学生姓名:田瑞
学 号:201422030143
指导教师:乔明
一、实验室名称: 211楼803 工作站
二、实验项目名称:半导体功率器件与智能功率IC实验——LDMOS器件版图设计实验 三、实验原理:
首先,设计版图的基础便是电路的基本原理,以及电路的工作特性,硅加工工艺的基础、以及通用版图的设计流程,之后要根据不同的工艺对应不同的设计规则,一般来说通用的版图设计流程为: 1.制定版图规划记住要制定可能会被遗忘的特殊要求清单
2.设计实现考虑特殊要求及如何布线创建组元并对其进行布
3.版图验证执行基于计算机的检查和目视检查,进行校正工作
最终步骤工程核查以及版图核查版图参数提取与后仿真完成这些之后需要特别注意的是寄生参数噪声以及布局等的影响,具体是电路而定,在下面的实验步骤中会体现到这一点。
IC设计与制造的主要流程
四、实验目的:
掌握版图设计的基本理论。
掌握版图设计的常用技巧。
掌握定制集成电路的设计方法和流程。
熟悉Cadence Virtuoso Layout Edit软件的应用
学会用Cadence软件设计版图、版图的验证以及后仿真
熟悉Cadence软件和版图设计流程,减少版图设计过程中出现的错误。
五、实验内容:
结合LDMOS的版图文件,完成LDMOS器件的版图绘制。
六、实验器材(设备、元器件):
CADENCE软件
七、实验步骤:
LDMOS的版图文件
nwell 1
6400 8000
pwell1 1
0 7000
pwell2 7
0 3400
3550 4050
4220 4520
4740 4990
5250 5470
5770 5920
6350 8000
poly 2
0400 1800
5000 7400
nimplant 2
0400 7400
7700 8000
集成电路版图设计
pimplant 1
0 7700
omicont 2
0300 0700
0900 7600
metal 2
0 2000
4800 8000
nitride 2
0 0600
6300 8000
八、实验数据及结果分析:
整体版图
版图下部分别为:源端pad,漏端pad以及栅极pad
九、实验结论:
通过实验,了解LDMOS器件的版图设计,熟悉CADENCE软件的使用。画版图时要注意严格按照要求的尺寸进行设计,并在LSW窗口里选用正确的图形。可以使用软件中的尺子来测量尺寸。
报告评分:
指导教师签字: