一种抛光组合物[发明专利]

专利名称：一种抛光组合物

专利类型：发明专利

发明人：潘国顺，周艳，龚桦，邹春莉申请号：CN201610622320.X 申请日：20160801

公开号：CN106349945A

公开日：

20170125

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明涉及一种抛光组合物，属于电子制造中超硬材料化学机械抛光技术领域。本发明的组合物包括混合型磨料、无机金属盐、表面活性剂、pH值调节剂及水，其中混合型磨料是由粒径0.1‑10nm氧化硅和其他磨料组成；本发明组合物的pH值为9.0～12.0，适用于蓝宝石的抛光。本发明不仅明显提高蓝宝石抛光去除速率，而且能改善蓝宝石晶片的表面质量，抛光后晶片表面光滑，无划痕、麻点等表面缺陷。

申请人：清华大学，深圳清华大学研究院

地址：100084 北京市海淀区100084-82信箱

国籍：CN

代理机构：北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：李志东

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