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一种电子成像探测器及其制备方法和电子显微成像系统[发明专利]

专利名称：一种电子成像探测器及其制备方法和电子显微成像系统

专利类型：发明专利

发明人：邓智，李任恺，魏桐

申请号：CN202010483963.7

申请日：20200601

公开号：CN111613679A

公开日：

20200901

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种电子成像探测器及其制备方法，以及采用该电子成像探测器的电子显微成像系统。该电子成像探测器包括：探测器灵敏区，由金刚石材料构成，具有相对而设的第一表面和第二表面；平面电极，设置于第一表面；像素电极，设置于第二表面。本发明中，由于探测器灵敏区所采用的金刚石材料在室温下具有禁带宽度大、电阻率高、抗辐照性能强等特点，因此，不需要通过掺杂等工艺形成的PN结，降低了制备复杂程度。同时，由于金刚石材料的原子序数小、电子散射小，进而降低了电子成像探测器中电子的散射，提高了电子探测的位置分辨率，从而能够获得更加清晰的图像。

申请人：清华大学

地址：100084 北京市海淀区清华园1号

国籍：CN

代理机构：北京德琦知识产权代理有限公司

本文发布于:2024-09-22 17:30:33，感谢您对本站的认可！

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