发明人:魏益波,钱燕娟,朱凯彬申请号:CN201922501866.1申请日:20191231
公开号:CN212493580U
公开日:
20210209
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本实用新型一种Pin针旋转升降装置,所述装置包含有竖向安装有安装于Pin针安装板(4)上Pin针(1),且Pin针安装板(4)竖向滑动套装于主轴(13)上,且Pin针(1)穿过热板(2)伸出,顶升安装板(11)设置于顶升气缸(12)的活塞杆上,所述顶升安装板(11)驱动Pin针安装板(4)升降。本实用新型一种Pin针旋转升降装置,解决了Pin脱离旋转部分,由于光电传感器带来的误差,Pin针无法对准热板孔,从而无法顶升基片的问题。 申请人:江苏雷博科学仪器有限公司
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国籍:CN
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