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一种向管式PECVD的TMA介质输送系统[实用新型专利]

专利名称：一种向管式PECVD的TMA介质输送系统专利类型：实用新型专利

发明人：王俊朝，李军阳，李学文，杜武明

申请号：CN201920718957.8

申请日：20190516

公开号：CN210261990U

公开日：

20200407

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本实用新型公开了一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，包括供给系统和蒸发系统；供给系统包括TMA钢瓶、第一气体管道以及第一TMA液体管道，第一气体管道与钢瓶进口连接，第一TMA液体管道与钢瓶出口连接；蒸发系统包括TMA蒸发瓶、第二TMA液体管道、TMA气体管道以及第二气体管道，第二TMA液体管道设置有两个端口，一个端口与第一TMA液体管道连接，另一个端口连接蒸发瓶入口，TMA气体管道也设置有两个端口，TMA气体管道一端口连接着蒸发瓶出口，TMA气体管道另一端口连接有反应管，在蒸发瓶出口和反应管之间的管道上还串联有TMA气体质量流量计，第二气体管道上还连接有惰性气体质量流量计；本实用新型的有益效果是：该系统改善生产工艺，达到提高转换效率的目的。

申请人：深圳丰盛装备股份有限公司

地址：518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区高新区凤塘大道星光辉科技园A栋201国籍：CN

代理机构：深圳市深可信专利代理有限公司

代理人：万永泉

本文发布于:2024-09-20 17:57:26，感谢您对本站的认可！

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