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薄膜驱动结构、薄膜驱动结构的制造方法及喷墨装置[发明专利]

专利名称：薄膜驱动结构、薄膜驱动结构的制造方法及喷墨装置

专利类型：发明专利

发明人：谢永林，李令英，刘迪，钱波，张小飞，王文浩，周岩

申请号：CN201810192616.1

申请日：20180309

公开号：CN110240112A

公开日：

20190917

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种薄膜驱动结构，包括：具有多个流体通道的基底；位于所述基底上的薄膜层，所述薄膜层的位于所述流体通道上的部分凸起，以形成与所述流体通道连通的压力腔；位于所述薄膜层的避开所述流体通道的部分上的支撑壁。本发明也公开了一种薄膜驱动结构的制造方法。本发明还公开了一种包括上述薄膜驱动结构的喷墨装置。通过本发明的薄膜驱动结构的制造方法所制出的薄膜驱动结构，压力腔与悬空薄膜是一个整体，大大提高了制造精度，且工艺简单、成本较低，可适用于薄膜驱动结构的批量化生产。

申请人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

地址：215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号

国籍：CN

代理机构：深圳市铭粤知识产权代理有限公司

代理人：孙伟峰

本文发布于:2024-09-21 17:22:03，感谢您对本站的认可！

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