一种基于氧化钒薄膜的管状测辐射热计及其制备方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114295222 A (43)申请公布日 2022.04.08

(21)申请号 CN202111562323.6

(22)申请日 2021.12.18

(71)申请人复旦大学

地址 200433 上海市杨浦区邯郸路220号

(72)发明人梅永丰吴斌民张子煜

(74)专利代理机构 31200 上海正旦专利代理有限公司

代理人陆飞;陆尤

(51)Int.CI

G01J5/20(20060101)

G01J5/22(20060101)

G01J5/02(20220101)

H01L31/0224(20060101)

H01L31/112(20060101)

H01L31/18(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种基于氧化钒薄膜的管状测辐射热计及其制备方法

(57)摘要

本发明属于光电探测技术领域，具体为一种基于氧化钒薄膜的管状测辐射热计及其制备方法。本发明管状测辐射热计包括：使用磁控溅射在带有热氧化硅的高阻硅片上生长的具有内应力梯度氧化钒薄膜；在图形化之后的氧化钒薄膜上制备的电极；带有电极的氧化钒薄膜为管状结构。当红外光照射在管状氧化钒薄膜上时，入射光辐射功率在氧化钒薄膜内转化为热，使得氧化钒薄膜的电阻减小，由外加在电极上的恒定电压读出光谱信号。该器件可在室温条件下实现灵敏的广角、宽光谱探测。本发明可作为传统薄膜测辐射热计的有力补充，且工艺流程简单、成本低，将在非制冷红外焦平面的发展与应用中具有较强的实际意义。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-04-08	公开	发明专利申请公布
2022-04-26	实质审查的生效IPC(主分类):G01J 5/20专利申请号:2021115623236申请日:20211218	实质审查的生效