一种防掉落的晶圆打点工作台的制作方法

1.本实用新型涉及半导体测试领域，特别是涉及一种防掉落的晶圆打点工作台。

背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。在半导体生产中，随着晶圆的尺寸增大以及元件的尺寸缩小，一片晶圆可依需要划分为数千个相同或不同的芯片。由于制程设计或材料本身的特性，最后完成的晶圆具有正常芯片及缺陷芯片。一般是以测试机台与探针卡来测试晶圆上每一个芯片，以确保芯片的电气特性与效能符合设计规格。在晶圆测试过程中若发现缺陷芯片则需进行标记，具体可采用油墨点涂于缺陷芯片上。而缺陷芯片位置信息会根据不同的测试设备形成的形式各异的坐标文件。
3.目前需要手动对晶圆进行打点(ink)作业时，作业方式为工作人员单手拿片，前后45
°
调整角度进行观察晶圆上的异常位置，之后进行点除操作，产品掉落风险高，且晶圆背面异常需要在正面点除时无法准确出晶圆需进行点除的位置。

技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于，提供一种防掉落的晶圆打点工作台，辅助工作人员进行晶圆打点工作。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种防掉落的晶圆打点工作台包括底座、通过万向轴承与所述底座转动连接的平台、设置在所述平台内部的led灯片；
6.所述平台用于对晶圆的位置进行固定。
7.进一步的，所述平台外围设置有凹槽。
8.进一步的，所述平台包括透明面板、安装底板，所述透明面板与安装底板之间设置有多个用于提供led灯片安装空间的衬套，且所述衬套固定安装在安装底板上。
9.进一步的，所述透明面板设置有贯穿所述衬套的固位螺钉，且所述固位螺钉螺纹安装在所述衬套上。
10.进一步的，所述透明面板上表面均匀设置有多个用于对晶圆进行定位的挡板。
11.相比于现有技术，本实用新型至少具有以下有益效果：
12.本实用新型通过平台与底座之间的转动连接，配合安装在平台内部的led灯片，便于工作人员对平台上的晶圆进行多角度的观察，确定晶圆上的异常位置并进行点除作业，同时平台设置可拆卸的透明面板，可根据晶圆的规格，更换与其匹配的透明面板。
附图说明
13.图1为本实用新型一个实施例中防掉落的晶圆打点工作台的结构示意图；
14.图2为本实用新型一个实施例中防掉落的晶圆打点工作台平台的结构示意图。
具体实施方式
15.下面将结合示意图对本实用新型的防掉落的晶圆打点工作台进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
16.在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
17.如图1-2所示，本实用新型实施例提出了一种防掉落的晶圆打点工作台，包括底座1、通过万向轴承3与所述底座1转动连接的平台2、设置在所述平台2内部的led灯片4；
18.所述平台2用于对晶圆的位置进行固定；
19.所述led灯片4用于提供光源，辅助工作人员确定晶圆上的异常位置。
20.在本实施方式中，通过通过平台2与底座1之间的转动连接，配合安装在平台2内部的led灯片4，便于工作人员对平台1上的晶圆进行多角度的观察，确定晶圆上的异常位置并进行点除作业。
21.以下列举所述防掉落的晶圆打点工作台的较优实施例，以清楚的说明本实用新型的内容，应当明确的是，本实用新型的内容并不限制于以下实施例，其他通过本领域普通技术人员的常规技术手段的改进亦在本实用新型的思想范围之内。
22.在一个实施例中，所述平台2外围设置有凹槽8，所述凹槽8的数量可以是一个以上，既可以作为方向指示，又便于进行操作。
23.所述平台2包括透明面板6、安装底板5，所述透明面板6与安装底板5之间设置有多个用于提供led灯片4安装空间的衬套7。衬套7固定安装在安装底板5上，用于为led灯片4的安装提供空间。在需要点除作业时，led灯片4的灯光可以通过透明面板6直接照射到晶圆上，便于工作人员对晶圆上异常位置的确认。
24.所述透明面板6设置有贯穿所述衬套7的固位螺钉10，且所述固位螺钉10螺纹安装在所述衬套上(如图1所示，图2未示意二者的安装情况)。通过透明面板6设置有固位螺钉10，且固位螺钉10螺纹安装在衬套上，可实现根据不同规格的晶圆，更换与其匹配的透明面板6。
25.所述透明面板5上表面均匀设置有多个用于对晶圆进行定位的挡板9。在使用时将晶圆放置在多个挡板9的中心，不仅可以对晶圆起到定位作用，还可以防止晶圆从透明面板5上掉落。
26.综上所述，本实用新型通过平台与底座之间的转动连接，配合安装在平台内部的led灯片，便于工作人员对平台上的晶圆进行多角度的观察，确定晶圆上的异常位置并进行点除作业，同时平台设置可拆卸的透明面板，可根据晶圆的规格，更换与其匹配的透明面板。
27.显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

技术特征：

1.一种防掉落的晶圆打点工作台，其特征在于，包括底座、通过万向轴承与所述底座转动连接的平台、设置在所述平台内部的led灯片；所述平台用于对晶圆的位置进行固定，所述平台包括透明面板、安装底板，所述透明面板与安装底板之间设置有多个用于提供led灯片安装空间的衬套；所述透明面板上表面均匀设置有多个用于对晶圆进行定位的挡板。2.如权利要求1所述的防掉落的晶圆打点工作台，其特征在于，所述平台外围设置有凹槽。3.如权利要求1所述的防掉落的晶圆打点工作台，其特征在于，所述透明面板设置有贯穿所述衬套的固位螺钉，且所述固位螺钉底端螺纹安装在所述衬套上。

技术总结

本实用新型揭示了一种防掉落的晶圆打点工作台，包括底座、通过万向轴承与所述底座转动连接的平台、设置在所述平台内部的LED灯片；所述平台用于对晶圆的位置进行固定。本实用新型通过平台与底座之间的转动连接，配合安装在平台内部的LED灯片，便于工作人员对平台上的晶圆进行多角度的观察，确定晶圆上的异常位置并进行点除作业，同时平台设置可拆卸的透明面板，可根据晶圆的规格，更换与其匹配的透明面板。板。板。