专利类型：实用新型专利
发明人：方主亮，孙建侠，田清勇，范斌，蔡龙华，陈伟中，马英壮，刘支赛
申请号：CN201820481208.3
申请日：20180404
公开号：CN208014746U
公开日：
20181026
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型涉及光伏领域，具体涉及一种用于制备钙钛矿层的装置，其包括：反应室；加热机构，承载并加热涂布后的基片；真空腔，使反应室真空；真空阀，关断真空腔；钝化气储罐，用于向反应室中输入钝化气；钝化气阀，关断钝化气储罐；钝化气排出机构，用于排出反应室中的钝化气；以及控制单元。上述用于制备钙钛矿层的装置，采用真空腔作用于反应室，可以快速使反应腔压强降低，从而提高钙钛矿层的均一性以及致密性；同时，在结晶之后，用钝化气处理，使钙钛矿薄膜表面得到修饰，进一步减少钙钛矿层的表面缺陷态。另外，在钝化操作过程中，钝化气密封于反应腔内，有助于提高钝化效果以及钝化气的利用率，同时亦避免钝化气对操作人员的伤害。 申请人：苏州协鑫纳米科技有限公司，苏州协鑫能源技术发展有限公司
地址：215000 江苏省苏州市工业园区东长路88号N3栋1-3层
国籍：CN
代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：王乐
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