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平台[发明专利]

专利名称：平台

专利类型：发明专利

发明人：井上祐也，谷藤保，田中寿人，高桥诚，关根邦好申请号：CN200980117984.9

申请日：20090513

公开号：CN102037552A

公开日：

20110427

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：提供一种能够高速运送基板的基板平台。在本发明的基板平台(10)中，将辅助载置台(12a ～12d)安装在主载置台(11)上，将下部导轨(13、13)从主载置台(11)上横跨到辅助载置台(12a～12d)上进行配置。若通过上下方向调整装置(6)预先使下部导轨(13、13)的两端向上弯曲，则在辅助载置台(12a～12d)的端部向下弯曲时，下部导轨(13、13)便变得笔直。由于下部导轨(13、13)未分割，因而直线性得到确保，移动板(16)不会发生摇摆，因而能够使基板(5)高速移动。

申请人：株式会社爱发科

地址：日本神奈川县

国籍：JP

代理机构：中国专利代理(香港)有限公司

本文发布于:2024-09-23 07:22:08，感谢您对本站的认可！

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