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保持部件、上部电极组件、以及等离子体处理装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号 CN 114496704 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 CN202111299136.3
(22)申请日 2021.11.04
(71)申请人 东京毅力科创株式会社
    地址 日本东京
(72)发明人 仙田孝博 氏家智也 佐藤诚人
(74)专利代理机构
    代理人
(51)Int.CI
      H01J37/32
                                                                  权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
      保持部件、上部电极组件、以及等离子体处理装置
(57)摘要
      本发明提供一种能够将电极板悬挂保持于保持板的保持部件、上部电极组件、以及等离子体处理装置。该保持部件在将电极板保持于保持板时使用,其包括:轴部,其具有内螺纹部；以及卡定部,其在俯视时与上述轴部相比在至少一个方向扩大形成。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-13
公开
发明专利申请公布
2023-08-29
实质审查的生效IPC(主分类):H01J37/32专利申请号:2021112991363申请日:20211104
实质审查的生效
权 利 要 求 说 明 书
【保持部件、上部电极组件、以及等离子体处理装置】的权利说明书内容是......
说  明  书
【保持部件、上部电极组件、以及等离子体处理装置】的说明书内容是......

本文发布于:2024-09-23 07:19:44，感谢您对本站的认可！

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