微机械可调法布里珀罗干涉仪、中间产品及其制造方法[发明专利]

专利名称：微机械可调法布里珀罗干涉仪、中间产品及其制造方法

专利类型：发明专利

发明人：马尔蒂·布卢姆伯格

申请号：CN201080023427.3

申请日：20100528

公开号：CN102449447A

公开日：

20120509

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明涉及用微机械(MEMS)技术制造的可控法布里珀罗干涉仪。制造现有技术的干涉仪包括在蚀刻牺牲层(123)期间镜劣化的风险。根据本发明的方案，镜的至少一个层

(103，105，114，116)由富硅氮化硅制成。在发明的法布里珀罗干涉仪中，可以避免或减少在镜层中使用氧化硅，从而降低了镜劣化的风险。还可以使用具有较高粗糙度的镜表面，从而降低了镜彼此粘着的风险。

申请人：VTT技术研究中心

地址：芬兰乌奥里米亨蒂

国籍：FI

代理机构：北京康信知识产权代理有限责任公司

本文发布于:2024-09-21 22:03:01，感谢您对本站的认可！

标签：技术使用知识产权制造

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