一种MO源灌装容器余料的回收处理装置的制作方法

一种mo源灌装容器余料的回收处理装置
技术领域
1.本实用新型涉及mo源灌装容器余料的回收处理装置领域，特别涉及一种mo源灌装容器余料的回收处理装置。

背景技术：

2.mo源即高纯金属有机化合物，是先进的金属有机化学气相沉积(简称mocvd)、金属有机分子束外延(简称mombe)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料。由于mo源产品要求纯度极高，而绝大多数mo源化合物对氧气、水汽极其敏感，遇空气可发生自燃，遇水可发生爆炸，且毒性大，所以mo源的研制是集极端条件下的合成制备、超纯纯化、超纯分析、超纯灌装等于一体的高新技术。
3.mo源需要储存在一个对洁净度、密封性具有较高要求的惰性气体保护的容器罐(即mo源灌装容器)中。目前，mo源的包装一般采用钢瓶盛装，钢瓶的材质一般为316l不锈钢，其内部进行镜面抛光。在常温下，mo源为固体颗粒，mo源在mocvd机台使用后，需要对使用完后的mo源灌装容器内的余料进行回收处理，以便于mo源灌装容器的再次充装。
4.为了提高效率，增加安全性，目前mo源余料进行回收处理时，先通过正向惰性气体管路正向打入惰性气体，利用惰性气体将管路中的空气排出，防止mo源与氧气接触，然后抽真空，再利用惰性气体产生的压力将溶剂罐中的有机溶剂逐步注入各个mo源灌装容器，以对所有mo源灌装容器中的mo源进行溶解，然后通过反向惰性气体管路反向打入惰性气体，并利用惰性气体产生的压力将各个mo源灌装容器中溶解有mo源的有机溶剂排入溶剂罐中，以实现mo源的回收处理和mo源灌装容器的清理。但是该种处理装置中的溶剂罐和处理罐一般不便于了解内部溶剂的量，并且溶剂罐和处理罐较大且裸露，容易积累灰尘，难以清理，影响美观以及使用。
5.在中国实用新型专利申请号：cn201920176888.2中公开了一种mo源灌装容器余料的回收处理装置，该装置包括通过管路连通的溶剂罐、处理罐和mo源灌装容器，管路包括正向惰性气体管路、回收处理管路和反向惰性气体管路，溶剂罐与处理罐之间通过回收处理管路连接有多个mo源灌装容器，溶剂罐中装有有机溶剂，溶剂罐的进气口连接有正向惰性气体管路，正向惰性气体管路上连接有惰性气体控制阀和真空控制阀，处理罐的进气口连接有反向惰性气体管路，对应于溶剂罐、处理罐和每个mo源灌装容器，管路上分别设有进气阀、出气阀和中间控制阀。但是该种处理装置中的溶剂罐和处理罐一般不便于了解内部溶剂的量，并且溶剂罐和处理罐较大且裸露，容易积累灰尘，难以清理，影响美观以及使用。
6.因此，提出一种mo源灌装容器余料的回收处理装置来解决上述问题很有必要。

技术实现要素：

7.本实用新型的主要目的在于提供一种mo源灌装容器余料的回收处理装置，可以有效解决背景技术中的问题。
8.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
9.一种mo源灌装容器余料的回收处理装置，包括溶剂罐、mo源灌装容器、处理罐、正向惰性气体管路、回收处理管路、反向惰性气体管路，所述溶剂罐和处理罐的外侧中部竖直嵌设有透明刻度板，所述溶剂罐和处理罐左右两侧的下端均对称固定连接有底板，所述底板的顶部竖直固定连接有立柱，所述溶剂罐和处理罐的两侧外端均分别设置有第一半圆环和第二半圆环，所述第一半圆环和第二半圆环的相对一侧内壁均设置有清扫刷，所述第一半圆环和第二半圆环相背一侧的中部均固定连接有把手；
10.所述第一半圆环和第二半圆环相靠近一端的前后两侧均固定连接有固定块，所述第一半圆环和第二半圆环的相远离一端均开设有通孔，所述立柱的顶部开设有插槽，所述插槽的内腔插设有插柱，所述插柱的顶部固定连接有顶板，所述顶板底部远离插柱的一端固定连接有第一卡块，所述插柱的前后两侧对称插设有第二卡块。
11.优选的，所述透明刻度板略小于溶剂罐和处理罐的高度，并且透明刻度板的外侧与溶剂罐和处理罐的外壁平齐。
12.优选的，所述立柱为圆柱形，所述通孔为圆形，所述第一半圆环和第二半圆环通过通孔滑动套设于立柱的外部。
13.优选的，所述第一半圆环和第二半圆环的尺寸相同，所述清扫刷的内侧与溶剂罐和处理罐的外部紧密接触且滑动配合，所述第一半圆环和第二半圆环两端的固定块通过螺栓固定连接。
14.优选的，所述插柱与插槽滑动配合，所述第二卡块与插柱滑动配合，并且第二卡块与插柱的内部之间设置有弹性件，所述插槽内腔的两侧对称开设有与第二卡块适配的二号卡槽，并且所述第二卡块与二号卡槽卡接配合。
15.优选的，所述溶剂罐和处理罐顶部的两端开设有与第一卡块适配的一号卡槽，并且所述第一卡块与一号卡槽卡接配合。
16.有益效果
17.与现有技术相比，本实用新型提供了一种mo源灌装容器余料的回收处理装置，具备以下有益效果：
18.1、该mo源灌装容器余料的回收处理装置，通过设置的透明刻度板便于随时了解溶剂罐和处理罐中溶剂的量，便于工作人员实施操作，第一半圆环、第二半圆环、清扫刷、立柱、把手的配合设置便于对溶剂罐、处理罐、透明刻度板的外侧进行清扫，避免了灰尘的积累，操作方便。
19.2、该mo源灌装容器余料的回收处理装置，通过设置的固定块、螺栓、顶板、第一卡块、插槽、插柱、第二卡块、一号卡槽、二号卡槽的相互配合便于第二半圆环和清扫刷的拆卸，进而便于对清扫刷进行拆卸更换或清洁，操作方便，增加了实用性。
附图说明
20.图1是本实用新型的结构示意图；
21.图2是本实用新型溶剂罐的结构示意图；
22.图3是本实用新型第一半圆环、第二半圆环的俯视结构示意图；
23.图4是本实用新型顶板和立柱拆分开的结构示意图。
24.图中：1、溶剂罐；2、mo源灌装容器；3、处理罐；4、正向惰性气体管路；5、回收处理管
路；6、反向惰性气体管路；7、透明刻度板；8、底板；9、立柱；10、顶板；11、第一半圆环；12、第二半圆环；13、清扫刷；14、把手；15、通孔；16、固定块；17、螺栓；18、第一卡块；19、插槽；20、插柱；21、第二卡块。
具体实施方式
25.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
26.如图1-4所示，一种mo源灌装容器余料的回收处理装置，包括溶剂罐1、mo源灌装容器2、处理罐3、正向惰性气体管路4、回收处理管路5、反向惰性气体管路6，溶剂罐1和处理罐3的外侧中部竖直嵌设有透明刻度板7，透明刻度板7略小于溶剂罐1和处理罐3的高度，并且透明刻度板7的外侧与溶剂罐1和处理罐3的外壁平齐，通过设置的透明刻度板7便于随时了解溶剂罐1和处理罐3中溶剂的量，便于工作人员实施操作，溶剂罐1和处理罐3左右两侧的下端均对称固定连接有底板8，底板8的顶部竖直固定连接有立柱9，溶剂罐1和处理罐3的两侧外端均分别设置有第一半圆环11和第二半圆环12，第一半圆环11和第二半圆环12的尺寸相同，第一半圆环11和第二半圆环12的相对一侧内壁均设置有清扫刷13，清扫刷13的内侧与溶剂罐1和处理罐3的外部紧密接触且滑动配合，第一半圆环11和第二半圆环12相背一侧的中部均固定连接有把手14，第一半圆环11、第二半圆环12、清扫刷13、立柱9、把手14的配合设置便于对溶剂罐1、处理罐3、透明刻度板7的外侧进行清扫，避免了灰尘的积累，操作方便；
27.第一半圆环11和第二半圆环12相靠近一端的前后两侧均固定连接有固定块16，第一半圆环11和第二半圆环12两端的固定块16通过螺栓17固定连接，第一半圆环11和第二半圆环12的相远离一端均开设有通孔15，立柱9为圆柱形，通孔15为圆形，第一半圆环11和第二半圆环12通过通孔15滑动套设于立柱9的外部，立柱9的顶部开设有插槽19，插槽19的内腔插设有插柱20，插柱20与插槽19滑动配合，插柱20的顶部固定连接有顶板10，顶板10底部远离插柱20的一端固定连接有第一卡块18，溶剂罐1和处理罐3顶部的两端开设有与第一卡块18适配的一号卡槽，并且第一卡块18与一号卡槽卡接配合，插柱20的前后两侧对称插设有第二卡块21，第二卡块21与插柱20滑动配合，并且第二卡块21与插柱20的内部之间设置有弹性件，插槽19内腔的两侧对称开设有与第二卡块21适配的二号卡槽，并且第二卡块21与二号卡槽卡接配合，通过设置的固定块16、螺栓17、顶板10、第一卡块18、插槽19、插柱20、第二卡块21、一号卡槽、二号卡槽的相互配合便于第二半圆环12和清扫刷13的拆卸，进而便于对清扫刷13进行拆卸更换或清洁，操作方便，增加了实用性。
28.需要说明的是，本实用新型为一种mo源灌装容器余料的回收处理装置，使用时透明刻度板7便于随时了解溶剂罐1和处理罐3中溶剂的量，便于工作人员实施操作，第一半圆环11、第二半圆环12、清扫刷13、立柱9、把手14的配合设置便于对溶剂罐1、处理罐3、透明刻度板7的外侧进行清扫，具体的，工作人员只需通过把手14上下拉动第一半圆环11和第二半圆环12组成的整体，清扫刷13会对溶剂罐1、处理罐3、透明刻度板7的外侧清扫，通孔15和立柱9进行导向，避免了灰尘的积累，操作方便，在固定块16、螺栓17、顶板10、第一卡块18、插槽19、插柱20、第二卡块21、一号卡槽、二号卡槽的相互配合便于第二半圆环12和清扫刷13的拆卸，具体的，拆卸时向上拉动顶板10，第一卡块18从一号卡槽脱离，插柱20从插槽19内
腔向上位移，第二卡块21受到压力压缩弹性件，然后从二号卡槽脱离，最后将第一半圆环11和第二半圆环12从立柱9的上端取下，松解螺栓17即可，进而便于对清扫刷13进行拆卸更换或清洁，操作方便，增加了实用性，对于溶剂罐1、mo源灌装容器2、处理罐3、正向惰性气体管路4、回收处理管路5、反向惰性气体管路6以及如何回收余料均为现有技术，不做过多的赘述。
29.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：

1.一种mo源灌装容器余料的回收处理装置，包括溶剂罐(1)、mo源灌装容器(2)、处理罐(3)、正向惰性气体管路(4)、回收处理管路(5)、反向惰性气体管路(6)，其特征在于：所述溶剂罐(1)和处理罐(3)的外侧中部竖直嵌设有透明刻度板(7)，所述溶剂罐(1)和处理罐(3)左右两侧的下端均对称固定连接有底板(8)，所述底板(8)的顶部竖直固定连接有立柱(9)，所述溶剂罐(1)和处理罐(3)的两侧外端均分别设置有第一半圆环(11)和第二半圆环(12)，所述第一半圆环(11)和第二半圆环(12)的相对一侧内壁均设置有清扫刷(13)，所述第一半圆环(11)和第二半圆环(12)相背一侧的中部均固定连接有把手(14)；所述第一半圆环(11)和第二半圆环(12)相靠近一端的前后两侧均固定连接有固定块(16)，所述第一半圆环(11)和第二半圆环(12)的相远离一端均开设有通孔(15)，所述立柱(9)的顶部开设有插槽(19)，所述插槽(19)的内腔插设有插柱(20)，所述插柱(20)的顶部固定连接有顶板(10)，所述顶板(10)底部远离插柱(20)的一端固定连接有第一卡块(18)，所述插柱(20)的前后两侧对称插设有第二卡块(21)。2.根据权利要求1所述的一种mo源灌装容器余料的回收处理装置，其特征在于：所述透明刻度板(7)略小于溶剂罐(1)和处理罐(3)的高度，并且透明刻度板(7)的外侧与溶剂罐(1)和处理罐(3)的外壁平齐。3.根据权利要求1所述的一种mo源灌装容器余料的回收处理装置，其特征在于：所述立柱(9)为圆柱形，所述通孔(15)为圆形，所述第一半圆环(11)和第二半圆环(12)通过通孔(15)滑动套设于立柱(9)的外部。4.根据权利要求1所述的一种mo源灌装容器余料的回收处理装置，其特征在于：所述第一半圆环(11)和第二半圆环(12)的尺寸相同，所述清扫刷(13)的内侧与溶剂罐(1)和处理罐(3)的外部紧密接触且滑动配合，所述第一半圆环(11)和第二半圆环(12)两端的固定块(16)通过螺栓(17)固定连接。5.根据权利要求1所述的一种mo源灌装容器余料的回收处理装置，其特征在于：所述插柱(20)与插槽(19)滑动配合，所述第二卡块(21)与插柱(20)滑动配合，并且第二卡块(21)与插柱(20)的内部之间设置有弹性件，所述插槽(19)内腔的两侧对称开设有与第二卡块(21)适配的二号卡槽，并且所述第二卡块(21)与二号卡槽卡接配合。6.根据权利要求1所述的一种mo源灌装容器余料的回收处理装置，其特征在于：所述溶剂罐(1)和处理罐(3)顶部的两端开设有与第一卡块(18)适配的一号卡槽，并且所述第一卡块(18)与一号卡槽卡接配合。

技术总结

本实用新型公开了一种MO源灌装容器余料的回收处理装置，包括溶剂罐、MO源灌装容器、处理罐、正向惰性气体管路、回收处理管路、反向惰性气体管路，所述溶剂罐和处理罐的外侧中部竖直嵌设有透明刻度板，所述溶剂罐和处理罐左右两侧的下端均对称固定连接有底板，所述底板的顶部竖直固定连接有立柱，所述溶剂罐和处理罐的两侧外端均分别设置有第一半圆环和第二半圆环。该MO源灌装容器余料的回收处理装置，通过设置的透明刻度板便于随时了解溶剂罐和处理罐中溶剂的量，便于工作人员实施操作，第一半圆环、第二半圆环、清扫刷、立柱、把手的配合设置便于对溶剂罐、处理罐、透明刻度板的外侧进行清扫，避免了灰尘的积累。避免了灰尘的积累。避免了灰尘的积累。