(10)申请公布号 CN 101914813 A (43)申请公布日 2010.12.15
C N 101914813 A
*CN101914813A*
(21)申请号 201010273962.6(22)申请日 2010.09.04
C30B 33/06(2006.01)
(71)申请人山西天能科技有限公司
地址030032 山西省太原市高新区总部大街
12号(72)发明人秦海滨 姚锦嵘 宋克 侯惠峰
解士超(74)专利代理机构山西科贝律师事务所 14106
代理人张乐中(54)发明名称
本发明一种晶棒拼接缝粘接方法，属于晶棒粘接技术领域。所要解决的问题是，提供了一种能够有效降低断线率的晶棒拼接缝粘接方法。采用的技术方案是：按照以下顺序操作：a 、配棒，将至少两根较短的晶棒搭配为满足切片机加工要求的长度；b 、预处理选好的晶棒，使晶棒端面垂直度≤1.5mm ，且端面洁净无杂质；c 、粘接晶棒，在其中一根晶棒的端面上涂上胶水，将两根晶棒对接；d 、粘接后的处理，将晶棒表面的残胶处理干净，再将粘好的晶棒静放20分钟；e 、重复第三步和第四步，将搭配好的短棒都粘接完。本发明可有效降低断线率，减少晶棒的报废率，在很大程度上提高了成品率，从而降低了生产成本，本发明可推广应用到晶棒切片前的晶棒粘接中。(51)Int.Cl. (19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
权利要求书 1 页 说明书 3 页
权 利 要 求 书
CN 101914813 A1/1页
1.一种晶棒拼接缝粘接方法，其特征在于，按照以下顺序操作：
a、配棒，将至少两根较短的晶棒搭配，搭配后的长度满足切片机加工所需长度；
b、预处理选好的晶棒，对上述晶棒需粘接的端面进行处理，使端面相对于中心线的垂直度≤1.5mm，且端面洁净无杂质；
c、粘接晶棒，将要拼接的两根晶棒放置在平台上，处理好的端面朝上，用美纹胶带将两根晶棒的上部边缘包起，将胶水涂在其中一根晶棒的端面上，在2分钟～3分钟之间将涂了胶水的晶棒迅速的平行横放在平台上，然后将另外一根晶棒也平行横放到平台上，两个晶棒处理过的端面相对，将两根晶棒对接，中间的缝隙为1mm～1.5mm；
d、粘接后的处理，在粘接后3分钟～5分钟之间将粘在晶棒上的美纹胶带揭下来，然后用美工刀片将拼接缝处的胶清理干净，再用酒精将晶棒表面的残胶擦拭干净，最后将粘好的晶棒静放20分钟；
e、重复第三步和第四步，直到将搭配好的短棒都粘接完毕。
2.根据权利要求1所述的一种晶棒拼接缝粘接方法，其特征在于：使晶棒端面洁净无杂物的方法为：先用超声清洗机将需要粘接的晶棒超声清洗10分钟，再用酒精将要粘接的端面擦拭干净并晾干。
3.根据权利要求1所述的一种晶棒拼接缝粘接方法，其特征在于：所述的晶棒或为圆棒，或为方棒，或为线开方棒。
一种晶棒拼接缝粘接方法
技术领域
[0001] 本发明一种晶棒拼接缝粘接方法，属于晶棒粘接技术领域。
背景技术
[0002] 目前，由于行业内的拉晶拉出的单晶长度长短不一，造成后续工段切段后的晶棒长度不能满足切片机的加工要求(300mm/根)，为了提高切片机的加工效率，行业内将两根较短的晶棒搭配在一起以达到300mm的长度，为了不把钢线夹断，传统的方法是粘胶时在两根短棒之间留出2-3mm的缝隙，但是由于切断时产生的斜面在切片时极其容易造成碎片掉下的现象，有时会被带到线网上从而产生跳线，严重时会产生断线，客户对硅片表面的质量要求较严格，断线就会造成报废，即使断线被接起来，一般的硅片表面也会留下一条甚至几条线痕或是差片等不良产品，大大降低了产品的成品率。
发明内容
[0003] 本发明克服现有技术的不足，所要解决的问题是，提供了一种能够有效降低断线率的晶棒拼接缝粘接方法。
[0004] 为了解决上述技术问题，本发明一种晶棒拼接缝粘接方法，按照以下顺序操作：[0005] a、配棒，将至少两根较短的晶棒搭配，搭配后的长度满足切片机加工所需长度；[0006] b、预处理选好的晶棒，对上述晶棒需粘接的端面进行处理，使端面相对于中心线的垂直度≤1.5mm，且端面洁净无杂质；
[0007] c、粘接晶棒，将要拼接的两根晶棒放置在平台上，处理好的端面朝上，用美纹胶带将两根晶棒的上部边缘包起，将胶水涂在其中一根晶棒的端面上，在2分钟～3分钟之间将涂了胶水的晶棒迅速的平行横放在平台上，然后将另外一根晶棒也平行横放到平台上，两个晶棒处理过的端面相对，将两根晶棒对接，中间的缝隙为1mm～1.5mm；
[0008] d、粘接后的处理，在粘接后3分钟～5分钟之间将粘在晶棒上的美纹胶带揭下来，然后用美工刀片将拼接缝处的胶清理干净，再用酒精将晶棒表面的残胶擦拭干净，最后将粘好的晶棒静放20分钟；
[0009] e、重复第三步和第四步，直到将搭配好的短棒都粘接完毕。
[0010] 使晶棒端面洁净无杂物的方法为：先用超声清洗机将需要粘接的晶棒超声清洗10分钟，再用酒精将要粘接的端面擦拭干净并晾干。
[0011] 所述的晶棒或为圆棒，或为方棒，或为线开方棒。
[0012] 本发明与现有技术相比具有的有益效果为：
[0013] 下表为2010年4月份使用本发明后，与使用本发明前切片机切片时断线刀数以及报废晶棒数量的对比数据：
[0014]
2010年月份断线刀数(刀)报废根数(根)报废长度(mm)
1月份 8 24 4569
2月份 7 21 3628
3月份 5.5 17 3165
4月份 2 8 855
[0015] 上表中的数据显示，自2010年4月份应用了本发明后，与没有应用本发明之前相比，拼接缝的断线刀数减少了70％左右，报废晶棒的根数减少了60％左右，报废长度减少了77％左右，有效的降低了断线率，减少了晶棒的报废率，在很大程度上提高了产品的成品率，从而降低了成本。
具体实施方式
[0016] 一种晶棒拼接缝粘接方法，按照以下顺序操作：
[0017] a、配棒，将至少两根较短的晶棒搭配，搭配后的长度满足切片机加工所需长度；[0018] b、预处理选好的晶棒，对上述晶棒需粘接的端面进行处理，使端面相对于中心线的垂直度≤1.5mm，且端面洁净无杂质；
[0019] c、粘接晶棒，将要拼接的两根晶棒放置在平台上，处理好的端面朝上，用美纹胶带将两根晶棒的上部边缘包起，将胶水涂在其中一根晶棒的端面上，在2分钟～3分钟之间将涂了胶水的晶棒迅速的平行横放在平台上，然后将另外一根晶棒也平行横放到平台上，两个晶棒处理过的端面相对，将两根晶棒对接，中间的缝隙为1mm～1.5mm；
[0020] d、粘接后的处理，在粘接后3分钟～5分钟之间将粘在晶棒上的美纹胶带揭下来，然后用美工刀片将拼接缝处的胶清理干净，再用酒精将晶棒表面的残胶擦拭干净，最后将粘好的晶棒静放20分钟；
[0021] e、重复第三步和第四步，直到将搭配好的短棒都粘接完毕。
[0022] 使晶棒端面洁净无杂物的方法为：先用超声清洗机将需要粘接的晶棒超声清洗10分钟，再用酒精将要粘接的端面擦拭干净并晾干。
[0023] 所述的晶棒或为圆棒，或为方棒，或为线开方棒。
[0024] 本发明中所用美纹胶带的作用为：用美纹胶带将两根晶棒需粘接的端面边缘包起后，当晶棒对接时，流出来的胶水就不会流到晶棒上，而是有大部分胶水流到了美纹胶带上，这样，当将美纹胶带揭下来时，就带走了大部分的残胶，从而使后续的处理残胶的工作变得简单了。
[0025] 本发明的第三步中，将两根晶棒对接时，可使用专用的拼接夹具，此拼接夹具包括挡板、夹具体和螺栓，夹具体为L型，夹具体的中间部分开有长条形的通孔，两块挡板设置在夹具体的两端，挡板为方形的板状物，挡板中间部分开有螺纹孔，螺栓套装在挡板的螺纹孔内。
[0026] 待将胶水涂在其中一根晶棒的端面上后，在2分钟～3分钟之间将涂了胶水的晶棒迅速的平行横放在拼接夹具上，然后将另外一根晶棒也平行横放到拼接夹具上，两个晶棒处理过的端面相对，且两端面都位于夹具体中间的长条形通孔上方，拧动两端挡板上的
螺栓，使两根晶棒在螺栓的推力作用下靠近且挤紧，中间的缝隙为1mm～1.5mm，由于挤紧而溢流出
来的胶水会从夹具体中间的长条形通孔中流出，这也使后续处理残胶的工作更加简单。
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