首页 > 专利信息

石英玻璃坩埚及其制造方法、以及单晶硅的制造方法[发明专利]

专利名称：石英玻璃坩埚及其制造方法、以及单晶硅的制造方法

专利类型：发明专利

发明人：木村明浩，松本克，布施川泉，三木克彦

申请号：CN201180053097.7

申请日：20110926

公开号：CN103201226A

公开日：

20130710

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明涉及一种石英玻璃坩埚的制造方法，其包含：工序a，准备由石英玻璃构成且具有坩埚形状的坩埚基材；工序b，利用直接法或火焰水解法制作合成石英玻璃材料；工序c，将前述合成石英玻璃材料不作粉碎而加工成坩埚形状；及，工序d，将加工成前述坩埚形状的合成石英玻璃材料，熔合于前述坩埚基材的内面。由此，提供一种避免制造单晶硅之际因坩埚自身导致单晶硅位错且具有高耐热性的石英玻璃坩埚及其制造方法、以及使用这种石英玻璃坩埚的单晶硅的制造方法。

申请人：信越半导体股份有限公司

地址：日本东京

国籍：JP

代理机构：隆天国际知识产权代理有限公司

本文发布于:2024-09-20 23:26:19，感谢您对本站的认可！

本文链接：https://www.17tex.com/tex/2/443518.html

上一篇：一种PVC发泡板的配方及其制作方法

下一篇：家蚕人工饲料用于生产细纤度家蚕茧丝的方法[发明专利]