一种匀流板、进气装置及外延设备

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114481309 A (43)申请公布日 2022.05.13

(21)申请号 CN202210109814.3

(22)申请日 2022.01.29

(71)申请人江苏天芯微半导体设备有限公司

地址 214000 江苏省无锡市新吴区新梅路58号

(72)发明人刘自强燕春杨进

(74)专利代理机构

代理人

(51)Int.CI

C30B25/08

C30B25/14

C30B25/16

C23C16/455

C23C16/52

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种匀流板、进气装置及外延设备

(57)摘要

本发明提供一种匀流板，用于外延设备的进气装置，包含：匀流板主体，包括相对的第一平面以及第二平面；多个第一台阶和多个第二台阶，多个所述第一台阶设置于所述第一平面，多个所述第二台阶设置于所述第二平面；所述多个第一台阶分别与所述多个第二台阶位置对应；多组通孔，每一组通孔对应设置于一个第一台阶，所述通孔依序穿设所述第一台阶、匀流板主体、第二台阶，用于在所述外延设备的工艺期间提供通过所述匀流板的气体通道；多个所述第一台阶、多个所述第二台阶分别嵌入进气焊件、进气插入件内，用于减小匀流板与进气焊件、进气插入件之间的间隙，防止匀流板的振动。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-05-31	实质审查的生效IPC(主分类):C30B25/08专利申请号:2022101098143申请日:20220129	实质审查的生效
2022-05-13	公开	发明专利申请公布