(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910202482.1
(22)申请日 2019.03.11
(71)申请人 西北核技术研究所
地址 710024 陕西省西安市灞桥区平峪路
28号
(72)发明人 吴丽雄 冯国斌 张检民 陈绍武
(74)专利代理机构 西安智邦专利商标代理有限
公司 61211
代理人 胡乐
(51)Int.Cl.
G02B 21/36(2006.01)
G02B 21/30(2006.01)
G02B 21/00(2006.01)
G01N 21/84(2006.01)
(54)发明名称一种用于高温状态下在线监测的光学显微成像方法及装置(57)摘要本发明提出一种用于高温状态下在线监测的光学显微成像方法及装置，旨在解决现有高分辨率动态光学显微成像方案系统复杂、显微镜与热源距离较近等问题。该方法包括以下步骤：1)将试样和光学显微镜分别放置于共轭成像面的焦点A和焦点B处；2)对试样进行加热，并维持高温状态；3)利用照明光照射试样表面，产生漫反射，再经所述共轭成像面反射，由光学显微镜接收共轭像进行放大，获取显微图像；4)若需要观测 试样表面的不同区域，则移动试样，确保被测区域中心始终处于焦点A上，按照步骤3)获取显
微图像。权利要求书1页 说明书3页 附图1页CN 109814243 A 2019.05.28
C N 109814243
A
权 利 要 求 书1/1页CN 109814243 A
1.一种用于高温状态下在线监测的光学显微成像方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)将试样和光学显微镜分别放置于共轭成像面的焦点A和焦点B处；
2)对试样进行加热，并维持高温状态；
3)利用照明光照射试样表面，产生漫反射，再经所述共轭成像面反射，由光学显微镜接收共轭像进行放大，获取显微图像；
4)若需要观测试样表面的不同区域，则移动试样，确保被测区域中心始终处于焦点A 上，按照步骤3)获取显微图像。
2.一种用于高温状态下在线监测的光学显微成像装置，其特征在于：包括非旋转椭球共轭成像器件、光学显微镜、位置调节机构、加热机构和照明光源；
所述加热机构用于对试样加热并维持高温状态；
所述非旋转椭球共轭成像器件用于提供共轭成像面；
所述光学显微镜放置于共轭成像面的焦点B处；
所述位置调节机构用于放置试样，并能够实现三维方向位置调整，使得试样表面的被测区域中心始终位于共轭成像面的焦点A处；
所述照明光源位于共轭成像面的外部，在所述共轭成像面上开设有用于照明光入射的光窗，照明光源透射该光窗至试样表面，产生漫反射，再经所述共轭成像面反射至光学显微镜。
3.根据权利要求2所述的用于高温状态下在线监测的光学显微成像装置，其特征在于：所述加热装置采用激光加热的方式，激光光源位于共轭成像面的外部；在所述共轭成像面上还开设有用于激光入射的光窗；在光学显微镜前加装有滤光片，用于滤去激光信号以消除对成像的干扰。
4.根据权利要求2所述的用于高温状态下在线监测的光学显微成像装置，其特征在于：所述加热装置为设置于试样背面的加热器。
5.根据权利要求4所述的用于高温状态下在线监测的光学显微成像装置，其特征在于：所述加热器与位置调节机构之间设置有隔热组件。
6.根据权利要求2所述的用于高温状态下在线监测的光学显微成像装置，其特征在于：所述位置调节机构为高精度电控位移台。
2
豫公网安备41160202000603
站长QQ:729038198
关于我们
投诉建议