一种工作台及晶圆减薄机的制作方法

1.本发明涉及晶圆加工领域，特别涉及一种工作台及晶圆减薄机。

背景技术：

2.晶圆是一种制作硅半导体集成电路所用的硅晶片，晶圆为圆柱形的单晶硅，是生产集成电路所用的载体。在对晶圆的加工过程中，需要使用晶圆晶圆减薄机对晶圆背面多余的基体材料进行打磨减除以对晶圆的厚度进行减薄，以使晶圆能够用于制作更为复杂的集成电路。
3.现有的一些晶圆减薄机包括用于取放晶圆的取料机构、用于支撑晶圆的承料机构以及用于打磨晶圆的减薄机构，取料机构将晶圆移动至承料机构上，并由减薄机构进行打磨减薄，从而对晶圆的厚度进行减薄处理。然而，晶圆减薄机的减薄机构在对晶圆进行打磨处理时，晶圆与减薄机构的打磨部位产生高温，为了解决这一问题，一些晶圆减薄机会通过水冷的方式给晶圆和减薄机构进行降温，即直接向晶圆和减薄机构的打磨部位喷施水雾或冷水，冷水喷洒在打磨中的晶圆和打磨部位上，带走晶圆和打磨部位的大部分热量，从而起到降温作用。然而，由于打磨部位在运行时通常经高速旋转对晶圆进行打磨，当冷水喷施在打磨部位上时，高速旋转的打磨部位通过离心作用将喷施到打磨部位上的水拍打开而使冷水形成水雾飞溅开，飞溅开的水雾喷溅在其他部位上，容易渗入其他部位的内部，尤其对于不防水的部位来说，水的渗入容易减损设备的使用寿命，甚至对部分带有电路的部位来讲还可能导致电路短路，给晶圆减薄机的使用安全带来不利影响。

技术实现要素：

4.针对上述现有技术的不足，本发明所要解决的技术问题是：提供一种能够在减薄过程中挡住水雾飞溅的工作台及晶圆减薄机。
5.为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种工作台及晶圆减薄机，工作台设置于晶圆减薄机上用于承载晶圆且防止晶圆加工时水雾飞溅，本发明的工作台包括台座、设置于台座上用于固定晶圆的固定部以及设置在台座上的用于罩在打磨部上的防水组件，通过防水组件防止晶圆减薄机的打磨部在对晶圆进行加工时，挡住飞溅的水花和水雾，避免这些水雾飞溅到其他设备上造成不良影响；所述防水组件包括罩设于所述台座外周的防水罩、形成于所述防水罩内的遮挡空间、形成于所述防水罩的上端面上的供所述晶圆减薄机的打磨部穿入遮挡空间内的加、形成于所述防水罩一侧的进口以及形成于所述防水罩上且能够闭合所述进口的闭合组件，所述晶圆减薄机的打磨部在伸入所述加内后能够封堵所述加，在所述打磨部与固定部配合以对晶圆进行打磨时，防水组件、台座以及闭合组件共同围设成一将打磨部包围住的遮挡空间以在打磨部运行时挡住水雾，当所述晶圆减薄机的取料机构靠近闭合组件时，闭合组件开启遮挡空间以使所述取料机构向打磨部移动直至退出遮挡空间外，所述闭合组件闭合遮挡空间以形成对固定部的全方位遮挡，无论飞溅的水雾喷洒至何方向，遮挡空间均能够挡下全部水雾，提升防水性
能。
6.所述防水罩上设置有便于观察遮挡空间内部情况的观察部，以能够随时查看遮挡空间的内部情况以便在出现问题时能够及时发现及时维护；所述观察部包括形成于防水罩上并连通遮挡空间的开口、设置于所述开口处且与所述开口密闭连接的封板以及形成于封板上的观察窗，在需要对遮挡空间内的打磨部进行维护时，可通过打开开口进行，简便打磨部和固定部的维修工作，给设备的维护和保养提供方便。
7.所述封板的一侧枢接于所述开口的一侧，所述封板的另一侧通过一可拆卸的锁定结构锁定于所述开口上相对的另一侧，从而实现封板与开口之间的启闭。
8.所述封板包括两支板，每一支板上均形成有所述观察窗，其中一支板的一侧与所述开口的一侧铰接，另一侧与另一支板的一侧铰接，所述另一支板的另一侧通过所述锁定结构锁定于所述开口上相对的另一侧；在支板与支板之间形成有防止水雾外泄的密封条以防止水从两支板之间的间隙跑出，提升防水效果；在两支板上均设置有观察窗以能够清楚的观察遮挡空间内的情况。
9.所述锁定结构包括设置在防水罩上的锁合部以及设置在其中一支板上的钩部，所述钩部能够相对于锁合部进行转动，所述锁合部上具有用于在钩部转动至锁合部处时与钩部钩挂配合以将支板限位于开口处的卡槽，实现可拆卸连接，且能够进行快速连接和解锁。
10.所述加由固定形成于所述防水罩的上端面的弧形开口和与所述弧形开口对合的具有第三弧形缺口的封堵部围合而成，所述弧形开口沿垂直方向向上贯通所述防水罩的上端面以形成垂直通口，所述防水罩与所述弧形开口相邻的一侧面形成有沿水平方向贯通该一侧面的水平通口，所述弧形开口与所述水平通口连通设置，所述防水罩上位于所述水平通口两侧的部分形成垂直的对合壁，在取下封堵部后，水平通口连通垂直通口以加大活动空间，便于操作人员通过此处对遮挡空间内的结构进行维护；所述防水罩上位于所述水平通口的下端面向外延伸形成有一支撑平台，在支撑平台的顶面两侧上均设置有向上凸设的与封堵部磁吸配合的磁吸部，在封堵部安装于水平通口处后，封堵部和磁吸部之间的配合提升封堵部与水平通口的连接牢固性，且插装配合的方式操作简单方便，能够实现快速连接；围挡片上设置有用于锁紧所述封堵部的紧固件；所述封堵部活动设置于所述水平通口处以能够启闭水平通口，所述封堵部的横向两侧壁抵持于所述对合壁上，所述封堵部的下端面支撑于所述支撑平台上以提升封堵部的稳定性；在封堵部的底部对应两磁吸部的位置处形成有两与磁吸部插装配合的插装槽，所述封堵部上对应于所述紧固件的位置处形成有与其配合的紧固孔，通过旋转紧固件，使得封堵部被牢牢固定在水平通口处，提升结构稳定性。
11.所述防水罩上设置有用于在封板开启或封堵部取下后进行感应的第一感应组件，通过开启观察部或取下封堵部，能够对遮挡空间内的打磨部进行维护，当第一感应组件感应到封板翻折而开口开启或者封堵部被取下后，所述固定部与打磨部之间的配合停止，如此便可防止继续运行的打磨部对操作人员造成伤害，且能够自动关停打磨部，避免操作人员因忘记关停打磨部就开启观察部或封堵部而带来不利影响。
12.所述闭合组件包括形成于防水罩上的并连通防水罩内腔的进口、连接于防水罩上并对称设置在进口处的能够开启或关闭进口的两移动部以及设置在两移动部上用于感应移动部是否移动到位的第二感应组件，通过移动部实现进口的开启和闭合，在保证取料机
构能够运送晶圆进入到遮挡空间内的同时，还能够用于挡住进口而防止打磨部运行时水雾从进口处飞溅出；两所述移动部均包括用于挡住进口的遮挡板以及设置在防水罩上并连接于遮挡板的伸缩件，两伸缩件能够带动两遮挡板相向或背向移动，从而实现对进口的自动封堵和开启，无需人工进行操作，实现设备的自动化；当两伸缩件带动两遮挡板相向移动直至停止时，两遮挡板移动至第一点位，当两伸缩件带动两遮挡板背向移动直至停止时，两遮挡板移动至第二点位；第二感应组件感应到两遮挡板移动至第一点位处后发出进口闭合的信号；第二感应组件感应到两遮挡板移动至第二点位处后发出进口开启的信号，取料机构根据第二感应组件的发出的信号作出对应行动。
13.本发明还包括连通所述遮挡空间内并在减薄机构运行时吸取遮挡空间内的水雾的吸取组件，在水雾产生之后，由于水雾的重量较轻，吸取组件直接将水雾进行吸取并抽取至遮挡空间外，避免遮挡空间内因积累大量的水雾而产生积水，从而避免积水影响打磨部的使用，避免积水侵蚀打磨部。
14.为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种晶圆减薄机，包括上述任一项所述的工作台。
15.本发明的工作台及晶圆减薄机，至少具有如下有益效果：通过防水组件的设置，将固定部以及打磨部罩在内部，并通过与闭合组件之间的配合，使得晶圆能够被输送至防水组件内的固定部上，并在固定部与打磨部配合对晶圆进行减薄加工时，挡住打磨组件喷出的水和水雾，避免水和水雾飞溅到其他装置上而对其他装置带来损害，保证整个装置的正常运行，提升整体装置的使用寿命。
附图说明
16.此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
17.图1为本发明的晶圆减薄机隐藏料盒后的结构示意图；
18.图2为本发明的晶圆减薄机隐藏防水罩后的结构示意图。
19.图3为本发明的防水组件和闭合组件的结构示意图；
20.图4本发明的防水组件和闭合组件另一角度的结构示意图；
21.图5为本发明的防水组件和闭合组件隐藏封堵壳后的结构示意图；
22.附图中各标号的含义为：
23.底座-1；
24.储料部-2；料盒-21；扫片件-22；
25.取料组件-3；第一支撑座-31；承托臂-32；缺口-321；第一吸盘-33；第二驱动件-34；
26.承料组件-4；承料座-41；支承台-42；对中部-43；滑槽-44；通槽-45；
27.减薄组件-5；台座-50；防水组件-51；防水罩-511；加-512；第一弧形缺口-5121；第二弧形缺口-5122；第三弧形缺口-5123；开口-513；封板-514；支板-5141；观察窗-515；锁定结构-516；封堵壳-517；第一感应器-521；第二感应器-522；闭合组件-53；进口-531；伸缩件-532；连接条-533；连接块-534；遮挡片-535；第三感应器-536；第四感应器-537；吸取组件-54；主机部分-55；固定部-56；承片台-561；第二支撑座-551；主轴-557；磨
轮-552；加-512；进口-531；第六驱动件-538；第七驱动件-553；第八驱动件-554；油石-555；第九驱动件-556；支撑平台-571；围挡片-572；磁吸部-573；紧固件-574；限位缺口-575；水平通口-576；
28.清理组件-6；清洗盒-61；清洗台-62；顶盖-63；伸缩部件-64。
具体实施方式
29.下面结合附图对本发明作进一步说明。
30.请参阅图1及图2，本发明晶圆减薄机用于对晶圆进行输送和打磨，晶圆减薄机包括底座1、依次设于底座1上的储料部2、取料机构3、承料机构4、减薄机构5以及清理机构6，减薄机构5包括工作台以及主机部分55，主机部分55上具有用于对晶圆进行打磨和水冷降温的打磨部，取料机构3将用于存放晶圆的储料部2处未打磨的晶圆输送至承料机构4上后再将承料机构4上的晶圆输送至工作台处并由打磨部与工作台配合对晶圆进行打磨减薄，在晶圆打磨工作完成后，取料机构3将打磨好的晶圆移动至料盒内，如此往复完成晶圆的减薄加工操作。
31.参照图3至图5所示，本发明的工作台包括台座50、设置在台座50上的固定部、设置在台座50上的防水组件51、设置在防水组件51上的闭合组件53以及设置在台座50上并连通防水组件51内腔的吸取组件54，固定部用于支撑晶圆并在对晶圆加工时将进行吸住以进行固定，防水组件51罩在固定部上以形成一个全方位遮挡的空间，在打磨部运行以对晶圆进行打磨加工时，打磨部同时还向晶圆喷水降温，降温过程中飞溅的水花和水雾被防水组件51挡住以与防水组件51外的其他装置相隔绝，且防水组件51内形成有一将固定部和打磨部的打磨部分包围住的遮挡空间，遮挡空间有效防止水雾喷溅到其他装置上而影响其他装置的使用寿命和安全，相对于现有的减薄设备无遮挡来说，提升了晶圆减薄机整体的安全性和使用寿命；闭合组件53用于在取料机构3进出防水组件51的内腔之前开启防水组件51，闭合组件53通过感应取料机构3的靠近而启动，以保证取料机构3能够将晶圆输送至防水组件51内，并在取料机构3未靠近防水组件51时，与防水组件51一起挡住水雾，保证防水组件51的防水效果，并保证整机的正常运行。
32.台座50呈长方体结构，且顶面具有一支撑面并与底座1的顶面齐平，储料部2、承料机构4、减薄机构5以及清理机构6依次间隔并围设在取料机构34的四周，即储料部2、承料机构4、减薄机构5以及清理机构6分设在取料机构34的前侧、右侧、后侧以及左侧上以将取料机构34围住。
33.防水组件51设置在台座50的顶面上并罩在固定部以及打磨部的外周上。防水组件51包括一内部中空设置的防水罩511、形成于所述防水罩511内的遮挡空间、形成于所述防水罩511的上端面上的供所述晶圆减薄机的打磨部穿入遮挡空间内的加512、形成于所述防水罩511一侧的进口531、形成于所述防水罩511上且能够闭合所述进口531的闭合组件53以及设置在防水罩511上的第一感应组件，防水罩511与台座50密封连接，打磨部穿入防水罩511内腔后与固定部配合对晶圆进行打磨加工，且在打磨部加工晶圆时，打磨部堵住加512处，固定部位于遮挡空间内，防水罩511上设置有封堵部以及便于观察遮挡空间内部情况的观察部，第一感应组件用于感应观察部和封堵部的位置情况。
34.防水罩511的内部中空且底面敞口连通防水罩511的内腔，观察部设置在防水罩
511的顶侧，闭合组件53和封堵部分设在防水罩511的其中两侧壁上，且在防水罩511上形成有一连通防水罩511内腔、遮挡空间的水平通口576，封堵部设置在水平通口576处用于堵住水平通口576。防水罩511的底部边沿部分向外侧(即相对于防水罩511在水平投影面上远离防水罩511的各方向)水平延伸以形成连接片，在连接片以及台座50的顶面上相适配并完全重叠的设置有螺栓孔，防水罩511与台座50之间通过螺栓进行连接。作为优选的，在各连接片与台座50顶面之间贴设有密封垫，在通过连接片将防水罩511与台座50螺栓连接在一起后，密封垫使得防水罩511的底面与台座50之间进行密封，水无法从连接片和台座50之间通过，避免打磨部在运行后凝聚的水流从防水罩511底部流向防水罩511外，如若让水流流向防水罩511外会使水流向其他装置，而其他装置多少具有带电结构，而带电结构如果长时间被水浸泡则易遭到水的侵蚀，很容易给其带来损伤，因此，防水罩511底部与台座50之间的密封处理，能够对防水罩511外的结构进行防护，保证设备的正常使用和运行。
35.观察部包括形成于防水罩511上并连通遮挡空间的开口513、设置于所述开口513处且与所述开口513密闭连接的封板514以及形成于封板514上的观察窗515，封板514与开口513的形状一致，且封板514封堵在开口513处以挡住遮挡空间，观察窗515由透明材质制成，以便于通过观察窗515观察遮挡空间内部情况，从而能够通过观察窗515及时查看打磨部的情况，若打磨部发生故障，也能通过观察窗515及时发现并关闭打磨部的运行，及时对设备进行维修、维护，以便及时止损。封板514能够开合的设置在开口513处，封板514可相对于开口513进行翻转而启闭开口513。具体的，封板514的一侧枢接于开口513的一侧，封板514的另一侧通过一可拆卸的锁定结构516锁定于所述开口513上相对的另一侧以使封板514能够进行翻转，封板514与防水罩511可拆卸连接的一侧为自由侧，通过锁定结构516，能够使封板514的自由侧相对于开口513进行翻转，或者将封板514的自由侧限位于开口513处，防止开口513因其他因素而相对于开口513被弹开至开口513外。锁定结构516可设置为卡扣以使封板514的自由侧与防水罩511之间通过卡扣进行连接，卡扣方式能够实现快速的连接和便捷的操作方式，也可使用市面上常见的锁扣进行连接。在本实施例中，所述锁定结构516包括设置在防水罩511上的锁合部以及设置在其中一支板上的钩部，所述钩部能够相对于锁合部进行转动，所述锁合部上具有用于在钩部转动至锁合部处时于钩部钩挂配合以将支板县位于开口处的卡槽，如此即可快速的进行连接和解开连接，且操作简单方便。
36.封板514设置为若干个，各封板514沿开口513的长度方向顺次展开并挡住开口513，各封板514对应的同一侧与防水罩511铰接，各封板514铰接于与防水罩511一侧的相对侧为所述自由侧，自由侧与防水罩511可拆卸连接，如此，便可根据需要开启需要进行维护的固定部所在的封板514，无需大范围的打开全部封板514。作为优选的，各封板514均由两支板5141拼接而成，各封板514的两支板5141沿封板514的铰接侧向自由侧方向顺次连接，且各封板514的两支板5141之间铰接以及两支板5141之间能够进行翻折折叠，而各封板514的两支板5141相背向的两侧中其中一侧铰接于防水罩511、另一侧通过连接结构与防水罩511可拆卸连接，在各支板5141上均设置有观察窗515，如此，能够分块对遮挡空间内的情况进行观察，并在翻转对应位置处的封板514时，支板5141能够使整块封板514进行折叠，而相对于能够折叠的封板514而言，不能折叠的封板514在翻转后，由于封板514具有一定长度，翻转后的封板514可能朝向闭合组件53移动，而闭合组件53可能因封板514的靠近而发生错误的判断而打开，从而引起不必要的麻烦，因此，能够折叠的封板514能够在翻转后进行折
叠而不向闭合组件53靠近，保证闭合组件53的正常使用。而各封板514盖合在开口513处后与防水罩511、闭合组件53、封堵部以及台座50顶面共同围设成全遮挡空间，在封板514挡住防水罩511内腔的同时还能够便于查看遮挡空间内的情况。在本实施例中，两支板5141相向的一侧通过合页进行连接，作为优选的，在其中一支板5141上设置有用于在两支板5141挡住开口处时挡住两支板5141之间相铰接侧处间隙的密封条以防止水从两支板5141之间的间隙跑出，由于两支板5141之间为合页连接，因此，两支板5141相向的一侧之间具有较大的缝隙，而密封条在支板5141挡住开口后刚好挡在缝隙处，避免水从缝隙处跑出。密封条位于对应两支板5141相向的一侧上并连接于两支板5141中的任意一支板5141且平行，且密封条位于对应两支板5141远离固定部的一侧上，在两支板5141挡住开口513时，两支板5141平铺于开口513处，密封条平行于两支板5141，在翻转两支板5141时，密封条限制未与密封条连接的支板5141的转动角度，使其相对于连接有密封条的支板5141的转动角度可转动角度为小于180度。
37.优选的，封板514设置为两片，两片封板514沿开口513的长度方向顺次设置在开口513处以堵住开口513，两封板514与防水罩511可拆卸连接的一侧均与加512相交设置。加512由固定形成于防水罩511的上端面的弧形开口和与弧形开口对合的具有第三弧形缺口5123使得的封堵部围合而成，弧形开口包括分别形成于两封板514的自由侧上的两第一弧形缺口5121以及位于封板514与封堵部之间的防水罩511上的两第二弧形缺口5122，两第二弧形缺口5122相对设置，两第一弧形缺口5121顺次设置且两第一弧形缺口5121相背向的两端与两第二弧形缺口5122的一端顺次相接，如此，当封板514的自由侧被翻转之后，第一弧形缺口5121加512出现缺口，此时的加512与开口513相连通，这使得操作人员在通过开口513进行任意操作时，加512的缺口加大了操作人员的操作空间，在操作人员通过开口513对遮挡空间内的各结构进行维护、修理时能够更方便的进行操作。
38.两第一弧形缺口5121与加512对合，加512由两第一弧形缺口5121、固定形成于防水罩511的上端面的第二弧形缺口5122和与第二弧形缺口5122对合的呈圆弧形的封堵部围合而成，第二弧形缺口5122沿垂直方向向上贯通防水罩511的上端面以形成垂直通口，第二弧形缺口5122还沿水平方向贯通防水罩511的一侧面以形成水平通口576，防水罩511上位于水平通口576两侧的部分形成垂直的对合壁，封堵部活动设置在水平通口576处以堵住水平通口576，且封堵部能够开启或关闭水平通口576，在封堵部闭合水平通口576后防止水从水平通口576出飞溅出，在封堵部打开水平通口576后，便于通过水平通口576对遮挡空间内的设备进行维修。封堵部可以可拆卸的方式设置于水平通口576处以相对于水平通口576能够进行拆卸和安装；封堵部可以铰接的方式设置于水平通口576处以相对于水平通口576进行翻转而打开或堵住水平通口576，如合页连接等；封堵部也可以推拉式的设置于水平通口576处以相同推拉封堵部而实现水平通口576的启闭。在本实施例中，封堵部可拆卸地设置于水平通口576处以能够相对于水平通口576进行安装和拆卸，当取下封堵部后，通过水平通口576处，操作人员的手能够进入到防水罩511内腔的遮挡空间内从而便于对打磨部进行操作。封堵部和闭合组件53分设在防水罩511不相邻的两侧上，如此，封堵部的设置不会对闭合组件53的运行造成影响。作为优选的，第一弧形缺口5121、第二弧形缺口5122以及第三弧形缺口5123的内侧沿对应的内沿设置有密封条，在封堵部以及封板514均闭合时，各密封条呈圆环形并在打磨部穿入加512时贴抵靠在打磨部的外壁以形成密
封环境，避免水从打磨部的外壁与加512之间渗出，提升防水效果。封堵部由金属材质制成；水平通口576的底面具有朝向背离水平通口576的一侧凸设的支撑平台571，在支撑平台571远离水平通口576的一侧上沿其边沿设置有向上敞口的围挡片572以与水平通口576形成一用于与封堵部插装配合的插槽，在支撑平台571的顶面两侧上均设置有向上凸设的磁吸部537，磁吸部537与封堵部磁吸配合，在封堵部的底部对应两磁吸部537的位置处形成有两与磁吸部537插装配合的插装槽；在所述围挡片572背向水平通口576的一侧上螺设有朝向水平通口576一侧延伸的用于将封堵部抵紧于水平通口576的紧固件574，所述封堵部上对应于所述紧固件574的位置处形成有与其配合的紧固孔。应当理解的是，封堵部的可拆卸设置不局限于本实施例，也可螺设于水平通口576处，也可通过卡扣连接的方式进行连接。
39.支撑平台571顶面具有一水平面，支撑平台571朝向背向水平通口576的一侧凸设以与水平通口576之间形成一缺口，围挡片572围设在支撑平台571的边沿上并向上延伸，围挡片572、支撑平台571以及水平通口576之间形成一个用于插装封堵部的插槽；磁吸部537包括磁铁，在围挡片572上开设有限位缺口575和螺孔，紧固件574螺设在螺孔处，紧固件574包括螺栓，使用时，将封堵部从上至下插装于插槽处，即将封堵部插装于水平通口576与支撑平面之间形成的缺口处，封堵部挡住水平通口576，磁吸部537将封堵部吸住，避免封堵部松动而脱离水平通口576处，紧固件574在封堵部插装在插槽处后，转动紧固件574使得紧固件574朝向封堵部移动直至紧固件574将封堵部抵紧于水平通口576，使得水平通口576与封堵部之间紧密贴合而能够挡住飞溅的水雾，提升封堵部的牢固性和结构稳定性。封堵部包括一横截面呈弧形的封堵壳517。防水罩511上的水平通口576向上连通水平通口576，对应的，封堵壳517可拆卸地设置在水平通口576处以挡住水平通口576，且第三弧形缺口5123形成于封堵壳517的顶面面向加512的一侧上，第三弧形缺口5123与两第一弧形缺口5121分设在第二弧形缺口的两端上，第三弧形缺口5123的两端分别与两第二弧形缺口5122远离第一弧形缺口5121的一端相接，两第一弧形缺口5121、两第二弧形缺口5122与第三弧形缺口5123共同围设成呈圆形的加512。当取下封堵壳517时，加512对应封堵壳517的一侧上出现缺口，此时水平通口576与加512连通而增加了可操作空间，操作人员如果需要通过水平通口576对遮挡空间内的结构进行操作能够更为方便的进行。插装槽形成于封堵壳517的底面上且对称分设在封堵壳517的底面两侧，对应的，两磁吸部537对应两插装槽的位置对称分设在支撑平台571上以形成较为稳定的结构水平通口576水平通口576。使用时，将磁吸部537对准插装槽直至磁吸部537插装于插装槽，且封堵壳517插装于插槽内即完成封堵壳517与防水罩511之间的可拆卸连接以使封堵壳517能够堵住水平通口576。在封堵壳517背向水平通口576的一侧上设置有把手以便于抽取封堵壳517水平通口576。
40.第一感应组件设置在防水罩511上以用于在封板514开启或者封堵部取下后进行感应，当第一感应组件感应到观察部开启或者封堵壳517脱离水平通口576处时，打磨部停止运行，如此，操作人员通过开口513或水平通口576对遮挡空间内的结构进行维护和修理时，防止因打磨部的运行而给操作人员带来损伤，提升工作台的安全性。
41.第一感应组件包括第一感应器521以及第二感应器522，第一感应器521与封板514一一对应并对应封板514的自由侧设置在防水罩511上。第一感应器521、第二感应器522、闭合组件53以及打磨部均与一控制器电连接，第二感应器522设置在防水罩511上并靠近水平
通口576设置。当封板514的自由侧翻转后，当第一感应器521感应到任意一封板514进行翻转后，第一感应器521将信号发送至控制器，控制器控制晶圆减薄机停止运行，当第二感应器522感应到封堵壳517脱离水平通口576后，第二感应器522将信号发送至控制器，控制器控制打磨部停止运行。具体的，第一感应器521包括设置在封板514自由侧上的第一触发模块以及设置在防水罩511靠近开口513处的第一感应模块，当封板514闭合在开口513处时，第一触发模块抵靠在第一感应模块上，当封板514被翻转后，第一触发模块远离第一感应模块，第一感应块检测到第一触发模块远离后即会向控制器发送信号，控制器随后控制晶圆减薄机停止运行。第二感应器522包括设置在封堵壳517上的第二触发模块以及设置在防水罩511上并靠近水平通口576的第二感应模块，第二触发模块对应限位缺口575设置，当封堵壳517安装于水平通口576处时，第二触发模块卡设于限位缺口575处以限制封堵壳517在垂直于限位缺口575的水平面上水平移动，进一步提升封堵壳517的稳固性；同时，第二触发模块抵靠在第二感应模块上，当封堵壳517被取下后，第二触发模块远离第二感应模块，第二感应块检测到第二触发模块远离后即会向控制器发送信号，控制器随后控制打磨部停止运行。第一感应模块和第二感应模块均可设置为感光传感器，在封板514闭合在开口513处时，第一触发模块遮挡住第一感应模块的感光部位，当封板514翻转后，感光部位暴露在日光下，第一感应模块电压发生变化，控制器接收到信号即控制晶圆减薄机停止运行，当操作人员忘记手动关闭打磨部时，也不用担心打磨部会伤害到操作人员，保证操作人员的安全，提升整个减薄设备的安全性能。第二触发模块与第二感应模块同第一感应器521的结构原理相同，在此不再赘述。第一感应模块和第二感应模块也可为接近开关，当对应的第一触发模块或第二触发模块远离第一感应模块或第二感应模块时，检测到对应的第一触发模块或第二触发模块脱离既定位置后，即会向控制器发送信号。
42.闭合组件53包括形成于防水罩511上的进口531、连接于防水罩511上并对称设置在进口531处的两移动部以及设置在两移动部上的第二感应组件，移动部和第二感应组件均与控制器电连接，进口531连通防水罩511的内腔，两移动部能够挡住进口531，如此便可防止水雾从进口531处飞溅出；第二感应组件能够感应到感应移动部是否移动到位，即移动部运行是否完全关闭进口531或完全打开进口531，控制器控制两移动部运行直至挡住进口531，此时，遮挡空间由移动部、防水罩511、台座50、各封板514以及封堵壳517之间共同围设而成以将固定部遮挡住。
43.进口531开设在防水罩511的其中一侧壁上并与水平通口576相对开设在防水罩511两侧，进口531能够供取料机构3进出遮挡空间内并移向打磨部上放置晶圆的位置处。两移动部均包括设置在防水罩511上的伸缩件532以及连接在伸缩件532上的遮挡板，遮挡板设置在伸缩件532能够进行移动的部分上，两伸缩件532的移动部分相向或相背进行移动从而带动两遮挡板相向或相背移动，从而实现对进口531的开启和闭合。
44.伸缩件532可为气缸、电动推杆、直线模组等能够带动遮挡板进行移动的装置，在本实施例中，伸缩件532包括无杆气缸，两无杆气缸均固设在防水罩511上并对称分设在进口531的左右两侧上，应当注意的是，两无杆气缸也可分设在进口531上下两侧上，不局限于本实施例。两无杆气缸的滑块分别连接于两遮挡板，在取料机构3靠近进口531时，两无杆气缸的滑块相背移动以带动两遮挡板相背移动而打开进口531，当取料机构3进入到遮挡空间内并退出遮挡空间之后，两无杆气缸的滑块相向伸出以带多功能两遮挡板相向移动，直至
两遮挡板相抵而完全挡住进口531处。当两伸缩件532带动两遮挡板相向移动直至停止时，两遮挡板移动至第一点位，当两伸缩件532带动两遮挡板背向移动直至停止时，两遮挡板移动至第二点位；第二感应组件感应到两遮挡板移动至第一点位处后发出进口闭合的信号；第二感应组件感应到两遮挡板移动至第二点位处后发出进口开启的信号，控制器接收到信号后即可发出下一步指令。
45.遮挡板包括连接于无杆气缸滑块上的连接条533、连接于连接条533的连接块534以及连接于连接块534的遮挡片535。连接条533的一端固设于无杆气缸的滑块上，连接条533的另一端向进口531方向延伸至进口531处，连接块534连接于连接条533位于进口531处的一端上，且连接块534位于连接条533面向进口531的一侧上并穿过进口531，遮挡片535连接于连接块534面向进口531的一侧上，且遮挡片535位于遮挡空间内并相对于进口531能够自由活动。遮挡片535可沿无杆气缸的伸出方向滑动连接于防水罩511；遮挡片535也可与防水罩511相互独立并无连接，仅通过连接块534和连接条533实现与进口531的移动配合实现对进口531的遮挡和开启，无论何种方式，遮挡片535均活动贴设在防水罩511内壁上以保证遮挡片535能够较好的遮挡住进口531，缩小遮挡片535与防水罩511之间的间隙，能够较好的避免因遮挡片535和防水罩511之间存在过大间隙而无法堵住进口531的问题。
46.进口531呈“t”字形状，便于取料机构3通过。在防水罩511上设置有位于两伸缩件532之间的限位块以将两伸缩件间隔开，避免两伸缩件532相互影响。无杆气缸分设在进口531的左右两侧上，且两无杆气缸间隔设置。连接条533呈“l”字形状，两连接条533的一端分别连接与两滑块，两连接条533的另一端向上延伸至进口531宽的一端处后继续相向延伸并垂直，连接块534位于连接条533远离滑块的一端上，且两连接块534相向的一侧面与其相连接的两连接条533相向的一侧面齐平，两遮挡片535相向的一侧面与其相连接的两连接块534相向的一侧面齐平，当两遮挡片535挡住进口531时，两遮挡片535相抵、两连接块534相抵、两连接条533相向的一端相抵，当无杠气缸的滑块运行带动两连接条533背向移动以打开进口531时，连接块534能够限制滑块的移动位置，当两连接块534岁连接条533背向移动直至抵靠在进口531两侧边上时，连接块534能够限制无杆气缸的滑块继续运行。无杆气缸和连接条533均设置在防水罩外壁上，连接块534、连接条533以及遮挡片535的配合设置能够从进口内侧挡住进口531，且能够从防水罩511的外侧带动遮挡片535移动，在保证水雾不会打湿伸缩件532的同时还能挡住进口或打开进口，设计巧妙而实用。
47.第二感应组件包括分别设置在两无杆气缸上的第三感应器536和第四感应器537，第三感应器536和第四感应器537均与控制器电连接，第三感应器536和第四感应器537均设置为两个并两两分设在两伸缩件532能够移动位置所在的两端上。各伸缩件532上第三感应器536和第四感应器537所在位置分别为所述第一点位和第二点位，位于伸缩件532相向的两个点位为第一点位，位于伸缩件532相背的两个点位为第二点位，当伸缩件532带动遮挡板移动至对应点位后，对应点位上的第三感应器536和第四感应器537感应到遮挡板靠近后发出对应信号，控制器对信号进行接受以判断进口的启闭状态，以便作出下一步指令，以在取料机构3进入或退出进口531之前，根据进口531的启闭状态判断是否进行下一步。第三感应器536和第四感应器537均可使用接近开关等传感器，根据取料机构3的既定移动轨迹变化来判断是否需要开启或关闭进口531，第三感应器536和第四感应器537在取料机构3移动至设定位置后向控制器发送信号以进行对应操作。
48.吸取组件54设置在台座50上，吸取组件54的一端连接于防水罩511并连通遮挡空间，吸取组件54包括一设置在台座50上的抽气泵以及连接于抽气泵的吸气口处的抽风管，抽气泵与控制器电连接，在防水罩511上开设有连通遮挡空间的接口，抽风管的一端连接于吸气口，抽风管的另一端连接于接口处，在晶圆减薄机运行的同时运行以通过吸力将飞溅的水雾经抽风管进行吸取，如此便可减少水雾聚集在防水罩511内，避免遮挡空间内过多的积水而影响打磨部的运行。由于封板514在与开口513闭合时、封堵壳517与水平通口576插装配合时以及遮挡片535挡住进口531时均具有缝隙，因此，吸取组件54在抽取遮挡空间内的空气时不会处于密封状态，吸取组件54能够正常运行，且由于吸取组件抽取遮挡空间内的空气，遮挡空间内形成负压，这使得封板514在与开口513闭合时、封堵壳517与水平通口576插装配合时以及遮挡片535挡住进口531时会由于遮挡空间的负压状态而从缝隙处向遮挡空间内吸气，如此能够有效避免水从缝隙中跑出，如此便可在对晶圆喷水雾时水雾完全不会从缝隙中跑出，大大加强了遮挡空间的防水效果。
49.本发明的工作台的其中一种实施例的工作方式如下：
50.取料机构34在吸取晶圆后移向进口41，在取料机构34靠近进口41后停止，控制器控制伸缩件42运行以使两遮挡片45背向移动直至移动至第二点位后，位于第二点位处的第三感应器46和第四感应器47向控制器发送信号，控制器控制取料机构34将晶圆移动至固定部上后原路返回，当取料机构34退出进口41后，控制器控制伸缩件42运行以带动两遮挡片45相向移动直至移动至第一点位而挡住进口，位于第一点位处的第三感应器46和第四感应器47向控制器发送信号；随后，控制器控制打磨部运行对晶圆进行打磨，同时，吸取组件5运行并吸取遮挡空间内的水雾；打磨完成后，打磨部停止运行，吸取组件5停止运行，取料机构34再次移向进口41，在第三感应器46和无杆气缸的配合下进口41打开，取料机构34取出晶圆并退出遮挡空间外后，在第四感应器47和无杆气缸的配合下进口41关闭，如此往复完成晶圆的打磨减薄；实现全自动的机械化操作，减少人力成本；在打磨部对晶圆进行打磨加工时，挡住飞溅的水雾，放置水雾飞散开而影响其他部位的使用，提升整体的安全性和设备的使用寿命。
51.参照图1至图2所示，储料部2包括可拆卸的设置在底座1上的用于存放晶圆的料盒21以及用于检测待加工晶圆在料盒21内放置放置的扫片件22，料盒21与扫片件22均为现有技术，在此不再赘述。
52.取料机构34包括设置在底座1上的第一支撑座31、设置在第一支撑座31上的承托臂32以及设置于第一支撑座31上的第一吸盘33，第一支撑座31能够带动承托臂32和第一吸盘33分别朝向料盒21、承料机构4、减薄机构5以及清理机构6进行转动，承托臂32和第一吸盘33均水平并平行布置，承托臂32和第一吸盘33通过一驱动结构以能够沿承托臂32的长度方向进行伸缩从而在需要放置或吸取晶圆时通过伸长以移动至需要被吸取晶圆的位置处或移动至需要放置晶圆的位置处；承托臂32用于将储料部2内的晶圆移动至承料机构4上，承托臂32用于承托晶圆的一端上具有沿承托臂32的长度方向朝向远离承托臂32的方向敞口的缺口321，第一吸盘33用于将承料机构4上的晶圆吸取至减薄机构5处，且第一吸盘33在减薄机构5对晶圆加工完成后继续吸取晶圆将其移动至清理机构6处，最后有承托臂32将清理后的晶圆移动至料盒21内，如此便可仅通过一个承托臂32和第一吸盘33实现晶圆在取料、对中、打磨、清理过程中的移动，节省设备成本。
53.第一支撑座31包括设置在底座1上的第三驱动件以及连接于第三驱动件的第一驱动件，第三驱动件能够带动第一驱动件进行升降，承托臂32和第一吸盘33从下至上依次连接于第一驱动件，且承托臂32和第一吸盘33均水平并平行布置，第一驱动件能够带动承托臂32和第一吸盘33同轴且以第一驱动件为轴360度水平转动，第三驱动件能够带动第一驱动件进行升降，从而调节承托臂32和第一吸盘33所在高度位置，以根据不同的组件调节到合适的高度上。第三驱动件可为气缸、电动伸缩杆、直线模组等能够带动第一驱动件升降的装置，第三驱动件竖直设置以带多功能第一驱动件在竖直方向上上下移动。第一驱动件包括伺服电机或能够360度转动的回转气缸等具有可旋转输出轴的装置，承托臂32和第一吸盘33设置在第一驱动件的输出轴上以通过第一驱动件的运行带动承托臂32和第一吸盘33同步旋转。驱动机构包括两组第二驱动件34，两第二驱动件34平行于承托臂32并分别对应承托臂32和第一吸盘33的位置连接于第一驱动件的输出轴，即两第二驱动件34一上一下间隔布置，承托臂32连接于位于下方的第二驱动件34上，第一吸盘33连接于位于上方的第二驱动件34上，位于下方的第二驱动件34能够带动承托臂32沿长度方向进行移动以使承托臂32相对于第一驱动件伸长或缩短，位于上方的第二驱动件34能够带动第一吸盘33沿承托臂32的长度方向进行移动以使第一吸盘33相对于第一驱动件伸长或缩短。使用时，在第一驱动件带多运行带动承托臂32和第一吸盘33转动直至朝向料盒21或承料机构4或打磨组件或清理机构6之一时，第二驱动件34能够带动对应的承托臂32和第一吸盘33朝向对应的组件伸长以获取或放置晶圆，并在获取或放置晶圆后缩回。第二驱动件34可为气缸、电动推杆、直线模组以及其他能够带动承托臂32或第一吸盘33直线运动的装置，任意一结构均能够实现承托臂32和第一吸盘33的伸缩。第一吸盘33的底面上具有能够吸住晶圆的吸孔，在第一吸盘33的内部具有连通吸孔的通道，通过抽气实现吸孔吸住晶圆的功能。
54.承料机构4包括设置在底座1上的承料座41、设置在承料座41上能够进行升降的支承台42以及设置在承料座41上的能够向支承台42收拢或张开的对中部43，支承台42用于支撑晶圆，且支承台42能够进行升降，对中部43能够将放置在支承台42上的晶圆进行对中以使晶圆与支承台42同轴对齐，承料座41、支承台42以及对中部43均同轴设置，支承台42在承托臂32将晶圆朝向支承台42移动时进行上升直至承托臂32将晶圆移动至支承台42正上方，并在承托臂32将晶圆放置于支承台42上后支承台42下降，对中部43在支承台42支撑晶圆下降后收拢以推动晶圆移动至支承台42的中心直至晶圆与支承台42的中心对齐，在完成对中后，对中部43张开以松开晶圆。
55.在本实施例中，承料座41包括设置在底座1顶面上的支撑壳体，在支撑壳体的内部具有安装空间，支承台42以及对中部43均设置在安装空间内并同轴设置，在支撑壳体的顶面上形成有用于供支承台42向上穿出承料座41顶面的穿孔，支承台42包括一能够进行升降的升降台以及设置在支承台42顶面上的第二吸盘，升降台能够在竖直方向上穿过承托臂32的缺口321，升降台的顶面用于用于支撑晶圆的支撑平面，在升降台上具有供对中部43收拢或张开与支承台42中心的滑槽44，在支撑壳体的顶面上开设有与滑槽44一一对应并在竖直方向上相重叠的通槽45，通槽45和滑槽44均设置为若干个并一一对应于对中部43以使对中部43向上延伸，若干通槽45和滑槽44以支承台42为圆心呈环形阵列分布，且通槽45和滑槽44均沿支承台42的径向方向设置，对中部43的详细结构可参照中国发明专利申请“cn115338717a”中对中件的结构，在此不再赘述。使用时，承托臂32将料盒21内的晶圆拖出
后带动晶圆移向支承台42，直至承托臂32带动晶圆移动至支承台42的正上方，同时，支承台42上升直至抵晶圆后停止上升，同时，第二吸盘吸住晶圆，承托臂32在支承台42停止上升后收缩以远离支承台42，随后支承台42下降直至支承台42的顶面与壳体的顶面位于同意水平面上，第二吸盘松开晶圆，对中部43运行以向支承台42收拢，如此，即使晶圆的中点未与支承台42的中点对齐，等速收拢的对中部43在收拢过程中拖动未对齐的晶圆移动直至晶圆与支承台42同轴对齐后，对中部43张开直至退回初始位置。
56.减薄机构5包括设置工作台以及主机部分55，工作台包括台座50、设置在台座50上的固定部、设置在台座50上的防水组件51、设置在防水组件51上的闭合组件53以及设置在台座50上并连通防水组件51内腔的吸取组件54，防水组件51、闭合组件以及吸取组件54同前述内容，在此不再赘述。主机部分包括设置在台座50上的打磨部、设置于台座50上并位于防水罩511内的油石部以及设置在台座50上并位于防水罩511内的检测部，固定部用于对需要打磨的晶圆进行支撑和固定，打磨部和第一支撑座31分设在防水罩511其中一相对的两侧上以使打磨部和第一支撑座31之间互不干涉，打磨部用于对固定部上的晶圆进行打磨加工以进行减薄，油石部用于清扫固定部，在固定部与打磨部配合对晶圆打磨完成、晶圆被第一吸盘33吸走以移动至清理机构6后，油石部转动至固定部的正上方并对固定部进行打磨，将固定部上应晶圆打磨残留下的粉尘清扫干净，避免粉尘残留在固定部上而增加固定部顶面的高度，影响晶圆打磨后的厚度，在油石部对固定部清扫完毕后，检测部对固定部的高度进行检测。
57.固定部包括设置在台座50上的工作平台以及设置在工作平台上的承片台561，承片台561用于对晶圆进行支撑并将晶圆吸住以固定住，工作平台的顶面具有一平面，承片台561位于工作平台的顶面上，承片台561的顶面具有一用于支撑晶圆的支撑平面，承片台561包括第三吸盘以用于将晶圆吸住，以使晶圆固定于承片台561上。承片台561与加512在竖直方向上同轴设置，以使打磨部在穿过加512后能够与承片台561配合。
58.打磨部包括设置在台座50上的第二支撑座551、设置在第二支撑座551上并与承片台561同轴设置的主轴557以及设置在主轴557上并位于主轴557底部的磨轮552，磨轮552为所述主机部分55的打磨部位，磨轮552与主轴557同轴布置，加512开设在主轴557的正下方，主轴557能够相对于工作台带动磨轮552在竖直方向上移动以使磨轮552能够相对于承片台561相向或背向移动。
59.第二支撑座551与第一支撑座31分设在防水罩511其中一相对的两侧上，主轴557设置在第二支撑座551上并位于第二支撑座551面向防水罩511的一侧上，主轴557包括连接于第二支撑座551外壳、设于外壳内的第四驱动件以及连接于第四驱动件的第五驱动件，，外壳的底部延伸至加512处，磨轮552位于遮挡空间内，第五驱动件传动连接于磨轮552，第四驱动件带动第五驱动件在竖直方向上上下移动。在本实施例中，第四驱动件为伺服电机，第五驱动件可为气缸、电动伸缩杆等能够伸缩或移动的装置。使用时，主轴557带动
60.磨轮552向下移动直至接触承片台561上晶圆后停止移动，此时，主轴557的5底部将加512的抵住以在闭合部闭合后与防水罩511一起形成一全面的遮挡，避免粉尘从加512处跑出；主轴557带动磨轮552转动以对晶圆的顶面进行打磨加工，直至晶圆打磨加工完成后，主轴557带动磨轮552向上移动以退回原位，等待下一次加工。
61.油石部包括设置在台座50上的第七驱动件553、设置在第七驱动件553上0的第八
驱动件554以及设置在第八驱动件554上的油石555，在本实施例中，
62.第七驱动件553包括回转气缸，回转气缸的输出轴向上设置，第八驱动件554设置在第七驱动件553的输出轴上，第七驱动件553能够带动第八驱动件554相对于承片台561的正上方进行转动，在不需要对承片台561清扫时，第七驱
63.动件553带动第八驱动件554转动至承片台561的侧方，在晶圆打磨完成并被5第一吸盘33带动后，第七驱动件553带动第八驱动件554转动至承片台561的正上方；第八驱动件554包括伺服电机，第八驱动件554的输出轴向下竖直设置，油石555设置在第八驱动件554的输出轴上，第八驱动件554带动油石555以第八驱动件554的输出轴为轴自转。
64.检测部包括设置在台座50上的第九驱动件556、设置在第九驱动件556上0的感应器以及设置在第九驱动件556上的喷雾部，第九驱动件556用于带动感应器和喷雾部相对于承片台561进行转动，感应器用于检测承片台561的高度，喷雾部用于在磨轮552对承片台561上的晶圆进行打磨时向晶圆喷出水雾以对其进行降温。
65.在本实施例中，第七驱动件553与第九驱动件556分设在第二支撑座5515的两侧上，第九驱动件556包括回转气缸且输出轴位于缸体的上方，第九驱动件556运行能够相对于承片台561的正上方以及承片台561的侧方水平转动，感应器和喷雾部均设置在第九驱动件556的输出轴上。喷雾部包括一设置在第九驱动件556的输出轴上的喷雾头、连接于喷雾头并向喷雾头供水的管路以及设置在台座50上并连接管路的水泵，水泵连通外部水源并在运行后向管路供水，水从喷雾头处喷出以形成水雾。使用时，当磨轮552与承片台561配合对晶圆进行打磨时，第九驱动件556带动喷雾部转动直至朝向承片台561后停止转动，喷雾部向晶圆喷出水雾以对晶圆进行降温，同时还能起到降尘作用，一定程度上提升防尘效果；在油石555清扫完承片台561后，第九驱动件556运行带动感应器转动直至感应器转动至承片台561的正上方，此时，感应器的底端对承片台561顶面的高度进行检测，对于承片台561的高度未在设定高度上时，操作人员可及时进行调整以使晶圆加工后的品质得到保证。应当理解的是，第九驱动件556不局限本实施例的回转气缸，也可使用如伺服电机等能够带动感应器和喷雾部进行转动的装置进行替换。
66.清理机构6包括设置在底座1上的清洗盒61、设置在清洗盒61内的清洗台62、设置在清洗盒61正上方的顶盖63、设置在清洗盒61内的晶圆喷水的喷水部、设置在清洗盒61内的烘干部、活动设置在清洗盒61上的挡板以及设置在清洗盒61上并连接于挡板的伸缩部件64，清洗台62用于支撑并吸住晶圆，喷水部用于向清洗台62上的晶圆喷水，烘干部用于向清洗台62上吹风以风干晶圆，在顶盖63与清洗盒61之间具有用于供第一吸盘33和承托臂32穿过的间隙，承托臂32和第一吸盘33通过间隙能够伸入至清洗台62上方，挡板能够遮挡住间隙避免水从间隙处飞溅出，伸缩部件64用于在承托臂32或第一吸盘33需要伸入或伸出清洗盒61内时带动挡板移动以打开间隙并在需要对晶圆进行清理时带多功能挡板移动以挡住间隙。
67.在本实施例中，清洗盒61包括上下贯通设置的盒体，清洗台62包括设置在底座1上并位于清洗盒61内侧的放置台以及位于放置台顶面上的第四吸盘，在底座1上设置有第十驱动件，第十驱动件位于放置台的下方，第十驱动件的输出轴向上穿出底座1顶面，放置台传动连接于第十驱动件的输出轴，第十驱动件能够带动放置台以其输出轴为轴进行转动。喷水部包括设置在底座1上的支架、设置在支架上并朝向放置台的喷头、连接于喷头并向喷
雾头供水的管道以及设置在底座1上并连接管道的输水泵，输水泵连通外部水源以通过管道向喷雾头处输出水源以冲洗晶圆。第十驱动件包括伺服电机，也可设置为其他能够带动清洗台62转动的装置进行替换。
68.烘干部包括设置在底座1上的风机以及连通风机并延伸至清洗盒61内的出风头，出风头朝向放置台设置。挡板绕清洗盒61的内壁一周环形分布，挡板相对于清洗盒61和顶盖63活动设置，可在清洗盒61的内壁上沿竖直方向设置滑轨以使挡板滑动连接于清洗盒61，也可使挡板与清洗盒61无连接仅通过伸缩部件64实现挡板与清洗盒61之间的活动配合。伸缩部件64设置在清洗盒61的外壁上并竖直布置，伸缩部件64与挡板通过一连接块固定连接，伸缩部件64运行以能够带动挡板上下移动。未使用时，挡板未遮挡住间隙，挡板位于清洗盒61内侧并位于间隙下方，当第一吸盘33将承片台561上打磨好的晶圆吸取并经间隙移动至放置台上并退出间隙后，伸缩部件64运行带动挡板向上移动直至挡板挡住间隙，此时，放置台上的第四吸盘将晶圆吸住以对晶圆进行固定；喷水部向放置台上的晶圆冲水以将晶圆上的粉尘冲洗掉，挡板在喷水部冲洗过程中放置水从间隙飞出，避免水费减到其他部件上；冲洗完成后，第十驱动件带动放置台高速转动以甩干晶圆上的水分，随后烘干部运行朝向晶圆吹风以加快晶圆表面的水分的蒸发速度。在本实施例中，伸缩部件64包括气缸。
69.在本发明中，第一驱动件、第二驱动件34、第三驱动件、第四驱动件、第五驱动件、第六驱动件538、第七驱动件553、第八驱动件554、第九驱动件556、第十驱动件、伸缩部件64、喷雾部、喷水部、烘干部、扫片件22、支承台42、对中部43、第一吸盘33。第二吸盘、第三吸盘以及第四吸盘均与一控制器连接，控制器通过与计算机程序连接并进行程序设定，并通过控制器对各个部位的部件进行控制和运行。

技术特征：

1.一种工作台，设置于晶圆减薄机上，用于承载晶圆且防止晶圆加工时水雾飞溅，其特征在于：包括台座、设置于台座上用于固定晶圆的固定部以及设置在台座上的用于罩在打磨部上的防水组件，所述防水组件包括罩设于所述台座外周的防水罩、形成于所述防水罩内的遮挡空间、形成于所述防水罩的上端面上的供所述晶圆减薄机的打磨部穿入遮挡空间内的加、形成于所述防水罩一侧的进口以及形成于所述防水罩上且能够闭合所述进口的闭合组件，所述晶圆减薄机的打磨部在伸入所述加内后能够封堵所述加。2.如权利要求1所述的工作台，其特征在于：所述防水罩上设置有便于观察遮挡空间内部情况的观察部，所述观察部包括形成于防水罩上并连通遮挡空间的开口、设置于所述开口处且与所述开口密闭连接的封板以及形成于封板上的观察窗。3.如权利要求2所述的工作台，其特征在于：所述封板的一侧枢接于所述开口的一侧，所述封板的另一侧通过一可拆卸的锁定结构锁定于所述开口上相对的另一侧。4.如权利要求3所述的工作台，其特征在于：所述封板包括两支板，每一支板上均形成有所述观察窗，其中一支板的一侧与所述开口的一侧铰接，另一侧与另一支板的一侧铰接，所述另一支板的另一侧通过所述锁定结构锁定于所述开口上相对的另一侧；在支板与支板之间形成有防止水雾外泄的密封条。5.如权利要求4所述的工作台，其特征在于：所述锁定结构包括设置在防水罩上的锁合部以及设置在其中一支板上的钩部，所述钩部能够相对于锁合部进行转动，所述锁合部上具有用于在钩部转动至锁合部处时与钩部钩挂配合以将支板限位于开口处的卡槽。6.如权利要求1所述的工作台，其特征在于：所述加由固定形成于所述防水罩的上端面的弧形开口和与所述弧形开口对合的具有第三弧形缺口的封堵部围合而成，所述弧形开口沿垂直方向向上贯通所述防水罩的上端面以形成垂直通口，所述防水罩与所述弧形开口相邻的一侧面形成有沿水平方向贯通该一侧面的水平通口，所述弧形开口与所述水平通口连通设置，所述防水罩上位于所述水平通口两侧的部分形成垂直的对合壁，所述防水罩上位于所述水平通口的下端面向外延伸形成有一支撑平台，在支撑平台的顶面两侧上均设置有向上凸设的与封堵部磁吸配合的磁吸部，围挡片上设置有用于锁紧所述封堵部的紧固件；所述封堵部活动设置于所述水平通口处以能够启闭水平通口，所述封堵部的横向两侧壁抵持于所述对合壁上，所述封堵部的下端面支撑于所述支撑平台上；在封堵部的底部对应两磁吸部的位置处形成有两与磁吸部插装配合的插装槽，所述封堵部上对应于所述紧固件的位置处形成有与其配合的紧固孔。7.如权利要求6所述的工作台，其特征在于：所述防水罩上设置有用于在封板开启或封堵部取下后进行感应的第一感应组件，当第一感应组件感应到封板翻折而使开口开启或者封堵部被取下而使水平通口开启后，所述固定部与打磨部之间的配合停止。8.如权利要求1所述的工作台，其特征在于：所述闭合组件包括连接于防水罩上并对称设置在进口处的能够开启或关闭进口的两移动部以及设置在两移动部上用于感应移动部是否移动到位的第二感应组件；两所述移动部均包括用于挡住进口的遮挡板以及设置在防水罩上并连接于遮挡板的伸缩件，两伸缩件能够带动两遮挡板相向或背向移动；当两伸缩件带动两遮挡板相向移动直至停止时，两遮挡板移动至第一点位，当两伸缩件带动两遮挡板背向移动直至停止时，两
遮挡板移动至第二点位；第二感应组件感应到两遮挡板移动至第一点位处后发出进口闭合的信号；第二感应组件感应到两遮挡板移动至第二点位处后发出进口开启的信号，取料机构根据第二感应组件的发出的信号作出对应行动。9.如权利要求1所述的工作台，其特征在于：还包括连通所述遮挡空间内并在减薄机构运行时吸取遮挡空间内的水雾的吸取组件。10.一种晶圆减薄机，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的工作台。

技术总结

本发明公开了一种工作台及晶圆减薄机包括台座、设置于台座上的固定部以及设置在台座上的防水组件，防水组件包括罩设于所述台座外周的防水罩、形成于所述防水罩内的遮挡空间、形成于所述防水罩的上端面上的供所述晶圆减薄机的打磨部自由出入的加、形成于所述防水罩一侧的进口以及形成于所述防水罩上且能够闭合所述进口的闭合组件。通过防水组件的设置，将固定部以及打磨部罩在内部，并通过与闭合组件之间的配合，使得晶圆能够被输送至防水组件内的固定部上，并在固定部与打磨部配合对晶圆进行减薄加工时，挡住打磨组件喷出的水和水雾，避免水和水雾飞溅到其他装置上而对其他装置带来损害，保证整个装置的正常运行，提升整体装置的使用寿命。整体装置的使用寿命。整体装置的使用寿命。