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一种图案化薄膜的高温退火方法[发明专利]

专利名称：一种图案化薄膜的高温退火方法

专利类型：发明专利

发明人：闫兴振，王冠达，周路，杨帆，迟耀丹，高晓红，边虹宇，史恺，李旭，杨小天

申请号：CN201810110906.7

申请日：20180205

公开号：CN108346583A

公开日：

20180731退火温度

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：为克服现有技术中图案化薄膜高温退火后出现破裂的问题，提供一种图案化薄膜的高温退火方法，包括以下步骤：S1、在基底上形成液态的图案化薄膜液，所述图案化薄膜液中包括成膜材料和溶剂；S2、将图案化薄膜液在预退火温度下进行预退火处理，得到薄膜前体；所述预退火温度比所述溶剂的沸点低4‑5℃；S3、将薄膜前体在过渡退火温度下进行过渡退火处理，得到薄膜过渡体；所述过渡退火温度比目标退火温度低100‑150℃；S4、将薄膜过渡体在目标退火温度下进行退火处理，然后冷却，得到薄膜。经过本发明提供的高温退火方法制备得到的薄膜不会破裂，品质高，为提高图案化薄膜的性能提供很好的支撑条件。

申请人：吉林建筑大学

地址：130118 吉林省长春市南关区新城大街5088号

国籍：CN

代理机构：深圳卓正专利代理事务所(普通合伙)

本文发布于:2024-09-20 21:22:56，感谢您对本站的认可！

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