发明人:周俊,严玮,程望阳
申请号:CN201310641632.1
申请日:20131203
公开号:CN104678121A
公开日:
20150603
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明公开了一种APM皮带速度实时监控装置,该装置主要包括金属滚轮,安装在皮带下方,并和皮带直接接触,接触面长度在两厘米以上。本发明还公开了基于上述装置实时监控APM皮带速度的方法。本发明通过在皮带下方加装滚轮,与皮带形成反向同步运动系统,利用滚轮的转速,监控皮带的速度,避免了多重转换和以小带大的问题,实现了APM皮带速度的实时、有效监控。
申请人:上海华虹宏力半导体制造有限公司
地址:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
国籍:CN
代理机构:上海浦一知识产权代理有限公司
代理人:丁纪铁