用金属纳米颗粒修饰的Ge纳米柱光电探测器及制备方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114388649 A (43)申请公布日 2022.04.22

(21)申请号 CN202111294721.4

(22)申请日 2021.11.03

(71)申请人西安电子科技大学重庆集成电路创新研究院

地址 401332 重庆市沙坪坝区西永微电园研发楼3期1号楼1单元

(72)发明人王利明张宁宁胡辉勇王博张一驰杨茂龙郝跃凯

(74)专利代理机构西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人王海栋

(51)Int.CI

H01L31/108

H01L31/0288

H01L31/18

B82Y15/00

B82Y30/00

B82Y40/00

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

用金属纳米颗粒修饰的Ge纳米柱光电探测器及制备方法

(57)摘要

本发明公开了用金属纳米颗粒修饰的Ge纳米柱光电探测器及制备方法，其特征在于，包括：底部电极；本征Ge衬底层，覆盖所述底部电极；多个Ge纳米柱，呈周期性的排布于所述本征Ge衬底层上；所述Ge纳米柱的表面吸附有金属纳米颗粒；所述金属的功函数大于4.46eV；石墨烯电极，覆盖在所述多个Ge纳米柱上，并和所述本征Ge衬底层间隔非导电的介质材料。本发明提供的用金属纳米颗粒修饰的Ge纳米柱光电探测器，暗电流小、光电流以及响应度较高，具有较高的探测性能。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-04-22	公开	发明专利申请公布
2022-05-10	实质审查的生效IPC(主分类):H01L31/108专利申请号:2021112947214申请日:20211103	实质审查的生效