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集成硅光学机械陀螺仪(OMGS)[发明专利]

专利名称：集成硅光学机械陀螺仪(OMGS)专利类型：发明专利

发明人：J.赫克,H.荣,R.琼斯

申请号：CN201180075842.8

申请日：20111223

公开号：CN103998895A

公开日：

20140820

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：一种系统具有光学机械陀螺仪装置。光学机械圆盘充当光学环形谐振器和机械圆盘谐振器。驱动激光器生成光学驱动信号。驱动通道充当对于光学驱动信号的波导并且包括关于光学机械圆盘位于第一邻近处的驱动电极。该驱动电极通过渐逝耦合来激发环。驱动光电检测器配置成从驱动通道接收输出光学信号。感测激光器生成光学感测信号。感测通道充当对于光学感测信号的波导并且包括关于光学机械圆盘位于第二邻近处的感测电极。感测光电检测器配置成从所述感测通道接收输出光学信号。

申请人：英特尔公司

地址：美国加利福尼亚州

国籍：US

代理机构：中国专利代理(香港)有限公司

本文发布于:2024-09-21 16:15:12，感谢您对本站的认可！

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