一种晶圆夹持手臂的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆夹持手臂。

背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，厂家在交货或者收货环节，经常要对其品质检验。除了正面检测，还需要对反面也进行检测。
3.如公开号为cn217405396u的一种晶圆夹持装置，该实用新型公开了一种晶圆夹持装置，涉及单片湿法处理的技术领域。所述晶圆夹持装置包括位于上方的动力部分和位于下方的夹持部分，所述夹持部分包括下夹盘和上夹盘，所述动力部分包括夹持气缸和电机；所述下夹盘通过下夹盘垂直连杆连接至下夹盘水平连杆，所述上夹盘上方连接至夹持气缸，所述下夹盘水平连杆上面设置气缸固定板，它通过两侧均布的气缸输出推力平稳一致，可减少将晶圆压坏的风险。
4.综合上述，可知现有技术中存在以下技术问题：现有的夹持手臂使用时不方便对夹持后的晶圆进行角度的调节，从而不便于对晶圆的另一面进行检查操作，为此，我们提供了一种晶圆夹持手臂。

技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种晶圆夹持手臂，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为了解决上述的技术问题，本实用新型采用了如下技术方案：
7.一种晶圆夹持手臂，包括，装置外壳，所述装置外壳的外表面对称安装有两个夹持气缸，两个所述夹持气缸的输出端均设置有活动板，所述活动板的内部连接有导向杆，所述活动板的下表面固定有夹持板，所述夹持板的一侧设置有三个限位块，所述夹持板的内部设置有防护胶垫，所述防护胶垫的内部设置有夹持槽，所述夹持板的末端设置有缓冲垫片，所述缓冲垫片的内部安装有压力传感器。
8.优选的，所述夹持气缸与装置外壳之间为螺栓连接，且夹持板通过活动板与夹持气缸之间构成伸缩结构。
9.优选的，所述限位块与夹持板之间为固定连接，且防护胶垫与夹持板之间为一体固定结构，并且夹持槽贯穿至防护胶垫的内壁，所述缓冲垫片与夹持板之间为固定连接。
10.优选的，所述装置外壳还设有：
11.安装壳，其设置在所述装置外壳的上表面，所述安装壳的上端设置有连接座，所述安装壳的内部安装有调节马达。
12.优选的，所述连接座与安装壳之间为一体固定结构，且调节马达与安装壳之间为螺钉连接。
13.优选的，所述调节马达还设有：
14.主动齿轮，其设置在所述调节马达的输出轴，所述主动齿轮的左侧连接有从动齿轮，所述从动齿轮的内部连接有传动轴，所述传动轴的一侧设置有限位轴承。
15.优选的，所述传动轴通过从动齿轮和主动齿轮与调节马达之间构成旋转结构，且限位轴承的内壁与传动轴的外壁紧密贴合，并且装置外壳与传动轴之间为固定连接。
16.上述描述可以看出，通过本技术的上述的技术方案，必然可以解决本技术要解决的技术问题。
17.同时，通过以上技术方案，本实用新型至少具备以下有益效果：
18.本实用新型通过装置外壳上设置的夹持气缸，能够带动活动板进行水平运动，使得两个夹持板相互靠近，从而对晶圆进行夹持，便于人们的使用；通过夹持板上设置的防护胶垫，在夹持槽的配合下，能够对晶圆进行防护限位，可有效的降低发生脱落的情况，且通过缓冲垫片上设置的压力传感器，压力传感器受到的压力数据为0时，代表晶圆夹持完成，提高实用性；
19.本实用新型通过安装壳上设置的连接座，方便将该装置与外部的机械手臂进行连接，从而便于使用，且设置的调节马达能够驱动装置外壳进行转动，从而对夹持的晶圆角度进行调节；通过设置的从动齿轮和主动齿轮，使得调节马达启动能够驱动传动轴进行转动，从而驱动装置外壳旋转，方便对夹持晶圆的另一面进行检测操作，实用性强。
附图说明
20.图1为本实用新型的立体结构示意图；
21.图2为本实用新型装置外壳的剖面结构示意图；
22.图3为本实用新型图1中的a处局部放大示意图；
23.图4为本实用新型安装壳的剖面结构示意图。
24.图中：1、装置外壳；2、夹持气缸；3、活动板；4、导向杆；5、夹持板；6、限位块；7、防护胶垫；8、夹持槽；9、缓冲垫片；10、压力传感器；11、安装壳；12、连接座；13、调节马达；14、主动齿轮；15、从动齿轮；16、传动轴；17、限位轴承。
具体实施方式
25.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
26.实施案例一
27.如附图1-图3所示，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆夹持手臂，包括装置外壳1，装置外壳1的外表面对称安装有两个夹持气缸2，两个夹持气缸2的输出端均设置有活动板3，活动板3的内部连接有导向杆4，活动板3的下表面固定有夹持板5，夹持板5的一侧设置有三个限位块6，夹持板5的内部设置有防护胶垫7，防护胶垫7的内部设置有夹持槽8，夹持板5的末端设置有缓冲垫片9，缓冲垫片9的内部安装有压力传感器10，通过设置为橡胶材质制作而成的防护胶垫7，能够对晶圆起到良好的防护作用，避免夹持板5对晶圆造成损坏。
28.实施例二
29.下面结合具体的工作方式对实施例一中的方案进行进一步的介绍，详见下文描述：
30.如图1、图2和图3所示，作为优选的实施方式，在上述方式的基础上，进一步的，夹持气缸2与装置外壳1之间为螺栓连接，且夹持板5通过活动板3与夹持气缸2之间构成伸缩结构，通过装置外壳1上设置的夹持气缸2，能够带动活动板3进行水平运动，使得两个夹持板5相互靠近，从而对晶圆进行夹持，便于人们的使用；限位块6与夹持板5之间为固定连接，且防护胶垫7与夹持板5之间为一体固定结构，并且夹持槽8贯穿至防护胶垫7的内壁，缓冲垫片9与夹持板5之间为固定连接，通过夹持板5上设置的防护胶垫7，在夹持槽8的配合下，能够对晶圆进行防护限位，可有效的降低发生脱落的情况，且通过缓冲垫片9上设置的压力传感器10，压力传感器10受到的压力数据为0时，代表晶圆夹持完成，提高实用性。
31.如图1、图2和图4所示，作为优选的实施方式，在上述方式的基础上，进一步的，安装壳11，其设置在装置外壳1的上表面，安装壳11的上端设置有连接座12，连接座12与安装壳11之间为一体固定结构，安装壳11的内部安装有调节马达13，调节马达13与安装壳11之间为螺钉连接，通过安装壳11上设置的连接座12，方便将该装置与外部的机械手臂进行连接，从而便于使用，且设置的调节马达13能够驱动装置外壳1进行转动，从而对夹持的晶圆角度进行调节；主动齿轮14，其设置在调节马达13的输出轴，主动齿轮14的左侧连接有从动齿轮15，从动齿轮15的内部连接有传动轴16，传动轴16通过从动齿轮15和主动齿轮14与调节马达13之间构成旋转结构，传动轴16的一侧设置有限位轴承17，限位轴承17的内壁与传动轴16的外壁紧密贴合，且装置外壳1与传动轴16之间为固定连接，通过设置的从动齿轮15和主动齿轮14，使得调节马达13启动能够驱动传动轴16进行转动，从而驱动装置外壳1旋转，方便对夹持晶圆的另一面进行检测操作，实用性强。
32.综合上述可知：
33.本实用新型针对技术问题：现有的夹持手臂使用时不方便对夹持后的晶圆进行角度的调节，从而不便于对晶圆的另一面进行检查操作；采用上述各实施例的技术方案。同时，上述技术方案的实现过程是：
34.在使用该晶圆夹持手臂前，先将装置外壳1放置到合适的位置，通过安装壳11上设置的连接座12，可将连接座12和外部的机械手臂进行连接，从而方便进行使用，在使用时，通过装置外壳1上设置的夹持气缸2，能够带动活动板3进行运动，通过装置外壳1内设置的导向杆4，能够起到导向的作用，避免发生偏移，使得两个夹持板5相互靠近，对晶圆进行夹持，且两个夹持板5上设置的限位块6能够起到限位的作用，避免对晶圆夹持时发生偏移，使得晶圆的边缘进入至防护胶垫7内部的夹持槽8，对晶圆进行限位，通过缓冲垫片9上设置的压力传感器10，当两个夹持板5内夹持有晶圆时，使得压力传感器10受到的压力为0，从而完成夹持，当压力传感器10检测到有压力时，使得压力传感器10的压力数据发送变化，从而检测出两个夹持板5内未夹持有晶圆，方便人们的使用，通过安装壳11内设置的调节马达13，能够带动主动齿轮14啮合从动齿轮15旋转，使得传动轴16带动装置外壳1进行转动，在限位轴承17的配合下，能够保证传动轴16转动时的稳定性，这样能够对夹持的晶圆进行调节，方便对晶圆的另一面进行检查操作，提高该夹持手臂的实用性。
35.通过上述设置，本技术必然能解决上述技术问题，同时，实现以下技术效果：
36.本实用新型通过装置外壳1上设置的夹持气缸2，能够带动活动板3进行水平运动，使得两个夹持板5相互靠近，从而对晶圆进行夹持，便于人们的使用；通过夹持板5上设置的防护胶垫7，在夹持槽8的配合下，能够对晶圆进行防护限位，可有效的降低发生脱落的情况，且通过缓冲垫片9上设置的压力传感器10，压力传感器10受到的压力数据为0时，代表晶圆夹持完成，提高实用性；
37.本实用新型通过安装壳11上设置的连接座12，方便将该装置与外部的机械手臂进行连接，从而便于使用，且设置的调节马达13能够驱动装置外壳1进行转动，从而对夹持的晶圆角度进行调节；通过设置的从动齿轮15和主动齿轮14，使得调节马达13启动能够驱动传动轴16进行转动，从而驱动装置外壳1旋转，方便对夹持晶圆的另一面进行检测操作，实用性强。
38.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种晶圆夹持手臂，其特征在于，包括装置外壳(1)，所述装置外壳(1)的外表面对称安装有两个夹持气缸(2)，两个所述夹持气缸(2)的输出端均设置有活动板(3)，所述活动板(3)的内部连接有导向杆(4)，所述活动板(3)的下表面固定有夹持板(5)，所述夹持板(5)的一侧设置有三个限位块(6)，所述夹持板(5)的内部设置有防护胶垫(7)，所述防护胶垫(7)的内部设置有夹持槽(8)，所述夹持板(5)的末端设置有缓冲垫片(9)，所述缓冲垫片(9)的内部安装有压力传感器(10)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持手臂，其特征在于，所述夹持气缸(2)与装置外壳(1)之间为螺栓连接，且夹持板(5)通过活动板(3)与夹持气缸(2)之间构成伸缩结构。3.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持手臂，其特征在于，所述限位块(6)与夹持板(5)之间为固定连接，且防护胶垫(7)与夹持板(5)之间为一体固定结构，并且夹持槽(8)贯穿至防护胶垫(7)的内壁，所述缓冲垫片(9)与夹持板(5)之间为固定连接。4.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持手臂，其特征在于，所述装置外壳(1)还设有：安装壳(11)，其设置在所述装置外壳(1)的上表面，所述安装壳(11)的上端设置有连接座(12)，所述安装壳(11)的内部安装有调节马达(13)。5.根据权利要求4所述的一种晶圆夹持手臂，其特征在于，所述连接座(12)与安装壳(11)之间为一体固定结构，且调节马达(13)与安装壳(11)之间为螺钉连接。6.根据权利要求4所述的一种晶圆夹持手臂，其特征在于，所述调节马达(13)还设有：主动齿轮(14)，其设置在所述调节马达(13)的输出轴，所述主动齿轮(14)的左侧连接有从动齿轮(15)，所述从动齿轮(15)的内部连接有传动轴(16)，所述传动轴(16)的一侧设置有限位轴承(17)。7.根据权利要求6所述的一种晶圆夹持手臂，其特征在于，所述传动轴(16)通过从动齿轮(15)和主动齿轮(14)与调节马达(13)之间构成旋转结构，且限位轴承(17)的内壁与传动轴(16)的外壁紧密贴合，并且装置外壳(1)与传动轴(16)之间为固定连接。

技术总结

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆夹持手臂，包括装置外壳，所述装置外壳的外表面对称安装有两个夹持气缸，两个所述夹持气缸的输出端均设置有活动板，所述活动板的内部连接有导向杆，所述活动板的下表面固定有夹持板，所述夹持板的一侧设置有三个限位块，所述夹持板的内部设置有防护胶垫，所述防护胶垫的内部设置有夹持槽，所述夹持板的末端设置有缓冲垫片，所述缓冲垫片的内部安装有压力传感器。本实用新型通过夹持板上设置的防护胶垫，在夹持槽的配合下，能够对晶圆进行防护限位，可有效的降低发生脱落的情况，且通过缓冲垫片上设置的压力传感器，压力传感器受到的压力数据为0时，代表晶圆夹持完成，提高实用性。提高实用性。提高实用性。