弧罩上设有若干调节孔,所述调节孔贯穿圆弧罩设置,若干调节孔由圆弧罩的中心朝向四周逐渐密集分布。4.如权利要求1所述的晶圆盒注塑原料干燥装置,其特征在于,所述投料口通过竖直设置的预热管与下料管的上端连接,所述预热管的直径大于投料口的直径,所述进风管通过连通管与预热管连通。5.如权利要求1所述的晶圆盒注塑原料干燥装置,其特征在于,所述空气除尘器包括除尘盒,所述除尘盒的一端与风箱连接,所述除尘盒的另一端与引风管连接,所述除尘盒内沿着空气的流动方向依次设有若干防尘网。6.如权利要求1所述的晶圆盒注塑原料干燥装置,其特征在于,所述挡板与卧式干燥箱相贴的一侧面固定设有橡胶层。

技术总结


本实用新型公开一种晶圆盒注塑原料干燥装置,包括卧式干燥箱,卧式干燥箱内水平设置有一根搅拌轴,搅拌轴连接旋转电机,搅拌轴上有若干搅拌板,卧式干燥箱的外侧设有投料斗,卧式干燥箱的上端设有若干通风口,卧式干燥箱的上端设有罩住若干通风口的通风罩,通风罩通过进风管连接加热箱,加热箱内设有电热管,加热箱连接风箱,风箱内设有风扇组件,风箱通过空气除尘器连接引风管,卧式干燥箱的下端设有下料口,下料口处铰接设有挡板,通过本实用新型使PP料均匀受热,通过此方式大大加快了烘干的速度,提升了工作效率。提升了工作效率。提升了工作效率。


技术研发人员:

洪巧水 粘怡达 孟余红

受保护的技术使用者:

荣耀半导体材料(嘉善)有限公司

技术研发日:

2022.05.25

技术公布日:

2023/2/9

本文发布于:2024-09-25 00:32:00,感谢您对本站的认可!

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