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物理气相淀积沉积腔室气密性检测方法[发明专利]

专利名称：物理气相淀积沉积腔室气密性检测方法专利类型：发明专利

发明人：聂佳相，苏娜，胡宇慧

申请号：CN200710094497.8

申请日：20071213

公开号：CN101458150A

公开日：

20090617

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：一种物理气相淀积沉积腔室气密性检测方法，包括：运行第一控片，所述第一控片的运行时间大于或等于检测反应时间；对第二控片执行物理气相淀积操作；检测所述第二控片的阻值；所述第二控片的阻值符合检测基准时，所述物理气相淀积沉积腔室的气密性符合产品要求；所述第二控片的阻值大于检测基准时，所述物理气相淀积沉积腔室的气密性不符合产品要求。可及时地检测出所述物理气相淀积沉积腔室开始运行后发生的异常，利于及时排障，以减少所述物理气相淀积沉积腔室处于异常状态时生产产品的数量，且不改变所述物理气相淀积沉积腔室内的环境。

申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

地址：201203 上海市浦东新区张江路18号

国籍：CN

代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：李丽

本文发布于:2024-09-21 04:22:37，感谢您对本站的认可！

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