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检查工具和检查方法[发明专利]

专利名称：检查工具和检查方法

专利类型：发明专利

发明人：T·J·胡伊斯曼,S·F·伍伊斯特,H·A·迪伦,D·M·C·奥尔斯霍特

申请号：CN201980018840.1

申请日：20190226

公开号：CN111868632A

公开日：

20201030

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：描述了一种检查半导体样本的方法，样本包括具有多个开口的结构，这些开口位于结构的顶层，方法包括以下步骤：‑使用SEM生成结构的图像；‑通过以下方式检查多个开口中的一个开口：‑基于图像确定开口的尺寸；并且‑基于图像的对比度来确定开口的打开状态；‑基于开口的所确定的尺寸和所确定的打开状态两者来确定开口的质量。

申请人：ASML荷兰有限公司

地址：荷兰维德霍温

国籍：NL

代理机构：北京市金杜律师事务所

代理人：闫昊

本文发布于:2024-09-23 11:17:22，感谢您对本站的认可！

本文链接：https://www.17tex.com/tex/2/397929.html

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