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一种电子级草酸刻蚀液的制备工艺[发明专利]

专利名称：一种电子级草酸刻蚀液的制备工艺

专利类型：发明专利

发明人：陈重佑，吴全贵，赖延恩，陈国民，艾合买提艾尔肯，李文斌，郑义达，骆彦成，任建业，林德荣，刘奕丰

申请号：CN202010880940.X

申请日：20200827

公开号：CN112048303A

公开日：

20201208

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明提供了一种电子级草酸刻蚀液的制备工艺。该电子级草酸刻蚀液的制备工艺，包括：(1)向溶解槽中加入第一超纯水，在第一搅拌转速下加入草酸晶体；(2)草酸晶体加入完毕后，开启第二搅拌转速进行搅拌后送至混配槽；(3)向混配槽中加入第二超纯水，开启第三搅拌转速进行搅拌后过滤即得电子级草酸刻蚀液。由该制备工艺制备得到的电子级草酸刻蚀液具有优异的综合性能，刻蚀面精细，图像清晰、刻蚀精度高。

申请人：福建天甫电子材料有限公司

地址：364000 福建省龙岩市上杭县蛟洋镇坪埔村新村路71号3层

国籍：CN

代理机构：厦门原创专利事务所(普通合伙)

代理人：徐东峰

本文发布于:2024-09-21 22:41:55，感谢您对本站的认可！

本文链接：https://www.17tex.com/tex/2/419142.html

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