一种光刻机的光罩传送手臂的制作方法

1.本实用新型涉及半导体设备技术领域，特别涉及一种光刻机的光罩传送手臂。

背景技术：

2.半导体制造工序中，光刻机的传送手臂是整个光刻机光罩传送机构中的一个重要部件，需要光刻机上的传送手臂把光罩盒里的光罩准确的传送到曝光载台上进行曝光，目前光刻机传送手臂主要靠气体驱动机械气动活塞顶针移动从而带动机械臂摆动，将光罩进行夹持并固定在机械臂的末端，机械臂末端还设置有向光罩方向勾齿，勾齿向上翘起形成固定光罩的限位槽，光罩还通过机械臂上的限位槽固定，然而由于采用气动的方式驱动机械臂实现开合，空气介质的可压缩性使机械臂的位置控制变得较为复杂，因此存在将光罩顶偏的可能，如果发生机台光罩传送宕机报错，需要手动拿取时，机械臂之间的空间较小，难以拿取，容易损坏光罩。

技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种光刻机的光罩传送手臂，以解决传送手臂容易损坏或顶偏光罩的问题。
4.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种光刻机的光罩传送手臂，所述传送手臂包括至少两根机械臂，所述至少两根机械臂之间形成一用于容置光罩的容置空间，每根所述机械臂朝向所述容置空间的一侧上设置有至少两个真空吸盘，每根所述机械臂上至少有两个真空吸盘的真空供应来源不同。
5.优选地，所述机械臂具有第一端和第二端，设置于所述第一端的真空吸盘和设置于所述第二端的真空吸盘的真空供应来源不同。
6.优选地，所述机械臂的数量为两个，包括第一机械臂和第二机械臂，所述第一机械臂的第一端的真空吸盘和第二端的真空吸盘的真空供应来源不同；所述第二机械臂的第一端的真空吸盘和第二端的真空吸盘的真空供应来源不同。
7.优选地，设置于所述第一机械臂的第一端的真空吸盘和设置于所述第二机械臂的第一端的真空吸盘的供应来源不同。
8.优选地，设置于所述第一机械臂的第二端的真空吸盘和设置于所述第二机械臂的第二端的真空吸盘的供应来源不同。
9.优选地，设置在所述第一机械臂的第一端的真空吸盘与设置在所述第二机械臂的第二端的真空吸盘具有相同的真空供应来源，设置在所述第一机械臂的第二端的真空吸盘与设置在所述第二机械臂的第一端的真空吸盘具有相同的真空供应来源。
10.优选地，设置在所述第一机械臂的第一端的真空吸盘和设置在所述第二机械臂的第一端的真空吸盘具有相同的真空供应来源。
11.优选地，设置在所述第一机械臂的第二端的真空吸盘和设置在所述第二机械臂的第二端的真空吸盘具有相同的真空供应来源。
12.优选地，设置在所述第一机械臂的第一端的真空吸盘与设置在所述第二机械臂的第一端的真空吸盘具有相同的真空供应来源，设置在所述第一机械臂的第二端的真空吸盘与设置在所述第二机械臂的第二端的真空吸盘具有相同的真空供应来源。
13.优选地，还包括连接件，所述机械臂的第二端与所述连接件相连，第一端自由，每根所述机械臂背向所述容置空间的一侧设置有一安全杆，所述安全杆的一端与所述连接件连接，另一端自由。
14.在本实用新型提供的光刻机的光罩传送手臂，通过在传送手臂上设置真空吸盘对光罩进行吸附固定，从而避免机械装置将光罩顶偏的状况，并且减少移送光罩带来的损伤，更进一步地，在同一机械臂上设置具有不同真空供应来源的真空吸盘，例如通过两个真空供应来源不同的真空供应管向两个机械臂上真空吸盘供应真空，避免因其中一路供应来源故障导致光罩掉落，损坏光罩。
附图说明
15.图1是本实用新型提供的一种实施例的示意图；
16.图2是本实用新型提供的光刻机的光罩传送手臂一种实施例的真空供应系统的示意图。
17.图中：
18.1、传送手臂；2、连接件；3、机械臂；31、第一机械臂；32、第二机械臂；4、第一端；5、第二端；6、安全杆。
具体实施方式
19.以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的光刻机的光罩传送手臂作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
20.发明人研究发现，采用气动方式驱动机械装置夹取光罩，由于机械装置的控制容易出现误差，会将光罩顶偏，并且一旦机台出错，难以将光罩取出，并且机械装置操控夹取光罩容易损伤光罩。
21.基此，在本实用新型的核心思想在于，通过采用真空吸附的方式固定光罩，减少机械臂直接接触光罩所带来的损伤，并且设置同一机械臂上的真空吸盘的真空供应来源不同，从而避免真空供应管路出现故障导致光罩掉落，损坏光罩。
22.具体的，请参考图1，其为本实用新型提供的一种实施例的示意图。如图1所示，传送手臂1包括至少两根机械臂3，至少两根机械臂3之间形成一用于容置光罩的容置空间，每根机械臂3朝向容置空间的一侧上设置有至少两个真空吸盘(未标注)，每根机械臂3上至少有两个真空吸盘的真空供应来源不同。
23.在一种实施例中，通过在机械臂3上设置真空吸盘对光罩进行吸附固定，设置至少两个机械臂3以对光罩的外壁进行吸附固定，并且每根机械臂3上具有的至少两个真空吸盘的真空供应来源不同，以在其中一个真空吸盘的真空供应来源出现故障时，其余的真空吸盘仍然能够正常工作吸附固定光罩的外壁。
24.具体的，机械臂3具有第一端4和第二端5，设置于第一端4的真空吸盘和设置于第二端5的真空吸盘的真空供应来源不同。
25.在一种实施方式中，机械臂3可以为两个、四个或六个，机械臂3具有第一端4和第二端5，在第一端4设置有至少一个真空吸盘，在第二端5的设置有至少一个真空吸盘，设置于第一端4的真空吸盘和设置于第二端5的真空吸盘的真空供应来自于不同的真空供应管道。
26.具体的，机械臂3的数量为两个，包括第一机械臂31和第二机械臂32，第一机械臂31的第一端4的真空吸盘和第二端5的真空吸盘的真空供应来源不同；第二机械臂32的第一端4的真空吸盘和第二端5的真空吸盘的真空供应来源不同。
27.在一种实施方式中，另机械臂3的数量设置两根，则真空吸盘设置在两根机械臂3相对的一侧，如图1所示出的。
28.具体的，设置于第一机械臂31的第一端4的真空吸盘和设置于第二机械臂32的第一端4的真空吸盘的供应来源不同；设置于第一机械臂31的第二端5的真空吸盘和设置于第二机械臂32的第二端5的真空吸盘的供应来源不同。
29.在一种实施方式中，第一机械臂31的第一端4和第二端5的真空吸盘与第二机械臂32的第一端4和第二端5的真空吸盘的真空供应来源均不相同，即第一机械臂31具有两路不同的真空供应管道分别向其第一端4和第二端5的真空吸盘供应真空，第二机械臂32具有另外两路(与向第一机械臂31供应真空的管道不同供应来源)不同的真空供应管道分别向其第一端4和第二端5的真空吸盘供应真空。
30.具体的，设置在第一机械臂31的第一端4的真空吸盘与设置在第二机械臂32的第二端5的真空吸盘具有相同的真空供应来源，设置在第一机械臂31的第二端5的真空吸盘与设置在第二机械臂32的第一端4的真空吸盘具有相同的真空供应来源。
31.在一种实施方式中，可以视为向第一机械臂31的第一端4的真空吸盘供应真空的真空管道与向第二机械臂32的第二端5的真空吸盘供应真空的真空管道连通或者说是同一真空管道，在此可以记这一真空管道为第一真空供应管。同样地，可以视为向第二机械臂32的第一端4的真空吸盘供应真空的真空管道与向第一机械臂31的第二端5的真空吸盘供应真空的真空管道连通或者说是同一真空管道，在此可以记这一真空管道为第二真空供应管。第一真空供应管和第二真空供应管的真空供应来源不同。
32.因此，在第一真空供应管的真空供应出故障时，第二真空供应管供应真空的对角的真空吸盘仍能够发挥作用，对光罩进行紧密吸附，避免光罩掉落损伤，同样地，第二真空供应管的真空供应出现故障时，第一真空供应管供应真空的对角的真空吸盘仍能够发挥作用。
33.具体的，设置在第一机械臂31的第一端4的真空吸盘和设置在第二机械臂32的第一端4的真空吸盘具有相同的真空供应来源；设置在第一机械臂31的第二端5的真空吸盘和设置在第二机械臂32的第二端5的真空吸盘具有相同的真空供应来源。
34.具体的，设置在第一机械臂31的第一端4的真空吸盘与设置在第二机械臂32的第一端4的真空吸盘具有相同的真空供应来源，设置在第一机械臂31的第二端5的真空吸盘与设置在第二机械臂32的第二端5的真空吸盘具有相同的真空供应来源。
35.在一种实施方式中，可以视为向第一机械臂31的第一端4的真空吸盘供应真空的
真空管道与向第二机械臂32的第一端4的真空吸盘供应真空的真空管道连通或者说是同一真空管道，在此可以记这一真空管道为第一真空供应管。同样地，可以视为向第二机械臂32的第二端5的真空吸盘供应真空的真空管道与向第一机械臂31的第二端5的真空吸盘供应真空的真空管道连通或者说是同一真空管道，在此可以记这一真空管道为第二真空供应管。第一真空供应管和第二真空供应管的真空供应来源不同，当其中一真空供应管出现故障时，另一真空供应管供应真空的真空吸盘仍能够吸附固定光罩。
36.在一种实施方式中，基于上述采用两路真空供应管供应真空的方式，从传送手臂1接出有向真空吸盘供应真空的第一真空供应管、第二真空供应管，如图2所示，第一真空供应管接出传送手臂1的一端连通有第一真空罐在第一真空罐和传送手臂1之间，第一真空供应管上设置有真空控制单元来控制第一真空供应管的启闭，其中，真空控制单元为真空电磁阀，在真空控制单元和传送手臂1之间还设置有真空检测单元，以便检测第一真空供应管内的真空状态，真空检测单元为传感器；同样地，第二真空供应管接出传送手臂1的一端连通有第二真空罐，在传送手臂1和第二真空罐之间，第二真空供应管上同样依次设置有真空检测单元、真空控制单元，真空控制单元为真空电磁阀，真空检测单元为传感器，且第一真空罐和第二真空罐分别通过管道连接厂务真空系统。
37.具体的，还包括连接件2，机械臂3的第二端5与连接件2相连，第一端4自由，每根机械臂3背向容置空间的一侧设置有一安全杆6，安全杆的6一端与连接件2连接，另一端自由。
38.在一种实施方式中，连接件2起连接机械臂3和外部驱动装置，外部驱动装置可以通过驱动连接件2移动，从而带动机械臂3移动，使机械臂3到达指定位置，然后吸附固定光罩，还从连接件2上接出真空供应管从外部获取真空供应，以保证真空吸盘的正常运行。作为一种示例，机械臂3可以通过电动丝杠与连接件2相连，相对的两根机械臂3可以相向或相背平移，以增大或缩小机械臂3之间的距离，便于固定光罩。连接件2与其上的机械臂3共同构成半包围形的用于固定光罩的空间，上述的第一端4可以是机械臂3远离连接件2的一端，而第二端5则是机械臂3靠近连接件2的一端。另外，安全杆6能够保护机械臂3，避免机械臂3受到外界撞击，还能对机械臂3起到限位的作用。
39.综上可见，在本实用新型实施例提供的光刻机的光罩传送手臂中，通过通过在传送手臂上设置真空吸盘对光罩进行吸附固定，从而避免机械装置将光罩顶偏的状况，并且减少移送光罩带来的损伤，更进一步的，在同一机械臂上设置具有不同真空供应来源的真空吸盘，例如通过两个真空供应来源不同的真空供应管向两个机械臂上真空吸盘供应真空，避免因其中一路供应来源故障导致光罩掉落，损坏光罩。
40.上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

技术特征：

1.一种光刻机的光罩传送手臂，其特征在于，所述传送手臂包括至少两根机械臂，所述至少两根机械臂之间形成一用于容置光罩的容置空间，每根所述机械臂朝向所述容置空间的一侧上设置有至少两个真空吸盘，每根所述机械臂上至少有两个真空吸盘的真空供应来源不同。2.如权利要求1所述的光刻机的光罩传送手臂，其特征在于，所述机械臂具有第一端和第二端，设置于所述第一端的真空吸盘和设置于所述第二端的真空吸盘的真空供应来源不同。3.如权利要求2所述的光刻机的光罩传送手臂，其特征在于，所述机械臂的数量为两个，包括第一机械臂和第二机械臂，所述第一机械臂的第一端的真空吸盘和第二端的真空吸盘的真空供应来源不同；所述第二机械臂的第一端的真空吸盘和第二端的真空吸盘的真空供应来源不同。4.如权利要求3所述的光刻机的光罩传送手臂，其特征在于，设置于所述第一机械臂的第一端的真空吸盘和设置于所述第二机械臂的第一端的真空吸盘的供应来源不同。5.如权利要求4所述的光刻机的光罩传送手臂，其特征在于，设置于所述第一机械臂的第二端的真空吸盘和设置于所述第二机械臂的第二端的真空吸盘的供应来源不同。6.如权利要求5所述的光刻机的光罩传送手臂，其特征在于，设置在所述第一机械臂的第一端的真空吸盘与设置在所述第二机械臂的第二端的真空吸盘具有相同的真空供应来源，设置在所述第一机械臂的第二端的真空吸盘与设置在所述第二机械臂的第一端的真空吸盘具有相同的真空供应来源。7.如权利要求3所述的光刻机的光罩传送手臂，其特征在于，设置在所述第一机械臂的第一端的真空吸盘和设置在所述第二机械臂的第一端的真空吸盘具有相同的真空供应来源。8.如权利要求7所述的光刻机的光罩传送手臂，其特征在于，设置在所述第一机械臂的第二端的真空吸盘和设置在所述第二机械臂的第二端的真空吸盘具有相同的真空供应来源。9.如权利要求8所述的光刻机的光罩传送手臂，其特征在于，设置在所述第一机械臂的第一端的真空吸盘与设置在所述第二机械臂的第一端的真空吸盘具有相同的真空供应来源，设置在所述第一机械臂的第二端的真空吸盘与设置在所述第二机械臂的第二端的真空吸盘具有相同的真空供应来源。10.如权利要求1所述的光刻机的光罩传送手臂，其特征在于，还包括连接件，所述机械臂的第二端与所述连接件相连，第一端自由，每根所述机械臂背向所述容置空间的一侧设置有一安全杆，所述安全杆的一端与所述连接件连接，另一端自由。

技术总结

本实用新型提供了一种光刻机的光罩传送手臂，涉及半导体设备技术领域。一种光刻机的光罩传送手臂，传送手臂包括至少两根机械臂，所述至少两根机械臂之间形成一用于容置光罩的容置空间，每根所述机械臂朝向所述容置空间的一侧上设置有至少两个真空吸盘，每根所述机械臂上至少有两个真空吸盘的真空供应来源不同。采用真空吸附的方式固定光罩，减少机械臂直接接触光罩所带来的损伤，并且设置同一机械臂上的真空吸盘的真空供应来源不同，从而避免真空供应管路出现故障导致光罩掉落，损坏光罩。罩。罩。