首页 > 专利信息

一种利用多磁极磁棒间距控制的自动调节剂量均一性的方法[发明专利]

专利名称：一种利用多磁极磁棒间距控制的自动调节剂量均一性的方法

专利类型：发明专利

发明人：杜琴

申请号：CN201910980542.2

申请日：20191015

公开号：CN112670147A

公开日：

20210416

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种利用多磁极磁棒间距控制的自动调节剂量均一性的方法。该方法通过调节2n个磁极磁棒之间的距离来改变磁场分布，本方法包括：测量磁极位置未改变时离子束流初始值J(1)，上下各n个磁极分别设置相同磁棒间距，利用移动法拉第双向测量模式采集每一磁极(可同时采集两个互相不干扰的磁极)对应的离子束流值(2)，计算磁极响应与磁棒间距的幅度关系，并利用该关系式迭代计算(3)，利用初始束流平均值解超定方程计算出每个磁极的最佳磁棒间距值(4)，机台线上验证调试效果(5)。设计多种调节模式，根据当前束流状态选择最佳的调节模式进行剂量均一性调节。本发明涉及离子注入装置及最小二乘算法，隶属于半导体制造领域。

申请人：北京烁科中科信电子装备有限公司

地址：101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号

国籍：CN

本文发布于:2024-09-21 10:48:11，感谢您对本站的认可！

本文链接：https://www.17tex.com/tex/2/427265.html

上一篇：锂电池SOC估算方法、主动均衡控制方法及系统[发明专利]

下一篇：...SVG装置多机并联运行的系统及其控制方法[发明专利]