压电驱动器单元阵列和变形镜的制作方法

1.本技术属于压电驱动器领域，尤其涉及一种压电驱动器单元阵列和变形镜。

背景技术：

2.压电驱动器是利用逆压电效应，通过电场控制压电体的机械变形，从而产生直线运动的一类元件，广泛应用于航空技术、测量技术、精密加工、医学器械等领域。
3.通过多个压电驱动器单元组装成的压电驱动器单元阵列可以应用在不同的技术领域，例如在自适应光学领域，压电驱动器单元阵列可以制造变形镜，变形镜可以实现激光通信等领域的精密成像、聚焦等功能。压电驱动器单元阵列中的多个压电驱动器单元需要保持一致，通过多个压电驱动器单元组装而成的压电驱动器单元阵列很难保证多个压电驱动器单元之间的一致性。

技术实现要素：

4.本技术的目的在于提供一种压电驱动器单元阵列，旨在解决压电驱动器单元阵列中多个压电驱动器单元之间的一致性问题。
5.本技术实施例提了一种压电驱动器单元阵列，包括：基座层和多个压电驱动器单元，所述压电驱动器单元的活动端设置有保护层；
6.所述多个压电驱动器单元阵列排布，所述多个压电驱动器单元的固定端与所述基座层连接；
7.所述压电驱动器单元、所述基座层和所述保护层一体成型。
8.本技术实施例的第二方面提了一种变形镜，包括如第一方面所述的压电驱动器单元阵列。
9.本实用新型实施例与现有技术相比存在的有益效果是：压电驱动器单元阵列包括基座层和多个压电驱动器单元，压电驱动器单元的活动端设置有保护层；多个压电驱动器单元阵列排布，多个压电驱动器单元的固定端与基座层连接；压电驱动器单元、基座层和保护层一体成型。由于阵列中的多个压电驱动器单元一体成型，在制造压电驱动器单元阵列过程中，可以使多个压电驱动器单元在制造过程中的工艺参数始终保持一致，从而可以使多个压电驱动器单元的尺寸及性能参数保持一致，进而可以提高多个压电驱动器单元的一致性。
附图说明
10.图1示出了本技术实施例提供的一种压电驱动器单元阵列的结构示意图；
11.图2示出了本技术实施例提供的一种压电驱动器单元阵列的制造方法的步骤流程图；
12.图3示出了本技术实施例提供的一种电极网版的示意图；
13.图4示出了本技术实施例提供的一种目标空间范围的剖视图；
14.图5示出了本技术实施例提供的另一种压电驱动器单元阵列的制造方法的步骤流程图；
15.图6示出了图3中区域a的局部放大图；
16.图7示出了本技术实施例提供的一种压电驱动器单元阵列俯视图；
17.图8示出了本技术实施例提供的另一种压电驱动器单元阵列的结构示意图；
18.图9示出了本技术实施例提供的一种压电驱动器单元的保护示意图。
具体实施方式
19.为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
20.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
21.需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
22.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
23.图1示出了本技术实施例提供的一种压电驱动器单元阵列的结构示意图，压电驱动器单元阵列包括：基座层101和多个压电驱动器单元102，压电驱动器单元的活动端设置有保护层；多个压电驱动器单元阵列排布，多个压电驱动器单元的固定端与基座层连接；压电驱动器单元、基座层和保护层一体成型。
24.其中，在图1所示的压电驱动器单元阵列中，基座层、保护层和压电驱动器单元采用同一种压电材料制成，基座层、保护层和压电驱动器单元一体成型，因此图1并未示出位于压电驱动器单元活动端的保护层。
25.为了便于本领域技术人员对图1所示的压电驱动器单元阵列进行更好的理解，本实施例还提供了一种压电驱动器单元阵列的制造方法。
26.图2示出了本技术实施例提供的一种压电驱动器单元阵列的制造方法的步骤流程图，该方法可以包括如下步骤：
27.步骤201、叠压基座层、多层压电功能层和保护层。
28.其中，压电功能层位于基座层和保护层之间，目标压电功能层的表面印刷有内电极阵列，多个目标压电功能层在多层压电功能层中间隔设置，同一阵列位置对应的多个内电极构成一个叉指式内电极。基座层用于承载整个压电驱动器单元阵列，并作为压电驱动器单元的固定端，保护层位于压电驱动器单元远离基座层的一端，作为压电驱动器单元的活动端，对压电驱动器单元远离基座层的一端进行保护。
29.示例性地，基座层、压电驱动器单元和保护层可以使用相同的压电材料制成，压电材料例如生瓷片，生瓷片由生瓷带切割而成，生瓷带由压电陶瓷浆料经流延工艺得到。当基座层、压电驱动器单元和保护层使用相同的压电材料制成时，在制造压电驱动器单元阵列之前，首先需要准备三部分压电材料，第一部分压电材料用于制造基座层，第二部分压电材料用于制造位于基座层和保护层之间的压电驱动器单元，第三部分压电材料用于制造保护层。可以在第二部分压电材料中的部分压电材料的表面印刷内电极阵列，第二部分压电材料中的内电极用于构成压电驱动器单元阵列中每个压电驱动器单元的叉指式内电极。以生瓷片为例，首先可以根据压电驱动器单元阵列的尺寸规格、生瓷片的厚度和压电驱动器单元的尺寸，确定第一部分生瓷片的片数x，确定第二部分生瓷片的片数y，以及确定第三部分生瓷片的片数z。针对第二部分生瓷片，根据压电驱动器单元中相邻的两个内电极之间的厚度，确定需要印刷内电极阵列的生瓷片，该部分生瓷片即目标压电功能层，在目标压电功能层的表面印刷内电极阵列。x、y和z为正整数，第一部分生瓷片、第二部分生瓷片和第三部分生瓷片的尺寸相同，均为矩形生瓷片，以制造矩形的基座层，以及位于基座层上的压电驱动器单元，第一部分生瓷片、第二部分生瓷片和第三部分生瓷片的尺寸大于或等于压电驱动器单元阵列的尺寸。
30.其中，为了得到压电驱动器单元的叉指式内电极，可以使用两种不同的电极网版在目标压电功能层的表面印刷内电极阵列，以使多个目标压电功能层上同一阵列位置的内电极在纵向上构成压电驱动器单元的叉指式内电极。图3示出了本技术实施例提供的一种电极网版的示意图，该电极网版可以称之为第一电极网版，第一电极网版中包括印刷区阵列，印刷区阵列中包括多个矩形印刷区，每个矩形印刷区对应两个压电驱动器单元。以其中的一个矩形印刷区301为例，矩形印刷区301在印刷区阵列中的阵列位置为第二行、第二列，矩形印刷区301内用于印刷第一内电极，第一内电极的形状为矩形，第一内电极用于构成压电驱动器单元的正内电极或负内电极。另一种电极网版可以称之为第二电极网版，第二电极网版中包括与第一电极网版相同的印刷区阵列，并且印刷区的尺寸和形状相同，第一电极网版和第二电极网版中同一阵列位置的印刷区之间相差预设距离，以图3为准，第二电极网版中与矩形印刷区301同阵列位置的矩形印刷区向矩形印刷区301的右侧或左侧偏移预设距离。第二电极网版中的印刷区阵列用于印刷第二内电极，第二内电极用于构成与第一内电极的极性相反的负内电极或正内电极。由于第二电极网版中的印刷区阵列向左侧偏移预设距离或向右侧偏移预设距离，因此同一个阵列位置的第一内电极和第二内电极的部分区域重叠、部分区域不重叠，可以构成叉指式内电极。
31.图4示出了本技术实施例提供的一种目标空间范围的剖视图，在多层压电功能层中，每个阵列位置对应一个目标空间范围，目标空间范围内的叉指式内电极和压电功能层组成一个压电驱动器单元。以图3所示的矩形印刷区301为例，矩形印刷区301对应的目标空间范围400中包括多层压电功能层，在多层压电功能层中，目标压电功能层上印刷内电极阵列，多个目标压电功能层在所有压电功能层中间隔设置，任意相邻的两个内电极之间的压电功能层的数量是固定的，从而可以使相邻的两个内电极之间的压电材料的厚度是一定的。在整个目标空间范围400内，包括从上至下交替叠压的第一内电极401和第二内电极402，在压电驱动器单元的极化过程中，可以将第一内电极401和第二内电极402中的一个极化为正内电极，另一个极化为负内电极。为便于区分，可以将印刷第一内电极的生瓷片称之
为第一生瓷片，印刷第二内电极的生瓷片称之为第二生瓷片。结合上述举例，在确定第二部分生瓷片之后，根据叉指式内电极的结构，可以确定采用第一电极网版印刷第一内电极的生瓷片的数量为m，采用第二电极网版印刷第二内电极的生瓷片的数量为n，m+n为目标压电功能层的数量，m＝n或者m与n之间相差1。然后，采用第一电极网版在m片第一生瓷片上印刷第一内电极阵列，采用第二电极网版在n片第二生瓷片上印刷第二内电极阵列。
32.在备好第一部分生瓷片、第二部分生瓷片和第三部分生瓷片之后，首先在叠压机中按设定的叠膜程序将第一部分生瓷片依次叠在一起，然后在第一部分生瓷片之上铺设第二部分生瓷片。在铺设第二部分生瓷片的过程中，每隔预设数量未印刷内电极的生瓷片上铺设一张印刷有内电极阵列的生瓷片，并且使印刷内电极的第一生瓷片和第二生瓷片在多层第二部分生瓷片中交替。接着，在第二部分生瓷片之上依次铺设第三部分生瓷片。最后，采用等静压工艺对叠在一起的第一部分生瓷片、第二部分生瓷片和第三部分生瓷片进行处理，使第一部分生瓷片、第二部分生瓷片和第三部分生瓷片成型形成压电驱动器单元阵列的阵列生坯。
33.需要说明的是，压电功能层采用压电材料制成，压电材料可以是压电陶瓷、压电晶体或压电薄膜。基座层和保护层可以由压电材料制成，也可以由非压电材料制成，只需可以与压电材料烧结匹配即可。
34.步骤202、对基座层、压电功能层和保护层进行排胶烧结。
35.本实施例中，在基座层上叠压多层压电功能层和保护层之后，可以对基座层、压电功能层和保护层进行排胶烧结。结合上述举例，首先可以将叠压得到的阵列生坯放入排胶炉进行排胶，通过高温使基座层、压电功能层和保护层中的有机物挥发，然后将排胶后的阵列生坯放入烧结炉匹配共烧，使基座层、压电功能层和保护层烧结成一体成型的阵列块。
36.步骤203、切割掉内电极所在的目标空间范围外的压电功能层和保护层。
37.其中，目标空间范围内的压电功能层、内电极和保护层构成一个压电驱动器单元，内电极的两个电极端在切割后分别从压电驱动器单元的两侧引出。
38.本实施例中，可以对阵列生坯进行切割，切割掉目标空间范围外的压电功能层和保护层，也可以对阵列块进行切割，切割掉目标空间范围外的压电功能层和保护层。结合图3和图4所示，电极网版中可以印刷切割矩形302，切割矩形302中的长边3021为切割线，可以在每个生瓷片的表面印刷切割矩形302，以切割线3021基准，向正对基座层的方向对阵列生坯或阵列块进行切割，切割掉两条切割线之间的压电功能层和保护层，以切割掉目标空间范围之外的压电功能层和保护层。两条切割线3021之间形成一个切割槽，切割槽中的压电功能层、保护层和内电极部分从整个阵列生坯或阵列块中切除，交叉的多条切割槽将整个阵列生坯或阵列块划分为基座层101和多个阵列排布的压电驱动器单元102，保护层与压电驱动器单元融合为一体，位于压电驱动器单元的顶部。由于目标空间范围外的内电极部分也被切割掉，使内电极的两个电极端分别从压电驱动器单元的两侧引出，电极端引出的侧面为压电驱动器单元的电极侧。
39.需要说明的是，切割线的位置可以根据内电极的位置确定，根据电极网版中印刷区的位置确定切割线，在压电功能层的表面印刷切割线或者在保护层的表面印刷切割线，在切割过程中，可以根据切割线确定目标空间范围，使一个目标空间范围内包括一个压电驱动器单元的内电极和压电功能层，并且在切割后，可以使内电极的电极端从电极侧引出。
在切割过程中，也可以切割掉部分基座层部分，以使压电驱动器单元中所有内电极的电极端从压电功能层中漏出。
40.步骤204、通过电极端对排胶烧结后的多个压电驱动器单元进行极化，得到由基座层、多个压电驱动器单元和保护层组成的压电驱动器单元阵列。
41.本实施例中，在得到由目标空间范围内的压电功能层和内电极组成的压电驱动器单元之后，可以对多个压电驱动器单元进行统一极化，将多个压电驱动器单元极化为极化方向相同的压电驱动器单元。例如，可以分别在两个电极侧设置连接件，连接件连接所在电极侧引出的所有电极端，通过引线连接连接件，将烧结得到的阵列块放入硅油或其它极化介质中，一个电极侧的连接件通过引线连接正极电压，另一个电极侧的连接件通过引线连接负极电压，对多个压电驱动器单元同时进行极化，连接正极电压的内电极被极化为压电驱动器单元的正内电极，连接负极电压的内电极被极化为负内电极。多个压电驱动器单元中的内部结构相同，在极化过程中，可以使多个压电驱动器单元的极化方向相同，将压电驱动器单元背离基座层的一端极化为压电驱动器单元的活动端，基座层作为压电驱动器单元的固定端。
42.需要说明的是，本实施例中将压电驱动器单元阵列划分为三个部分，基座层、压电驱动器单元和保护层。实际应用中，也可以将基座层和保护层划分为压电驱动器单元的一部分。
43.可选地，压电驱动器单元的非活性区设置有至少一个连接柱，连接柱连接非活性区的多个同极性内电极。
44.可选地，压电驱动器单元的电极端从压电驱动器单元的电极侧引出，电极侧设置有第一连接件，第一连接件连接电极侧的多个电极端。
45.可选地，第一连接件为通过磁控溅射工艺在压电驱动器单元的电极侧涂覆的第一电极层。
46.可选地，第一电极层的厚度不低于5微米。
47.可选地，在具有相对电极侧的两列压电驱动器单元之间的基座层表面上设置有第二连接件，第二连接件连接相邻的第一连接件。
48.可选地，第二连接件为通过磁控溅射工艺在基座层表面上涂覆的第二电极层。
49.可选地，还包括与第二连接件连接的引线。
50.可选地，基座层、压电驱动器单元和保护层采用同一种压电材料制成。
51.为了便于本领域技术人员对本实施例中的压电驱动器单元阵列进行更好的理解，本实施例还提供了另一种压电驱动器单元阵列的制造方法。
52.图5示出了本技术实施例提供的另一种压电驱动器单元阵列的制造方法的步骤流程图，该方法可以包括如下步骤：
53.步骤501、叠压基座层、多层压电功能层和保护层。
54.可选地，在叠压基座层、多层压电功能层和保护层之前，该方法还包括：
55.在压电功能层的目标区域内打孔形成至少一个填充孔，目标区域对应压电驱动器单元的非活性区；
56.在填充孔内填充导电体，同一位置的导电体组成连接柱，以连接连接柱所在的非活性区内的内电极。
57.在一种实施例中，在叠压压电功能层之前，可以在压电功能层的目标区域进行打孔，并填充导电体。如图6所示，图6示出了图2中区域a的局部放大图，区域a中包括一个矩形印刷区203，矩形印刷区203用于印刷第二内电极302，第一目标区域位于矩形印刷区203的一侧，第一目标区域中未印刷第二内电极302，可以在第一目标区域打孔形成一个或多个填充孔2031。在压电驱动器单元中，第一目标区域中包括部分第一内电极301，在该区域中只存在第一内电极，为非活性区。在每片第二部分生瓷片的第一目标区域打孔，并填充导电体之后，多层生瓷片中的导电体可以组成如图3所示的第一连接柱303，第一连接柱可以连接非活性区内的第一内电极301，实现多个第一内电极301的连接。同样的，第二目标区域位于第二内电极302的右侧，在每个第二部分生瓷片的第二目标区域打孔，并填充导电体，形成第二连接柱304，第二连接柱可以串联非活性区内的多个第二内电极302。填充孔的具体数量可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。
58.本技术实施例中，在压电功能层的目标区域内打孔填充导电体，可以通过导电体组成连接柱，串联压电驱动器单元中的内电极。在压电驱动器单元的使用过程中，需要在电极侧设置连接件，以连接电极侧引出的多个电极端。而由于压电驱动器单元在通电之后会发生形变，极易导致连接件断裂。当在压电驱动器单元内部设置连接柱时，可以在外部的连接件断裂时，通过内部的连接柱保证压电驱动器单元的正内电极和负内电极均是连接的，从而可以提高内电极连接的可靠性，降低压电驱动器单元的故障率。
59.步骤502、对基座层、多层压电功能层和保护层进行排胶烧结。
60.步骤503、对烧结得到的阵列块进行研磨。
61.可选地，在排胶烧结之后，该方法还可以包括：
62.对基座层背离压电功能层的一侧进行研磨，以及对保护层背离基座层的一侧进行研磨，将压电驱动器单元研磨至目标厚度。
63.在一种实施方式中，在对阵列生坯进行排胶烧结，得到阵列块之后，可以对阵列块进行双面研磨。如图1所述，可以对基座层背离压电驱动器单元的一侧进行研磨，以及对保护层背离压电驱动器单元的一侧进行研磨，研磨精度可以根据需求控制。例如，若所需的压电驱动器阵列的目标厚度为20毫米，研磨精度为
±
0.01毫米，可以将基座层背离压电驱动器单元的一侧与保护层背离压电驱动器单元的一侧之间的厚度研磨至20
±
0.01毫米。目标厚度和研磨精度的具体值可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。
64.本实用新型实施例中，排胶烧结之后，对排胶烧结得到的阵列块进行双面研磨，可以将压电驱动器单元的顶部和底部研磨至所需的平整度，同时可以使压电驱动器阵列的厚度符合要求。
65.步骤504、对研磨后的阵列块进行切割，切割掉目标空间范围外的压电功能层和保护层。
66.步骤505、在电极侧设置第一连接件，以及在具有相对电极侧的两列压电驱动器单元之间的基座层表面上设置第二连接件。
67.可选地，在切割得到压电驱动器单元之后，该方法还可以包括：
68.在电极端所在的电极侧设置第一连接件，第一连接件连接电极侧引出的多个电极端。
69.在一种实施方式中，可以在压电驱动器单元的电极侧设置第一连接件，通过第一
连接件连接电极侧引出的多个电极端。结合图4所示，在压电驱动器单元中，多个第一内电极401的电极端从左侧引出，多个第二内电极402的电极端从右侧引出，可以在第一电极端引出的电极侧设置第一连接件，通过第一连接件连接多个第一内电极401的电极端。同样的，可以在第二电极端引出的电极侧设置第一连接件，通过第一连接件连接多个第二内电极402的电极端。
70.本技术实施例中，在电极侧设置连接电极端的第一连接件，可以便于将电极侧的多个电极端连接，以通过第一连接件对压电驱动器单元通电极化，以及通过第一连接件对压电驱动器单元进行通电。
71.可选地，在切割得到压电驱动器单元之后，该方法还可以包括：在具有相对电极侧的两列压电驱动器单元之间的基座层表面上设置第二连接件，第二连接件连接相邻的第一连接件。
72.在一种实施方式中，可以在基座层的基座层表面上设置第二连接件，第二连接件可以连接具有相对电极侧的两列压电驱动器单元上的第一连接件。示例性地，图7示出了本技术实施例提供的一种压电驱动器阵列俯视图，可以将相邻的两列压电驱动器单元划分为一个压电驱动器单元组，并在相邻的两列电压驱动器之间的基座层表面701上设置第二连接件，第二连接件可以连接位于连接面701两侧的两列压电驱动器单元上的第一连接件。图7中符号“+”表示压电驱动器单元的正极，符号“－”表示压电驱动器单元的负极。
73.图8示出了本技术实施例提供的另一种压电驱动器阵列的结构示意图，在极化过程中，可以为第二连接件焊接引线，一个引线可以连接相邻的两列压电驱动器单元中的第一连接件。在相邻的两个引线中，一个引线连接正极电压，另一个引线连接负极电压，可以将一个压电驱动器单元组中相对的电极侧的电极端极化为同一极。以图8中引线103和引线104为例，极化过程中引线104连接正极电压，引线103连接负极电压，可以将引线104连接的第二连接件两侧的压电驱动器单元靠近引线104的一侧极化为正极，将引线103连接的第二连接件两侧的压电驱动器单元靠近引线103的一侧极化为负极，使整个压电驱动器阵列中的压电驱动器单元的极性如图7所示。在实际使用过程中，一条引线可以通过连接的第二连接件连接两列压电驱动器单元中的第一连接件，为两列压电驱动器单元供电，从而可以避免为每个压电驱动器单元单独设置引线，减少引线数量，降低为压电驱动器单元设置引线的难度，并且可以提高阵列密度。
74.可选地，可以采用磁控溅射工艺在电极侧涂覆电极层，将电极层作为第一连接件。
75.在一种实施方式中，在切割之后，可以将阵列块置于磁控溅射设备中，采用磁控溅射工艺在电极侧涂覆第一电极层，第一电极层为第一连接件，可以在电极侧涂覆一层或多层电极层，使第一电极层的厚度不低于5微米。同理，可以采用磁控溅射工艺在基座层表面上涂覆第二电极层，将第二电极层作为第二连接件，可以在基座层表面涂覆一层或多层电极层，使第二电极层的厚度不低于5微米。实际应用中，可以采用其他工艺在电极侧涂覆第一电极层，以及通过其他工艺在基座层表面涂覆第二电极层，涂覆电极层的具体方法可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。
76.可选地，在电极侧涂覆第一电极层之前，该方法还可以包括：
77.对除电极侧之外的其他表面设置保护层，以避免在其他表面涂覆电极层。
78.可选地，在采用磁控溅射对阵列块进行处理时，可以在非电极侧设置屏蔽层。如图
9所示，图9示出了本技术实施例提供的一种压电驱动器单元的保护示意图，保护层背离基座层的一侧并不需要形成电极层，可以在顶部设置屏蔽层105，在磁控溅射过程中，屏蔽层可以避免在压电驱动器单元的顶部形成电极层。在设置屏蔽层时，可以在任意不需要形成电极层的表面设置屏蔽层。在磁控溅射过程中，若同时需要形成第一连接件和第二连接件，可以在除电极侧和基座层表面之外的其他位置设置屏蔽层，同时在电极侧和基座层表面上形成电极层。屏蔽层的具体设置方法可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。
79.步骤506、焊接引线，并通过引线对压电驱动器单元进行极化。
80.本实施例中，在设置第一连接件和第二连接件之后，可以为第二连接件焊接引线，以通过引线对多个压电驱动器单元同时进行极化。如图8所示，可以为每个第二连接件焊接引线，相邻的两个引线中，一个引线连接正极电压，另一引线连接负极电压，将压电驱动器阵列置于硅油等极化介质中，对多个压电驱动器单元同时进行极化，可以得到极化方向一致的压电驱动器阵列。
81.综上所述，本实施例中，叠压基座层、多层压电功能层和保护层，对基座层、压电功能层和保护层进行排胶烧结，切割掉内电极所在的目标空间范围外的压电功能层和保护层，通过电极端对排胶烧结后的多个压电驱动器单元进行极化，得到由基座层、多个压电驱动器单元和保护层组成的压电驱动器阵列。在制造压电驱动器阵列的过程中，阵列中的多个压电驱动器单元同时制造，多个压电驱动器单元在制造过程中的工艺参数始终保持一致，可以使多个压电驱动器单元的性能参数保持一致，从而可以提高多个压电驱动器单元的一致性。
82.同时，由于压电驱动器阵列中多个压电驱动器单元与基座层一体成型，可以通过研磨工序使多个压电驱动器单元的尺寸保持一致。并且，多个压电驱动器单元与基座层一体成型，可以避免由于组装带来的尺寸误差，此外，由于无需对每根压电驱动器单元焊接引线，多个压电驱动器单元之间的间距可以根据需求设置到最小，从而可以提高压电驱动器阵列中压电驱动器单元的阵列密度。阵列中的多个压电驱动器单元不仅可以保持尺寸上的一致性和性能参数的一致性，而且可以避免组装带来的误差，控制多个压电驱动器单元之间的间距，从而可以使多个压电驱动器单元在运动过程中具有相同的位移，进而可以提高压电驱动器阵列的精度。
83.本技术实施例还提供一种变形镜，包括如上所述的压电驱动器单元阵列。
84.对压电驱动器单元阵列的理解可参考压电驱动器单元阵列的制造方法，本实施例在此不做赘述。
85.以上所述实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的精神和范围，均应包含在本技术的保护范围之内。

技术特征：

1.一种压电驱动器单元阵列，其特征在于，包括：基座层和多个压电驱动器单元，所述压电驱动器单元的活动端设置有保护层；所述多个压电驱动器单元阵列排布，所述多个压电驱动器单元的固定端与所述基座层连接；所述压电驱动器单元、所述基座层和所述保护层一体成型。2.如权利要求1所述的压电驱动器单元阵列，其特征在于，所述压电驱动器单元的非活性区设置有至少一个连接柱，所述连接柱连接所述非活性区的多个同极性内电极。3.如权利要求1所述的压电驱动器单元阵列，其特征在于，所述压电驱动器单元的电极端从所述压电驱动器单元的电极侧引出，所述电极侧设置有第一连接件，所述第一连接件连接所述电极侧的多个电极端。4.如权利要求3所述的压电驱动器单元阵列，其特征在于，所述第一连接件为通过磁控溅射工艺在所述电极侧涂覆的第一电极层。5.如权利要求4所述的压电驱动器单元阵列，其特征在于，所述第一电极层的厚度不低于5微米。6.如权利要求3所述的压电驱动器单元阵列，其特征在于，在具有相对电极侧的两列所述压电驱动器单元之间的基座层表面上设置有第二连接件，所述第二连接件连接相邻的所述第一连接件。7.如权利要求6所述的压电驱动器单元阵列，其特征在于，所述第二连接件为通过磁控溅射工艺在所述基座层表面上涂覆的第二电极层。8.如权利要求6所述的压电驱动器单元阵列，其特征在于，还包括与所述第二连接件连接的引线。9.如权利要求1-8中任一项所述的压电驱动器单元阵列，其特征在于，所述基座层、所述压电驱动器单元和所述保护层采用同一种压电材料制成。10.一种变形镜，其特征在于，包括：如权利要求1-9中任一项所述的压电驱动器单元阵列。

技术总结

一种压电驱动器单元阵列和变形镜，属于压电驱动器领域，压电驱动器单元阵列包括基座层和多个压电驱动器单元，压电驱动器单元的活动端设置有保护层；多个压电驱动器单元阵列排布，多个压电驱动器单元的固定端与基座层连接；压电驱动器单元、基座层和保护层一体成型。由于阵列中的多个压电驱动器单元一体成型，在制造压电驱动器单元阵列过程中，可以使多个压电驱动器单元在制造过程中的工艺参数始终保持一致，从而可以使多个压电驱动器单元的尺寸及性能参数保持一致，进而可以提高多个压电驱动器单元的一致性。动器单元的一致性。动器单元的一致性。